检索结果-内蒙古大学图书馆

物理学报 2005年第10期54卷 4701-4709页

作者：刘刚张书练徐亭朱钧李岩清华大学精密仪器测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

腔调谐过程中同时对HeNe激光器进行光回馈,设定回馈镜驱动信号的周期远小于腔调谐信号的周期,此时便获得腔调谐过程中谐振腔中两垂直偏振光的回馈信号.回馈的形式分为仅垂直光回馈、仅平行光回馈以及两光同时回馈三种情况.当两光同时回... 详细信息

腔调谐过程中同时对HeNe激光器进行光回馈,设定回馈镜驱动信号的周期远小于腔调谐信号的周期,此时便获得腔调谐过程中谐振腔中两垂直偏振光的回馈信号.回馈的形式分为仅垂直光回馈、仅平行光回馈以及两光同时回馈三种情况.当两光同时回馈时,两模式间的模竞争较弱,两光回馈曲线有一定的相位差,该相位差小于180°,两光总体波动幅度变化趋势相反.当仅单偏振光回馈时,两模式间的模竞争较强,两光回馈曲线始终反相,而且两光波动幅度变化趋势相同,此时可以将两光强度信号相减以实现成倍提高回馈信号幅度,从而提高系统灵敏度.尤其仅垂直光回馈时,两光各自光强波动幅值都较大,并且在较大的增益曲线范围内保持光强波动幅值无明显变化,该特性可用于提高回馈系统的抗干扰能力,减少因激光功率漂移而引起的错误计数.

关键词：自混合干涉光回馈模竞争位移测量垂直偏振光腔调谐激光器特性系统灵敏度驱动信号

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基于IGD-IHT算法和PIQEDS-IBPSO-NESN算法的制动盘表面缺陷检测方法

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汽车工艺与材料 2025年第5期 54-65页

作者：李峰于振高娟安琪青岛职业技术学院海尔学院(机电学院) 齐鲁工业大学(山东省科学院)海洋仪器仪表研究所天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室青岛职业技术学院信息学院清华大学机械工程系

为提高传统制动盘表面缺陷检测的鲁棒性，设计了一种基于机器视觉的自动化检测仪器。使用改进的高斯差分和霍夫变换算法提取制动盘缺陷特征，设计了一种基于无参考质量评估算法和Dempster规则融合算法-改进的贝叶斯粒子群优化-非线性回... 详细信息

为提高传统制动盘表面缺陷检测的鲁棒性，设计了一种基于机器视觉的自动化检测仪器。使用改进的高斯差分和霍夫变换算法提取制动盘缺陷特征，设计了一种基于无参考质量评估算法和Dempster规则融合算法-改进的贝叶斯粒子群优化-非线性回波状态网络的制动盘表面缺陷识别方法。试验结果表明：该方法准确率>97%、误报率<1.5%、漏报率<1.5%，优于传统方法，提高了制动盘表面缺陷识别准确率。工厂试验表明，该方法能够准确识别几乎全部缺陷，误报和漏报情况较少，有较高的可靠性和稳定性。

关键词：制动盘表面缺陷特征提取 IGD-IHT算法表面缺陷识别 PIQEDS-IBPSO-NESN算法

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一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究

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中国机械工程 2005年第Z1期16卷 99-101页

作者：朱常兴李勇陈旭鹏叶雄英周兆英清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(... 详细信息

介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(2～3V)、功耗低、结构尺寸小(体积为3.0cm3)、流量小(0.3MPa时体积流量小于0.23mL/s)等特点.

关键词： MEMS 微型阀微小流量控制电磁致动器

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用双折射激光频率分裂原理实现的静态与动态测量方法

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激光技术 1999年第1期23卷 29-33页

作者：邓之兵李岩韩艳梅张书练清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室

讨论了用双折射激光频率分裂技术原理实现的静态与动态测量方法；介绍了实验系统和实验结果。该方法具有诸多优越性，例如灵敏度高、频响范围宽、有较强的抗干扰能力和较好的线性等，尤其适用于动态测量。

关键词：双折射激光频率分裂测量

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在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪

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光学学报 1999年第7期19卷 958-961页

作者：梁嵘李达成曹芒赵洪志武勇军清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室

一种新型的、用于在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。该仪器体积小（２５ｃｍ×２０ｃｍ×１０ｃｍ）、抗外界环境干扰能力强。仪器以稳频半导体激光器作为光源。共光路设计，使测量光和参考光沿同一路径入射到被... 详细信息

一种新型的、用于在线测量表面粗糙度的激光外差干涉仪已研制完成。该仪器体积小（２５ｃｍ×２０ｃｍ×１０ｃｍ）、抗外界环境干扰能力强。仪器以稳频半导体激光器作为光源。共光路设计，使测量光和参考光沿同一路径入射到被测表面上。计大数和测小数周期相结合的外差信号处理方法，实现了大的动态测量范围和很高的测量分辩率。同时还采用了全反射临界角法进行自动聚焦。该仪器的纵向和横向分辨率分别为０．３９ｎｍ和０．７３μｍ；自动聚焦范围为±０．５ｍｍ，在焦点±２５μｍ范围内，聚焦精度为１μｍ；８０分钟内整机稳定性：３σ＝１．９５ｎｍ。

关键词：表面粗糙度在线检测共光路外差干涉仪

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提高离子束刻蚀亚微米光栅侧壁陡直度的方法

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光学学报 2008年第1期28卷 189-193页

作者：孟祥峰李立峰清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

现代亚微米光栅的应用通常要求栅脊侧壁陡直。通过比较两种配备不同离子源的刻蚀机的反应离子束刻蚀结果,认为影响亚微米光栅侧壁陡直度的一个重要因素是离子束发散角(束散角),且小束散角有利于获得陡直的光栅侧壁。国内应用最广泛的双... 详细信息

现代亚微米光栅的应用通常要求栅脊侧壁陡直。通过比较两种配备不同离子源的刻蚀机的反应离子束刻蚀结果,认为影响亚微米光栅侧壁陡直度的一个重要因素是离子束发散角(束散角),且小束散角有利于获得陡直的光栅侧壁。国内应用最广泛的双栅考夫曼刻蚀机束散角较大(大于13°),致使用常规方法获得的熔石英光栅的侧壁倾角仅为77°。针对此刻蚀机,尝试了三种提高侧壁陡直度的方法:旋转倾斜刻蚀法、交替倾斜刻蚀法和二次金属掩模法,分别把侧壁倾角提高到86°、86°和82°。最后从掩模侧壁收缩速率和槽底部与顶部离子通量的差异对束散角对侧壁陡直度的影响给予解释,并说明了上述三种方法的工作机理。

关键词：物理光学衍射光栅亚微米光栅反应离子束刻蚀侧壁陡直度

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基于超构表面的多维光场感知

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中国激光 2021年第19期48卷 227-254页

作者：倪一博闻顺沈子程杨原牧清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

光场包含了振幅、相位、光谱、偏振等多个维度的信息。传统光电探测器一般仅能感知二维光强信息,若想实现对光场其他维度信息的获取,需利用多个光学元件组合,故存在系统复杂、难以集成等问题。超构表面是一种亚波长尺度的新型平面光学... 详细信息

光场包含了振幅、相位、光谱、偏振等多个维度的信息。传统光电探测器一般仅能感知二维光强信息,若想实现对光场其他维度信息的获取,需利用多个光学元件组合,故存在系统复杂、难以集成等问题。超构表面是一种亚波长尺度的新型平面光学元件。通过灵活的平面结构设计,超构表面可以对光场的振幅、相位、光谱、偏振等多维信息进行调控,从而为轻量化、集成化多维光场感知系统的实现提供可能。详细介绍了国内外基于超构表面实现光谱、偏振、深度等多维光场信息感知的最新研究成果,并对目前超构表面在多维光场感知领域面临的挑战以及未来的发展趋势进行了展望。

关键词：物理光学多维光场感知超构表面光谱成像偏振成像三维成像

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扫频激光器扫描非线性的优化及其在光纤光栅解调中的应用

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光学精密工程 2014年第11期22卷 2888-2893页

作者：梅佳伟肖晓晟杨昌喜清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

为了研究基于压电陶瓷的法布里-珀罗(F-P)波长滤波器扫描非线性的物理机理及优化方案,搭建了基于F-P滤波器的扫频激光器。用基于梳状滤波器的透射时域法研究了扫频激光器输出的非线性特性,获得了不同扫描频率下的扫频非线性特性的变化情... 详细信息

为了研究基于压电陶瓷的法布里-珀罗(F-P)波长滤波器扫描非线性的物理机理及优化方案,搭建了基于F-P滤波器的扫频激光器。用基于梳状滤波器的透射时域法研究了扫频激光器输出的非线性特性,获得了不同扫描频率下的扫频非线性特性的变化情况,认为这是由于可调谐滤波器中的执行器——压电陶瓷的容性负载特性引起的。结合光谱测量法,获得了动态扫频线性度、扫频范围与驱动频率的关系,实验结果与理论分析结果相符。最后,提出了优化扫频非线性的驱动参数方案。通过在驱动源后增加电压跟随器提高了驱动源的负载能力和高速扫频的线性响应特性,并应用于光纤光栅解调。实验得到了1 000Hz扫频速度下的线性解调结果,即解调线性度为0.998 44。

关键词：光纤光栅解调扫频激光器法布里-珀罗可调谐滤波器扫描非线性

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衍射微柱透镜轴向光强分布特性的严格电磁分析

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中国激光 2004年第9期31卷 1045-1049页

作者：冯迪严瑛白金国藩邬敏贤清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

衍射聚焦器件轴向光强分布的焦深和焦移特性 ,直接决定着系统接收面的装配误差和获得最佳的能量利用率。当器件的口径和面型特征尺寸可与照射波长比拟时 ,必须考虑光波与衍射器件的电磁作用。利用严格电磁分析方法——时域有限差分法 ,... 详细信息

衍射聚焦器件轴向光强分布的焦深和焦移特性 ,直接决定着系统接收面的装配误差和获得最佳的能量利用率。当器件的口径和面型特征尺寸可与照射波长比拟时 ,必须考虑光波与衍射器件的电磁作用。利用严格电磁分析方法——时域有限差分法 ,对有限口径衍射微柱透镜的轴向光强分布进行了严格分析 ,并且与传统的标量分析方法进行详细比较。分析比较了 TE和 TM极化波入射情况下 ,不同面型分布 (8台阶 ,1 6台阶量化面型和连续面型 )的衍射微柱透镜焦深和焦移特性与透镜 F数的关系。结果表明透镜轴向光强最大点向透镜面偏移 ,焦移量的严格计算结果要大于标量计算结果 ,表明透镜的快聚焦特性 ,而二者得到的焦深量基本一致 ,同时两种理论方法都表明透镜焦深和焦移随 F数的增加而增加。

关键词：衍射与光栅轴向光强分布时域有限差分法衍射微柱透镜

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基于AlN/α-SiC的声表面波谐振器应变响应特性

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清华大学学报（自然科学版） 2016年第10期56卷 1061-1065页

作者：陈硕尤政清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

面向高温环境应用的微纳传感器在燃气轮机健康监控、地热井环境监控等领域具有广泛的应用前景。该文主要介绍了一种基于AlN薄膜和α-SiC衬底的声表面波谐振器,讨论了谐振器的应变敏感性来源,提出了一种基于应变场-波速关系计算谐振器应... 详细信息

面向高温环境应用的微纳传感器在燃气轮机健康监控、地热井环境监控等领域具有广泛的应用前景。该文主要介绍了一种基于AlN薄膜和α-SiC衬底的声表面波谐振器,讨论了谐振器的应变敏感性来源,提出了一种基于应变场-波速关系计算谐振器应变敏感系数的方法。采用微纳米加工工艺加工了谐振器,并进行了材料表征。测量了谐振器的应变敏系数:具有1.5μm厚AlN压电薄膜的AlN/α-SiC基声表面波谐振器在298K下应变敏感系数为0.515×10-6/με,与计算结果具有较好一致性。

关键词：声表面波谐振器氮化铝碳化硅应变响应

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