检索结果-内蒙古大学图书馆

用相移干涉术测量物体表面形貌时 ,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值 ,甚至会产生形貌失真的现象。采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析 ,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、对移相误差不敏感的相位提取算式。经实验验证 ,该算法有效地提高了相移干涉仪测量表面形貌的Ra 值 ,重复测量精度达 5倍以上。

关键词：特征多项式相移干涉术相位提取算式光学测量傅里叶分析移相误差

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光谱仪的微型化及其应用

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光学技术 2003年第1期29卷 13-16,20页

作者：史俊锋惠梅王东生毛文炜清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

和传统光谱仪相比,微型光谱仪的分辨率较低,但由于它体较小、价格便宜等优点广泛应用于许多测量、控制领域。讨论了微型光谱仪结构特点、关键技术和发展趋势;对多种微型光谱仪的工作原理和相应的工艺流程做了较为详细的总结;结合国内微... 详细信息

和传统光谱仪相比,微型光谱仪的分辨率较低,但由于它体较小、价格便宜等优点广泛应用于许多测量、控制领域。讨论了微型光谱仪结构特点、关键技术和发展趋势;对多种微型光谱仪的工作原理和相应的工艺流程做了较为详细的总结;结合国内微型光机电系统制作工艺,分析了几类微型光谱仪的制作难点及其设计方案的可行性。探讨了在分辨率要求不太高的情况下微型光谱仪的多个潜在应用领域。

关键词：微型光机电系统微型光谱仪芯片系统

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相移干涉显微术测量表面微观形貌

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光学技术 2003年第1期29卷 2-4,7页

作者：惠梅牛憨笨李庆祥徐毓娴王东生清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

在微分干涉相衬显微镜中加入偏振相移装置,实现了对干涉光强的调制,达到了相移的目的,构造了具有纳米级分辨率的相移干涉显微测量系统。编制了一套测试软件及多组数据处理软件,将测量系统的各组成部分用软件进行了连接。分析并解决了测... 详细信息

在微分干涉相衬显微镜中加入偏振相移装置,实现了对干涉光强的调制,达到了相移的目的,构造了具有纳米级分辨率的相移干涉显微测量系统。编制了一套测试软件及多组数据处理软件,将测量系统的各组成部分用软件进行了连接。分析并解决了测量过程中的技术难题,对纳米表面微观形貌进行了高精度实时自动测量。该测量系统能够准确地重构出纳米表面微观形貌,并给出了定量测量数据。

关键词：微分干涉相衬相移干涉显微术纳米表面微观形貌

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半导体泵浦双向固体环型激光器的单纵模实现

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激光技术 2003年第2期27卷 140-142页

作者：张志利孙利群田芊清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

综述了使用半导体泵浦的固体环型激光器的优点———可以使激光陀螺实现全固体化、提高光束质量并减小陀螺的锁区 ,但是由于半导体泵浦的固体环型激光器工作于多纵模状态 ,对陀螺的精度有很大影响。介绍了可以实现固体环型激光器单纵模... 详细信息

综述了使用半导体泵浦的固体环型激光器的优点———可以使激光陀螺实现全固体化、提高光束质量并减小陀螺的锁区 ,但是由于半导体泵浦的固体环型激光器工作于多纵模状态 ,对陀螺的精度有很大影响。介绍了可以实现固体环型激光器单纵模的方法 ,即色散法、F P干涉法、复合腔法等 ,并对国内外最近出现的实现单纵模的方法进行了总结和比较。得出F P干涉法是最直接有效的方法 ,其它方法可以进一步在固体环型激光器中验证。

关键词：半导体泵浦固体激光激光陀螺选模单纵模

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在柔性衬底上制备的非晶硅薄膜力学性能研究

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Journal of Semiconductors 2003年第3期24卷 284-289页

作者：丁天怀王鹏徐峰清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

以聚酰亚胺膜作为柔性衬底材料 ,用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术制备氢化非晶硅薄膜 .喇曼(Raman)光谱分析表明适当温度下的退火工艺使氢化非晶硅薄膜具有均匀的微硅晶体结构和良好的表面质量 .在扫描电子显微镜下进行的力学... 详细信息

以聚酰亚胺膜作为柔性衬底材料 ,用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术制备氢化非晶硅薄膜 .喇曼(Raman)光谱分析表明适当温度下的退火工艺使氢化非晶硅薄膜具有均匀的微硅晶体结构和良好的表面质量 .在扫描电子显微镜下进行的力学性能实验研究表明 ,由于非晶硅薄膜和聚酰亚胺膜之间较强的相互作用 ,使非晶硅薄膜具有优异的柔韧力学性能 ,可以在 5mm以上的曲率半径下保持良好的弹性变形能力 ,在受拉伸情况下可以达到 1 7%的弹性形变范围 ,抗拉伸强度达到 1 45GPa ,完全能够贴附于一般规则和不规则曲面并承受较大的应力作用 .

关键词：氢化非晶硅薄膜柔性衬底 PECVD 扫描电子显微镜力学性能喇曼光谱分析

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光子晶体的光学特性与近场光学测量表征

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光学技术 2003年第1期29卷 8-12,41页

作者：许吉英王佳田芊清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

光子晶体具有独特而优异的光学特性及广泛的应用前景。介绍了光子晶体的概念、应用、发展,着重讨论了光子晶体的光子禁带、光子局域以及其它光学特性。从近场光学的原理和实验技术出发阐述了近场光学测量表征光子晶体的方法,对于光子晶... 详细信息

光子晶体具有独特而优异的光学特性及广泛的应用前景。介绍了光子晶体的概念、应用、发展,着重讨论了光子晶体的光子禁带、光子局域以及其它光学特性。从近场光学的原理和实验技术出发阐述了近场光学测量表征光子晶体的方法,对于光子晶体的研究具有重要的意义。

关键词：光子晶体光子禁带光子局域近场光学测量表征

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对移相误差不敏感的四帧相位算法

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清华大学学报（自然科学版） 2003年第8期43卷 1017-1019页

作者：惠梅王东生邓年茂李庆祥徐毓娴清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国科学院西安光学精密机械研究所西安710068

应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位解算方法。算法将相移误差因子作为中间可代换变量,它的大小随机变化不影响相位计算结果,即相位计算式与... 详细信息

应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位解算方法。算法将相移误差因子作为中间可代换变量,它的大小随机变化不影响相位计算结果,即相位计算式与相移误差因子无关。对标准正弦样板进行的实验验证表明,该算法有效地抑制了移相误差对形貌测量的影响,进一步提高了表面微观形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。

关键词：相移干涉术表面形貌测量相移器移相误差四帧相位算法检测原理相位提取算法

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计算层析成像光谱仪中衍射器件的设计

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光电子．激光 2003年第2期14卷 122-126页

作者：范东栋王建岗邬敏贤何庆声金国藩清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

结合成像光谱系统对衍射器件的要求,采用系统优化方法设计了两种衍射器件;给出了光栅的设计结果和光谱响应曲线。性能测试表明,实测结果与设计值相吻合。系统图像采集实验结果表明,在410～700nm范围内,所设计的光栅能满足系统的要求。

关键词：衍射器件计算层析成像光谱仪光栅光谱成像

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