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主题

  • 1 篇 ain
  • 1 篇 平顶整形
  • 1 篇 旁路二极管
  • 1 篇 太阳能电池控制系...
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  • 1 篇 恶劣环境

机构

  • 8 篇 清华大学
  • 3 篇 桂林电子科技大学
  • 3 篇 中国科学院微电子...
  • 2 篇 中国科学院半导体...
  • 1 篇 加州大学
  • 1 篇 中国科学院半导体...
  • 1 篇 伊利诺伊大学
  • 1 篇 精密测试技术及仪...
  • 1 篇 微纳制造、器件与系...
  • 1 篇 精密测试技术及仪...

作者

  • 6 篇 尤政
  • 5 篇 张紫辰
  • 3 篇 潘岭峰
  • 3 篇 王晓峰
  • 2 篇 赵嘉昊
  • 2 篇 韦春荣
  • 2 篇 李海鸥
  • 2 篇 李琦
  • 1 篇 李沐华
  • 1 篇 何磊
  • 1 篇 徐依朵
  • 1 篇 陈永和
  • 1 篇 王建中
  • 1 篇 陈硕
  • 1 篇 张一喆
  • 1 篇 张益源
  • 1 篇 王伟忠
  • 1 篇 曹哲
  • 1 篇 贾卓
  • 1 篇 董恺琛

语言

  • 9 篇 中文
检索条件"机构=清华大学精密仪器系微纳制造器件与系统协同创新中心精密测试技术及仪器国家重点实验室"
9 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
532 nm平顶激光光束用于硅晶圆开槽的研究
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激光与光电子学进展 2017年 第9期54卷 254-260页
作者: 李海鸥 韦春荣 王晓峰 张紫辰 潘岭峰 桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室 广西桂林541004 中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室 北京100029 中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程中心 北京100083 清华大学精密仪器系微纳制造器件与系统协同创新中心精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京100084
根据衍射原理,设计并制备了平顶整形元件,将激光能量由高斯分布转变为平顶分布。利用532nm脉冲激光进行了硅晶圆激光划片实验,研究了激光能量、划片速度聚焦位置对划片效果的影响。结果表明,基于平顶光束的激光划片,可实现宽约为16μ... 详细信息
来源: 评论
晶圆激光切割技术的研究进展
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半导体技术 2017年 第8期42卷 561-568页
作者: 李海鸥 韦春荣 王晓峰 张紫辰 潘岭峰 李琦 陈永和 桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室 广西桂林541004 中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室 北京100029 中国科学院半导体研究所 北京100083 清华大学精密仪器系微纳制造器件与系统协同创新中心精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京100084
综述了半导体领域晶圆切割技术的发展进程,介绍了刀片切割技术、传统激光切割技术、新型激光切割技术整形激光切割技术的特点、工作原理和优缺点以国内外使用晶圆切割技术获得的研究成果其应用前景。与刀片切割技术相比,激光切割... 详细信息
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AlN陶瓷激光金属化的研究进展
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激光与光电子学进展 2017年 第7期54卷 12-20页
作者: 黄平奖 王晓峰 李琦 张紫辰 潘岭峰 桂林电子科技大学信息与通信学院 广西桂林541004 中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室 北京100029 中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程中心 北京100083 清华大学精密仪器系微纳制造器件与系统协同创新中心精密测试技术及仪器国家重点实验室 北京100084
介绍了氮化铝(AlN)陶瓷激光金属化的进展和金属化过程中的问题以主要解决方法。激光金属化利用激光的热效应使AlN表面发生热分解,直接生成金属导电层,该方法具有成本低、效率高、设备维护简单等优点。进一步介绍了激光器、光束质量、... 详细信息
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基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)
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电子学报 2015年 第10期43卷 2095-2109页
作者: 张紫辰 董恺琛 张益源 王建中 赵嘉昊 尤政 精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造器件与系统协同创新中心清华大学精密仪器系
基于机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本... 详细信息
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纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术
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电子学报 2015年 第11期43卷 2322-2330页
作者: 张紫辰 尤政 清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造器件与系统协同创新中心
本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取... 详细信息
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智能重构旁路二极管对阴影下太阳能电池的输出功率提升
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西北工业大学学报 2016年 第4期34卷 558-563页
作者: 曹哲 尤政 何磊 张一喆 徐依朵 贾卓 清华大学精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造器件与系统协同创新中心北京100084 加州大学洛杉矶分校电气工程系 美国洛杉矶加利福尼亚州90095 伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校 电气与计算机工程系美国伊利诺伊州61801 加州大学伯克利分校电气工程与计算机科学系 伯克利加利福尼亚州94720
太阳能电池板使用旁路二极管避免阴影效应和热斑,二极管的内阻会损耗电流。提出采用一种名为智能重构旁路二极管的新型二极管布局,通过智能判断并短路未使用的旁路二极管,来增加局部被遮挡太阳能电池板的输出功率。文中阐明了智能重构... 详细信息
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电容式射频机电系统开关损耗机制(英文)
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强激光与粒子束 2015年 第2期27卷 170-175页
作者: 李沐华 赵嘉昊 尤政 清华大学精密仪器系 精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造、器件与系统协同创新中心北京100084
插入损耗是射频机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一。电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究。电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括四部分:信号线的导体损耗、衬底损耗、辐射损耗以MEMS桥... 详细信息
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无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用
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航空学报 2014年 第8期35卷 2081-2090页
作者: 尤政 王伟忠 陈硕 阮勇 清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造、器件与系统协同创新中心 北京100084
燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于机电... 详细信息
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基于人体运动获取能量的可穿戴式发电机
基于人体运动获取能量的可穿戴式发电机
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中国仪器仪表学会第十六届青年学术会议
作者: 赵精晶 尤政 微纳制造、器件与系统协同创新中心 精密测试技术及仪器国家重点实验室 清华大学精密仪器系 北京100084
This paper presents a wearable piezoelectric generator in order to explore the possibility of harvesting energy from human motion to supply power for wearable or portable electronics, thus acting as alternatives to th... 详细信息
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