检索结果-内蒙古大学图书馆

激光与光电子学进展 2017年第9期54卷 254-260页

作者：李海鸥韦春荣王晓峰张紫辰潘岭峰桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室广西桂林541004 中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室北京100029 中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程中心北京100083 清华大学精密仪器系微纳制造器件与系统协同创新中心精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

根据衍射原理,设计并制备了平顶整形元件,将激光能量由高斯分布转变为平顶分布。利用532nm脉冲激光进行了硅晶圆激光划片实验,研究了激光能量、划片速度及聚焦位置对划片效果的影响。结果表明,基于平顶光束的激光划片,可实现宽约为16μ... 详细信息

根据衍射原理,设计并制备了平顶整形元件,将激光能量由高斯分布转变为平顶分布。利用532nm脉冲激光进行了硅晶圆激光划片实验,研究了激光能量、划片速度及聚焦位置对划片效果的影响。结果表明,基于平顶光束的激光划片,可实现宽约为16μm、深约为18μm的划槽,且槽底部平坦,槽壁陡直;与高斯光束相比,平顶光束下热影响区明显减小。

关键词：激光技术脉冲激光激光划槽平顶整形硅片热影响区

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晶圆激光切割技术的研究进展

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半导体技术 2017年第8期42卷 561-568页

作者：李海鸥韦春荣王晓峰张紫辰潘岭峰李琦陈永和桂林电子科技大学广西精密导航技术与应用重点实验室广西桂林541004 中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室北京100029 中国科学院半导体研究所北京100083 清华大学精密仪器系微纳制造器件与系统协同创新中心精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

综述了半导体领域晶圆切割技术的发展进程,介绍了刀片切割技术、传统激光切割技术、新型激光切割技术及整形激光切割技术的特点、工作原理和优缺点以及国内外使用晶圆切割技术获得的研究成果及其应用前景。与刀片切割技术相比,激光切割... 详细信息

综述了半导体领域晶圆切割技术的发展进程,介绍了刀片切割技术、传统激光切割技术、新型激光切割技术及整形激光切割技术的特点、工作原理和优缺点以及国内外使用晶圆切割技术获得的研究成果及其应用前景。与刀片切割技术相比,激光切割技术具有切割质量好、切割速度快等优点。详细介绍了以进一步改善晶圆切割质量和提高切割速度为目的的几类整形激光切割技术,包括微水导激光切割技术、隐形切割技术、多焦点光束切割、"线聚焦"切割、平顶光束切割和多光束切割等。随着技术的不断完善、切割设备的不断成熟,整形激光切割技术在未来的晶圆切割领域将具有广阔的应用前景。

关键词：刀片切割激光切割切割速度切割质量整形激光

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AlN陶瓷激光金属化的研究进展

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激光与光电子学进展 2017年第7期54卷 12-20页

作者：黄平奖王晓峰李琦张紫辰潘岭峰桂林电子科技大学信息与通信学院广西桂林541004 中国科学院微电子研究所微电子设备技术研究室北京100029 中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程中心北京100083 清华大学精密仪器系微纳制造器件与系统协同创新中心精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了氮化铝(AlN)陶瓷激光金属化的进展和金属化过程中的问题以及主要解决方法。激光金属化利用激光的热效应使AlN表面发生热分解,直接生成金属导电层,该方法具有成本低、效率高、设备维护简单等优点。进一步介绍了激光器、光束质量、... 详细信息

介绍了氮化铝(AlN)陶瓷激光金属化的进展和金属化过程中的问题以及主要解决方法。激光金属化利用激光的热效应使AlN表面发生热分解,直接生成金属导电层,该方法具有成本低、效率高、设备维护简单等优点。进一步介绍了激光器、光束质量、工艺参数等的优化方法以及AlN陶瓷金属化的应用,并对AlN陶瓷激光金属化在未来的发展进行了展望。

关键词：激光光学金属化光束类型 AIN

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基于MEMS技术的智能传感器系统(“智能灰尘”)

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电子学报 2015年第10期43卷 2095-2109页

作者：张紫辰董恺琛张益源王建中赵嘉昊尤政精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造器件与系统协同创新中心清华大学精密仪器系

基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本... 详细信息

基于微机电系统(MEMS)技术的智能传感器系统("智能灰尘",Smart Dust)是体积小、能耗低、具备多功能传感与探测、信息处理与存储、双向无线通信、能源自供给与管理等功能的集成系统.它既可以独立工作也可以多系统协同工作.本文首先明确智能灰尘的基本概念及应用领域;随后介绍智能灰尘集成系统的设计方法和结构组成;通过综述智能灰尘技术的发展历程与趋势,以及国内外相关技术的发展现状,最后总结智能灰尘系统关键的技术难点与重点,并明确今后MEMS工艺及集成技术突破的可行性方案.

关键词： MEMS(micro electro mechanical systems) 智能灰尘无线通信复合能源

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纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术

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电子学报 2015年第11期43卷 2322-2330页

作者：张紫辰尤政清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造器件与系统协同创新中心

本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取... 详细信息

本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取向层处理、胶水涂覆、组装封装及灌注液晶工艺.同时在密封胶水涂覆、灌注液晶及如何控制器件厚度的原则问题上做出了重点阐述,最后定义了优质封装质量的纯相位硅基液晶器件应该具备的基本要素.

关键词：硅基液晶器件封装工艺光学检测液晶灌注取向层处理

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智能重构旁路二极管对阴影下太阳能电池的输出功率提升

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西北工业大学学报 2016年第4期34卷 558-563页

作者：曹哲尤政何磊张一喆徐依朵贾卓清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造器件与系统协同创新中心北京100084 加州大学洛杉矶分校电气工程系美国洛杉矶加利福尼亚州90095 伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校电气与计算机工程系美国伊利诺伊州61801 加州大学伯克利分校电气工程与计算机科学系伯克利加利福尼亚州94720

太阳能电池板使用旁路二极管避免阴影效应和热斑,二极管的内阻会损耗电流。提出采用一种名为智能重构旁路二极管的新型二极管布局,通过智能判断并短路未使用的旁路二极管,来增加局部被遮挡太阳能电池板的输出功率。文中阐明了智能重构... 详细信息

太阳能电池板使用旁路二极管避免阴影效应和热斑,二极管的内阻会损耗电流。提出采用一种名为智能重构旁路二极管的新型二极管布局,通过智能判断并短路未使用的旁路二极管,来增加局部被遮挡太阳能电池板的输出功率。文中阐明了智能重构二极管的实现原理,建立了电路模型。提出通过太阳能电池片电压的大小,判断控制二极管拓扑结构的开关状态的判定规则。进行了模拟仿真,实验验证了仿真结果。基于实验结果,并与普通二极管布局对比,采用智能重构二极管布局的太阳能电池板输出功率提升可达到12.24%。

关键词：太阳能太阳能电池控制系统阴影效应旁路二极管智能重构二极管

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电容式射频微机电系统开关损耗机制(英文)

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强激光与粒子束 2015年第2期27卷 170-175页

作者：李沐华赵嘉昊尤政清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造、器件与系统协同创新中心北京100084

插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一。电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究。电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括四部分:信号线的导体损耗、衬底损耗、辐射损耗以及MEMS桥... 详细信息

插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一。电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了研究。电容式RF MEMS开关的射频损耗主要包括四部分:信号线的导体损耗、衬底损耗、辐射损耗以及MEMS桥损耗。对电容式RF MEMS开关建立了损耗模型并进行了数值计算,同时在HFSS有限元软件中进行了电磁仿真,数值计算结果和有限元仿真结果较好的吻合。此外,对影响电容式RF MEMS开关插入损耗的因素进行了分析,结果表明,高阻抗的衬底、200μm左右的导体宽度、较小的导体厚度以及较小的up态电容能够降低开关的插入损耗,提高开关的射频性能。

关键词：损耗机制射频微机电系统电容式开关共面波导

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无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用

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航空学报 2014年第8期35卷 2081-2090页

作者：尤政王伟忠陈硕阮勇清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室微纳制造、器件与系统协同创新中心北京100084

燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于微机电系... 详细信息

燃气轮机是应用于航空、能源、海陆交通等诸多领域的重大核心装备之一。对燃气轮机工作过程中各项环境参数(如温度、压力等)的实时监测,可进一步完善和优化燃气轮机结构、提高效率、减少排放和降低维护费用。新近发展起来的基于微机电系统(MEMS)技术的传感系统在高温、高压等恶劣环境下具有无可比拟的应用优势,特别是在恶劣工作条件下以燃气轮机为代表的大型机电设备的各项环境参数监测中,应用潜力巨大。本文对燃气轮机等恶劣环境下的传感技术、无线信号传输技术及SiC无线MEMS传感系统实现方案进行了综合介绍、评述和讨论,并对无线MEMS传感系统在燃气轮机等恶劣环境下的应用进行了展望。

关键词：燃气轮机无线MEMS传感系统实时监测恶劣环境高温高压

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基于人体运动获取能量的可穿戴式发电机

基于人体运动获取能量的可穿戴式发电机

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中国仪器仪表学会第十六届青年学术会议

作者：赵精晶尤政微纳制造、器件与系统协同创新中心精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器系北京100084

This paper presents a wearable piezoelectric generator in order to explore the possibility of harvesting energy from human motion to supply power for wearable or portable electronics, thus acting as alternatives to the use of *** generator is characterized by a high durability and portability, which is thin enough to be placed in a shoe or a bag *** prototypes has been built and tested both by a material testing system (MTS) and by human motion during walking at 1 *** prototype enables a mean output power of 1 mW, namely 1 mJ per *** seems that the generator cannot provide sufficient energy to run electronics continuously, therefore two methods are proposed to make the generator compatible with *** work demonstrates the feasibility of harvesting the mechanical energy dissipated in human motion for powering low-power electronics.

关键词： wearable generator piezoelectric generator energy harvesting

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