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第九届全国光学测试学术讨论会

作者：张书练朱钧李岩韩艳梅清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室

晶片广泛应用于多种行业,如每一个VCD和DVD光学头都使用一个四分之一波片;不少光通信的光隔离器使用一个四分之一波片;投影机也使用波片。在我们研究双折射效应引起的激光频率分裂中,看到波片测量的问题,产生出新的测量原理。我们的原理...

晶片广泛应用于多种行业,如每一个VCD和DVD光学头都使用一个四分之一波片;不少光通信的光隔离器使用一个四分之一波片;投影机也使用波片。在我们研究双折射效应引起的激光频率分裂中,看到波片测量的问题,产生出新的测量原理。我们的原理是:将待测波片置于激光腔中时,波片造成的激光频率分裂(拍频),分裂的大小正比于波片光程差。此频率差△v可表示为:△v=--v/Lδ(1)其中,v是激光中心频率,L是激光谐振腔长,δ是放入激光器内双折射元件的光程差。我们称激光频率间隔(差)随光程差改变而改变的现象为激光频率(纵模)分裂。在我们的

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用于生物芯片的微光学集成探测器

用于生物芯片的微光学集成探测器

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第五届全国微米/纳米技术学术会议

作者：杨蓉何庆声余成武邬敏贤金国藩清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术国家重点实验室(北京)

作为便携式生物化学分析器的核心技术,生物芯片在近十年中发展非常迅猛.它通过微加工和生化处理等技术,将成千上万的生命信息集成在很小的芯片上,在芯片上进行一系列生化反应,并通过检测结果获得相关信息.生物芯片发展的最终目标是将从... 详细信息

作为便携式生物化学分析器的核心技术,生物芯片在近十年中发展非常迅猛.它通过微加工和生化处理等技术,将成千上万的生命信息集成在很小的芯片上,在芯片上进行一系列生化反应,并通过检测结果获得相关信息.生物芯片发展的最终目标是将从样品制备、化学反应到检测的整个生化分析过程集成化以获得所谓的微全分析系统或称缩微芯片实验室.文章提出一种在微全分析系统中担任探测功能的微光学集成探测器.该探测器是基于激光诱导荧光探测原理,光束经耦合光栅进入平面导波层照射标记了荧光染料的样品,被激发的荧光由微透镜阵列组收集并会聚到探测面,并与一特殊设计的微腔集成,实现生化反应与在线探测.该探测器集成度高,探测灵敏,功能全,成本低,可以应用于中等密度的DNA点阵杂交芯片等生物芯片的探测,有希望集成到如便携式DNA突变诊断仪等微全分析系统中.

关键词：微光学集成探测器荧光生物芯片微全分析系统 DNA序列测定

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基于平板光学的兼容型集成光盘头的研究

基于平板光学的兼容型集成光盘头的研究

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第十五届全国激光学术会议

作者：伊德尔严瑛白陆思金国藩刘海涛清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室(北京)

提出了一种基于平板光学的新型DVD/CD-R兼容型集成光盘头.在此系统中,光线沿着Z型在平板玻璃基底中传播.通过集成的平板合分束器、消色差波片、分色光栅等器件完成双波长光束的合光、偏振态旋转、分光等功能.经测试,此系统具有足够的能... 详细信息

提出了一种基于平板光学的新型DVD/CD-R兼容型集成光盘头.在此系统中,光线沿着Z型在平板玻璃基底中传播.通过集成的平板合分束器、消色差波片、分色光栅等器件完成双波长光束的合光、偏振态旋转、分光等功能.经测试,此系统具有足够的能量利用率和集成度以及较小的体积和重量.

关键词：微光学衍射光学平板光学集成光盘光

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用于遥感光谱探测的干涉成像光谱技术

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航天返回与遥感 2001年第4期22卷 52-57,29页

作者：范东栋王建岗邬敏贤王金堂清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 北京空间机电研究所北京100076

由于干涉成像光谱仪具有高通量、高光谱分辨率和光谱多通道等优点 ,成为超光谱分辨率遥感方面的研究热点 ,文章简要分析了国内外的研究现状和干涉成像光谱仪的应用前景 ,主要介绍时间调制型干涉成像光谱仪和基于变形Sagnac干涉仪、双折... 详细信息

由于干涉成像光谱仪具有高通量、高光谱分辨率和光谱多通道等优点 ,成为超光谱分辨率遥感方面的研究热点 ,文章简要分析了国内外的研究现状和干涉成像光谱仪的应用前景 ,主要介绍时间调制型干涉成像光谱仪和基于变形Sagnac干涉仪、双折射棱镜及Savart板等空间调制型的干涉成像光谱仪的形式、原理和特点 ,分析了其光学结构和影响光谱分辨率的因素。

关键词：遥感光谱探测干涉成像光谱技术傅立叶变换调制航空航天遥感

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激光反馈干涉测量PZT驱动器的位移

激光反馈干涉测量PZT驱动器的位移

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第五届全国微米/纳米技术学术会议

作者：王鸣聂守平李达成南昌大学物理系(南昌) 南京师范大学物理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验室(南京) 南京师范大学物理科学与技术学院光电技术江苏省重点实验室(南京) 清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室(北京)

压电晶体驱动器已经用于亚微米级位移的测量和控制.有许多测量微位移的干涉方法,然而难以做出结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统方法都需要许多光学元器件.本文提出用激光反馈干涉水测试PZT驱动器的动作特性,分析和讨论了激光反... 详细信息

压电晶体驱动器已经用于亚微米级位移的测量和控制.有许多测量微位移的干涉方法,然而难以做出结构紧凑、价格低的测量系统,因为这些传统方法都需要许多光学元器件.本文提出用激光反馈干涉水测试PZT驱动器的动作特性,分析和讨论了激光反馈干涉信号的产生和处理方法,并给出了双压电晶片(bimorph)型PZT位移的实验结果.

关键词：激光反馈干涉位移测量 PZT驱动器微位移双压电晶片

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高效、高分辨光纤微探针的制备及检验

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光学学报 2000年第5期20卷 659-665页

作者：刘秀梅王佳李达成清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

提出两种同时满足高分辨、高传光效率的探针模型以及制备方法 :先用自制热拉装置将光纤拉制成过渡区为双曲线或抛物线形的探针 ,然后用 4 0 %氢氟酸进行快速腐蚀 ,使探针孔径变小而保持过渡区域形状和锥度基本不变。所获探针孔径变化范... 详细信息

提出两种同时满足高分辨、高传光效率的探针模型以及制备方法 :先用自制热拉装置将光纤拉制成过渡区为双曲线或抛物线形的探针 ,然后用 4 0 %氢氟酸进行快速腐蚀 ,使探针孔径变小而保持过渡区域形状和锥度基本不变。所获探针孔径变化范围为 2 0～ 2 0 0 nm,锥度 2 0°～ 6 0°。为检验探针性能 ,将两种探针的出射光分布与用传统热拉法所得到探针进行对比 ;探测了光子扫描隧道显微镜状态下的倏逝波衰减曲线 ;给出了用集光式扫描近场光学显微镜得到的近场光学图像 ;同时 ,验证了探针对剪切力控制的适用性。

关键词：扫描近场光学显微镜光子扫描隧道显微镜扫描探

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光栅投影式轮廓测量中两种误差的分析

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光学学报 2000年第3期20卷 376-379页

作者：郝煜栋赵洋李达成清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

以像点位移的概念阐述了光学投影式轮廓测量法的原理和关键任务 ,详细分析了从相位到像点位移和从像点位移到高度的两项不可忽略的误差源 ,并给出了误差补偿方法。

关键词：光栅投影轮廓测量像点位移

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He-Ne激光器功率调谐位移传感激光器

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激光技术 2000年第6期24卷 337-340页

作者：李岩傅杰张书练韩艳梅金国藩清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

阐述了一种新型的He Ne激光位移传感器 ,具有自校准功能以及没有原理上的误差。利用频率分裂技术 ,将一个纵模间隔分为 4个宽度相等的区间 ,在这 4个区间内激光器具有不同的光功率输出。当一个频率移动过这样的一个区间 ,相当于激光器... 详细信息

阐述了一种新型的He Ne激光位移传感器 ,具有自校准功能以及没有原理上的误差。利用频率分裂技术 ,将一个纵模间隔分为 4个宽度相等的区间 ,在这 4个区间内激光器具有不同的光功率输出。当一个频率移动过这样的一个区间 ,相当于激光器的一个腔镜移动了λ/ 8。可移动的反射镜与被测工件相连。这样 ,一支He Ne激光器变成了一个不用干涉现象的位移传感器 ,其测量范围可达 10mm ,测量精度可达 0 .0 79μm ,并具有判向的功能。

关键词： He-Ne激光器功率调谐位移传感激光器

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一种采用面阵彩色CCD及视频信号接口的光谱仪

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光学技术 2000年第1期26卷 1-4页

作者：何树荣肖宗扬栾文魁清华大学精密仪器系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

介绍了一种使用面阵彩色ＣＣＤ摄像机和体全息光栅设计的小型光谱仪。该光谱仪使用普通模拟视频信号输出格式，经过带有视频输入接口的计算机显示卡采集信号并实现图像信号的数字化，利用面阵彩色ＣＣＤ的二维图像特点采用软件去除背... 详细信息

介绍了一种使用面阵彩色ＣＣＤ摄像机和体全息光栅设计的小型光谱仪。该光谱仪使用普通模拟视频信号输出格式，经过带有视频输入接口的计算机显示卡采集信号并实现图像信号的数字化，利用面阵彩色ＣＣＤ的二维图像特点采用软件去除背景噪声，在达到使用分辨率和精度要求的前提下降低了对ＣＣＤ器件性能的要求。从而降低了整机的造价。利用特别设计的局部缩放机构和ＣＣＤ采集的色彩信息实现了对全光谱的频段细分，在有效像素数不变的情况下提高了系统的物理分辨率。

关键词：光谱仪 CCD 全息光栅图像处理

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用于扫描探针显微镜的复合型三维压电扫描器

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压电与声光 2000年第1期22卷 30-32,51页

作者：洪涛王佳刘秀梅丁琳清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

三维压电陶瓷扫描器是扫描探针显微镜的关键部件。本文作者设计制作了一种复合型三维压电陶瓷扫描器，并对扫描器的性能进行了检测。当激励电压为±４００Ｖ时其扫描范围达到１３μｍ×１３μｍ。其ｘ，ｙ方向的非线性度小于０... 详细信息

三维压电陶瓷扫描器是扫描探针显微镜的关键部件。本文作者设计制作了一种复合型三维压电陶瓷扫描器，并对扫描器的性能进行了检测。当激励电压为±４００Ｖ时其扫描范围达到１３μｍ×１３μｍ。其ｘ，ｙ方向的非线性度小于０．３６％，ｚ方向的非线性度小于０．１４％。这种扫描器被用于扫描近场光学显微镜探测系统中。

关键词：扫描探针显微镜压电扫描器压电陶瓷

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