检索结果-内蒙古大学图书馆

高电压技术 2009年第6期35卷 1415-1419页

作者：林镇翔唐飞王晓浩清华大学精仪系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

针对以前研究中高场非对称波形电源不足的问题,提出了一种用于FAIMS系统的高场高频非对称波形电源的设计。该电路由方波产生电路、高通滤波器和直流叠加电路3部分组成。方波产生电路采用半桥结构,通过2个MOSFET管的串联,实现了高压方波... 详细信息

针对以前研究中高场非对称波形电源不足的问题,提出了一种用于FAIMS系统的高场高频非对称波形电源的设计。该电路由方波产生电路、高通滤波器和直流叠加电路3部分组成。方波产生电路采用半桥结构,通过2个MOSFET管的串联,实现了高压方波的输出。利用高通滤波器去除了高频方波中的直流分量,使正方波变成正负面积相等的非对称方波,并进行了理论分析。直流叠加电路通过电阻和电感串联将低压直流信号叠加到高频高压的非对称方波上,同时有效阻隔了高频高压非对称方波对低压直流电源可能造成的损害。还给出了电路的结构,并进行了实验研究。实验结果表明,该电路可以很好地实现非对称方波的自动产生和补偿电压叠加功能,且结构简单。该电路能够输出的最大峰峰值电压为2000V,方波频率为200kHz。

关键词： FAIMS 非对称方波交直流叠加高通滤波器高频高压

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基于氧化锌纳米线的硅谐振式加速度计(英文)

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光学精密工程 2009年第6期17卷 1279-1285页

作者：陈国炜朱荣中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 清华大学精密仪器及机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

设计制作了一种基于氧化锌纳米线的谐振式硅加速度计,该加速度计的敏感单元为由氧化锌纳米线横跨金属微电极组成的谐振器。采用介电电泳的方法组装了氧化锌纳米线,并利用FIB沉积Pt将氧化锌纳米线固定在微结构上以确保结构的可靠性。在... 详细信息

设计制作了一种基于氧化锌纳米线的谐振式硅加速度计,该加速度计的敏感单元为由氧化锌纳米线横跨金属微电极组成的谐振器。采用介电电泳的方法组装了氧化锌纳米线,并利用FIB沉积Pt将氧化锌纳米线固定在微结构上以确保结构的可靠性。在加速度的作用下,质量块引起的惯性力通过支撑梁对纳米线施加应力,因此,在谐振条件下,纳米线谐振频率的变化反映了加速度的大小。谐振式加速度计的准数字输出能解决多数MEMS器件输出微弱信号检测难的问题。实验结果表明,加速度计的灵敏度随着纳米线的厚度的减小而急剧增加,选择500nm厚度的纳米线作为理论分析,加速度计的灵敏度可达2.5kHz/g以上。

关键词：氧化锌纳米线微机电系统加速度计谐振器介电电泳

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正交线偏振激光器及其在精密测量中的新应用

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光电工程 2009年第3期36卷 1-11页

作者：张书练谈宜东清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

介绍了正交线偏振激光器及其在精密测量中的新应用,包括:1)正交偏振双频激光器,2)纳米激光测尺(基于频率分裂的激光器两偏振光竞争位移传感器)测量原理,3)直接利用波片形成频率分裂的波片位相延迟测量原理,4)激光回馈波片位相延迟测量... 详细信息

介绍了正交线偏振激光器及其在精密测量中的新应用,包括:1)正交偏振双频激光器,2)纳米激光测尺(基于频率分裂的激光器两偏振光竞争位移传感器)测量原理,3)直接利用波片形成频率分裂的波片位相延迟测量原理,4)激光回馈波片位相延迟测量原理。这些新应用的原理,结构简单,可溯源到光波长。如,纳米激光测尺已在应用中,测量范围12mm,分辨力79nm,线性度小于5×10-5,基于频率分裂的波片位相延迟测量系统重复性达到0.3′,而激光回馈波片位相延迟测量系统具有在线检测的优点。

关键词：正交线偏振精密测量频率分裂激光纳米测尺相位延迟测量激光回馈效应

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基于金属表面等离子激元控制光束的新进展

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光学技术 2009年第2期35卷 163-171,174页

作者：王庆艳王佳张书练清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

表面等离子激元(Surface plasmon polaritons,SPPs)是一种在金属-介质界面上激发并耦合电荷密度起伏的电磁振荡,具有近场增强、表面受限、短波长等特性,在纳米光子学的研究中扮演着重要角色。近年来表面等离子光学和基于SPPs的纳米光子... 详细信息

表面等离子激元(Surface plasmon polaritons,SPPs)是一种在金属-介质界面上激发并耦合电荷密度起伏的电磁振荡,具有近场增强、表面受限、短波长等特性,在纳米光子学的研究中扮演着重要角色。近年来表面等离子光学和基于SPPs的纳米光子器件的研究引起了国际上科学家们的广泛关注。讨论了SPPs的基本原理和在亚波长结构下的光学特性,介绍了基于亚波长金属结构的表面等离子激元在空间光束准直与聚焦、平面内光束聚焦与传导和在近场纳米光束的控制等方面的研究情况,以及在纳米光子学器件中的潜在应用。

关键词：近场光学纳米光子学器件表面等离子亚波长金属结构

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梳齿式微机械加速度计的研制

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传感技术学报 2009年第3期22卷 320-324页

作者：李童杰董景新刘云峰清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

微机械加速度计作为微机电系统(MEMS)的一个重要产品,目前已经得到了广泛应用。本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数学模型,并着重讨论了各个部分之间的关系;然后根据敏感元件的特性,对伺服回路的几个关键参数,即预载... 详细信息

微机械加速度计作为微机电系统(MEMS)的一个重要产品,目前已经得到了广泛应用。本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数学模型,并着重讨论了各个部分之间的关系;然后根据敏感元件的特性,对伺服回路的几个关键参数,即预载电压、PID校正参数和反馈增益,进行了分析;本文最后给出了一种加速度计整体性能的测试结果,结果表明:微机械加速度计的量程为±15gn,非线性度为0.041 9%,阈值为0.15 mgn,2 h稳定性误差为0.084 5 mgn,逐次启动重复性误差为0.156 mgn。

关键词： MEMS 梳齿式微机械加速度计

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集成光栅干涉微位移测量方法

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纳米技术与精密工程 2009年第1期7卷 56-59页

作者：伍康叶雄英刘力涛陈烽周兆英清华大学精密仪器与机械学系北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、... 详细信息

介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动、检测电路组成.入射激光照射到光栅上产生衍射光斑,衍射光的光强随可动结构与光栅之间的距离变化,通过测量衍射光强的变化可以得到位移.测试实验结果表明,所制作的集成光栅干涉微位移敏感芯片可实现位移检测,最小可检测的位移约0.2nm.

关键词：位移测量干涉法衍射光栅微机电系统

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基于WBCT的虹膜图像质量评价方法

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自动化学报 2009年第5期35卷 618-621页

作者：陈瑞林喜荣丁天怀清华大学深圳研究生院深圳518055 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

基于小波分析的Contourlet变换(Wavelet-based con-tourlet transform,WBCT)能有效地反映虹膜图像纹理的视觉感知特性.用级联BP神经网络确定图像的评估区域后,对区域图像进行WBCT分解,并分别定义和计算了5种质量评价指标来评估离焦模糊... 详细信息

基于小波分析的Contourlet变换(Wavelet-based con-tourlet transform,WBCT)能有效地反映虹膜图像纹理的视觉感知特性.用级联BP神经网络确定图像的评估区域后,对区域图像进行WBCT分解,并分别定义和计算了5种质量评价指标来评估离焦模糊图像、运动模糊图像、佩带隐形眼镜图像、睫毛和眼睑遮挡图像.实验结果表明,定义的指标可以快速精确地评价这几种图像的质量.并且评价结果与人眼主观评价一致,优于其他评价算法.

关键词：图像质量评价评估区域 BP神经网络基于小波分析的Contourlet变换

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芯轴型光纤水听器声压相移灵敏度响应分析

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光子学报 2009年第7期38卷 1641-1646页

作者：殷锴张敏丁天怀周宏朴荆振国廖延彪清华大学精密仪器与机械学系清华大学电子工程系光纤传感实验室北京100084 清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

提出了一种带空气腔芯轴型光纤水听器的结构模型,并对其声压相移灵敏度的响应特性进行了研究.通过对空气腔芯轴型光纤水听器的基本原理和结构进行分析,得出光纤与弹性筒作用的相互关系;建立了动力学等效模型,得出带空气腔芯轴型光纤水... 详细信息

提出了一种带空气腔芯轴型光纤水听器的结构模型,并对其声压相移灵敏度的响应特性进行了研究.通过对空气腔芯轴型光纤水听器的基本原理和结构进行分析,得出光纤与弹性筒作用的相互关系;建立了动力学等效模型,得出带空气腔芯轴型光纤水听器声压相移灵敏度表达式以及频率特性的理论模型;利用有限元方法,得到芯轴型光纤水听器的响应模型.根据提出的结构和确定的参量制作出相应的探头,经过试验测试,其3dB带宽约为30kHz,测试结果验证了提出的理论模型与有限元模型的正确性.

关键词：光纤传感器光纤水听器声压相移灵敏度有限元方法

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布里渊散射分布式光纤传感器研究热点跟踪

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激光技术 2009年第5期33卷 473-477,481页

作者：任成张书练清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

综述了基于布里渊散射的分布式光纤传感技术最新进展。介绍了其测量原理和研究现状;阐述了该领域目前的热点研究问题,包括空间分辨率提高、解决多参量测量的交叉敏感问题、消偏振衰落提高测量精度等;比较了各种解决方案的利弊;展望了今... 详细信息

综述了基于布里渊散射的分布式光纤传感技术最新进展。介绍了其测量原理和研究现状;阐述了该领域目前的热点研究问题,包括空间分辨率提高、解决多参量测量的交叉敏感问题、消偏振衰落提高测量精度等;比较了各种解决方案的利弊;展望了今后的发展方向。

关键词：传感器技术分布式光纤传感布里渊散射空间分辨率交叉敏感消偏振衰落

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集成于微型飞行器机翼上的流场传感器测量系统研究

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传感技术学报 2009年第7期22卷 950-954页

作者：刘旭东朱荣续立军张福星刘鹏周兆英中北大学电子测试技术国防重点实验室太原030051 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

阐述了热式流场传感器测量微型飞行器(MAVs)飞行参数的基本原理,介绍了流场传感器阵列在翼表流场测量中的应用。选用薄膜热敏电阻作为流场传感器敏感元件,采用恒温工作方式实现传感系统的测量。通过小型风洞试验,对传感器阵列进行了测试... 详细信息

阐述了热式流场传感器测量微型飞行器(MAVs)飞行参数的基本原理,介绍了流场传感器阵列在翼表流场测量中的应用。选用薄膜热敏电阻作为流场传感器敏感元件,采用恒温工作方式实现传感系统的测量。通过小型风洞试验,对传感器阵列进行了测试,并运用最小二乘法进行模型辨识。实验结果表明,所采用的流场传感器阵列可实现对风速测量,测量范围为2m/s～12m/s,测量精度为1m/s;对迎角的测量范围为0°～20°,测量精度为1°;对侧滑角的测量范围为-16°～18°,测量精度为1°。基本满足微型飞行器翼表流场的使用需要。

关键词：传感器阵列风洞风速迎角侧滑角最小二乘法

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