检索结果-内蒙古大学图书馆

中国激光 2003年第11期30卷 1015-1018页

作者：林德教柳忠尧张蕊殷纯永徐毅清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国计量科学研究院北京100013

提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶高度测量范围在 5 μm以上。同时采用相位测量技术 ,实现了对半波长的 36 0 0细分 ,从而使测量分辨率达到... 详细信息

提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶高度测量范围在 5 μm以上。同时采用相位测量技术 ,实现了对半波长的 36 0 0细分 ,从而使测量分辨率达到 0 1nm。由此同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求。实验结果表明系统在没有恒温的普通实验室条件下 1h内的漂移不超过 15nm ,与差动纳米双频干涉仪的比对结果线性系数在 0 9999以上 ,非线性误差约 10nm。

关键词：测绘仪器相位测量外差干涉共焦显微术

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光折变全息图的热定影及H^+数密度的影响

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北京理工大学学报 2002年第4期22卷 499-502页

作者：张泽明谢敬辉何庆生金国藩邬敏贤北京理工大学光电工程系北京100081 清华大学精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084

对 Ce∶ Fe∶ L i Nb O3晶体的体全息信息存储和热定影进行了理论和实验研究 ,从理论上分析了对不同空间频率的体全息图进行热定影所需的最小离子数密度 ,在国内首次对铌酸锂晶体中离子数密度进行了测试 ,并在不同的记录角度条件下进行... 详细信息

对 Ce∶ Fe∶ L i Nb O3晶体的体全息信息存储和热定影进行了理论和实验研究 ,从理论上分析了对不同空间频率的体全息图进行热定影所需的最小离子数密度 ,在国内首次对铌酸锂晶体中离子数密度进行了测试 ,并在不同的记录角度条件下进行了热定影实验。

关键词：热定影离子数密度 LiNbO3

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表面等离子体波亚纳米指零系统

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中国激光 2001年第12期28卷 1079-1081页

作者：吴健殷纯永郭继华清华大学精密仪器系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 清华大学应用物理系北京100084

提出了一种基于表面等离子体波(SPW)的纳米定位指零新方法。一个光纤探头可以等效于一个四层介质棱镜金属膜空气光纤系统。分析了探头得到的近场光强度。分析表明光纤耦合到的光通量随空气层间距变化,利用这个特点可以建立纳米定位... 详细信息

提出了一种基于表面等离子体波(SPW)的纳米定位指零新方法。一个光纤探头可以等效于一个四层介质棱镜金属膜空气光纤系统。分析了探头得到的近场光强度。分析表明光纤耦合到的光通量随空气层间距变化,利用这个特点可以建立纳米定位指零系统。实验表明该系统在 1℃恒温条件下 2 0min内的定位重复性标准偏差可以达到 2nm,分辨率为 0 1nm nV。

关键词：纳米指零系统表面等离子体波非接触测量纳米测量温度漂移

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用于测量液面高度的光纤光栅传感器(英文)

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激光技术 2001年第1期25卷 7-10页

作者：张书练李相培谢芳崔相三清华大学精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 韩国科学技术研究院光子研究中心

提出并实验了一种精密的用光纤光栅作为敏感元件测量液面高度的方法 ,讨论了传感系统设计的关键问题。该传感器可用于中等深度的液面高度的精密测量 ,其灵敏度可达0 .15mm/pm。

关键词：液面高度测量传感器光纤光栅

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具有纳米级分辨率的超精密定位工作台

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光学技术 2001年第6期27卷 556-557,559页

作者：林德教吴健殷纯永清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084

柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一种具有较大传动比的定位工作台 ,介绍了其系统结构和工作原理 ,并对刚度性能作了分析。利用双频激光干涉仪对压电陶瓷驱动下的工作台... 详细信息

柔性铰链精密定位工作台具有直接传动、无摩擦、结构紧凑、重量轻、刚度好及分辨率高等优点。设计了一种具有较大传动比的定位工作台 ,介绍了其系统结构和工作原理 ,并对刚度性能作了分析。利用双频激光干涉仪对压电陶瓷驱动下的工作台特性进行了测量。结果表明 ,该工作台具有纳米级的分辨率和定位精度。

关键词：柔性铰链定位工作台纳米级分辨率压电陶瓷双频激光干涉仪

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用于PZT调制干涉仪的外触发式差动数字鉴相技术

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光学技术 2001年第4期27卷 359-361页

作者：晁志霞林德教殷纯永清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084

基于相位测量的外差干涉系统以其信号处理方面的优势在光学计量领域得到了广泛的应用。介绍了采用机械调制方法的差动单频干涉系统的干涉信号小数级次的相位测量实现方法。针对机械调制干涉系统的信号有相位跃变点且周期不均匀的特点 ,... 详细信息

基于相位测量的外差干涉系统以其信号处理方面的优势在光学计量领域得到了广泛的应用。介绍了采用机械调制方法的差动单频干涉系统的干涉信号小数级次的相位测量实现方法。针对机械调制干涉系统的信号有相位跃变点且周期不均匀的特点 ,提出了利用外触发信号对干涉信号进行整周期截取而后再鉴相的方法。研制了基于 FPGA的外触发式差动数字鉴相系统。实验测试表明 ,该鉴相系统在信号频率为 30 0 Hz～ 10 k Hz范围内达到的指标为 :示值稳定性优于± 0 .0 15°,极限偏差小于± 0 .0

关键词：机械调制差动干涉仪差动数字鉴相 PZT FPGA

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温度补偿的光纤光栅应力传感系统的研究

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光学技术 2001年第5期27卷 393-395页

作者：谢芳张书练李岩张爱华李相培清华大学精密仪器系精密测量技术及仪器国家重点实验室北京100084 韩国科学技术研究院光子研究中心

提出并实验了一种有温度补偿的用于测量应力的光纤光栅传感系统。该系统用一组光纤光栅作为温度传感元件 ,对另一组应力传感的光纤光栅作温度补偿 ,有效地消除了由于温度变化而带来的应力测量误差。用一个应变仪作为系统的读出设备 ,使... 详细信息

提出并实验了一种有温度补偿的用于测量应力的光纤光栅传感系统。该系统用一组光纤光栅作为温度传感元件 ,对另一组应力传感的光纤光栅作温度补偿 ,有效地消除了由于温度变化而带来的应力测量误差。用一个应变仪作为系统的读出设备 ,使系统的测量结果的线性拟合度达 0 999。

关键词：光纤光栅传感器应变仪应力测量温度补偿

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具有納米指零系統的激光干涉儀

具有納米指零系統的激光干涉儀

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第二届海峡两岸制造技术研讨会

作者：吳健閆聚群殷純永北京清華大學精密儀器與機械學系精密測量技術與儀器國家重點實驗室100084

根据四层介质表面等离子体波共振(SPR)结构中透射光强随空气层厚度变化的特性建立了新颖的纳米定位指零系统.利用特殊设计的四面体棱镜把SPR纳米定位装置与干涉仪整合起来以减少干涉仪的累积漂移误差.实验表明,在0.5℃/hour 恒温条件下,... 详细信息

根据四层介质表面等离子体波共振(SPR)结构中透射光强随空气层厚度变化的特性建立了新颖的纳米定位指零系统.利用特殊设计的四面体棱镜把SPR纳米定位装置与干涉仪整合起来以减少干涉仪的累积漂移误差.实验表明,在0.5℃/hour 恒温条件下,SPR纳米定位系统20分钟内的定位重复性标准偏差可以达到4nm,分辨率爲0.1nm/nV;干涉仪的测量不确定度从70nm减少到10nm.

关键词：纳米定位表面等离子体共振特殊四面体棱镜激光干涉仪

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基于新型光谱器件的微小型光谱仪

基于新型光谱器件的微小型光谱仪

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第五届全国微米/纳米技术学术会议

作者：龙华何庆声邬敏贤金国藩清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室(北京)

微小型的光谱仪器是如今光谱研究的一大重点,其小尺寸、高稳定和成本低的特点有利于光谱分析的广泛应用.本文提出了一种新型的微小型光谱仪,其核心是一种特殊的色散成像器件.这种器件基于体全息存储技术,利用体全息光栅的布喇格选择性,... 详细信息

微小型的光谱仪器是如今光谱研究的一大重点,其小尺寸、高稳定和成本低的特点有利于光谱分析的广泛应用.本文提出了一种新型的微小型光谱仪,其核心是一种特殊的色散成像器件.这种器件基于体全息存储技术,利用体全息光栅的布喇格选择性,针对不同波长多重记录而成,其工作原理与传统的色散光栅大不相同,具有人为地确定色散规律,降低成像要求的优点.讨论了这种器件的原理与设计方法,并实验制作了离散型的原理性器件.

关键词：微小型光谱仪多重体全息布喇格选择性色散成像器件

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用于塞曼热稳频的自组织自适应预测控制系统

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计量学报 2000年第1期21卷 17-23页

作者：戴高良殷纯永清华大学精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084

塞曼热稳频广泛应用于双频激光干涉仪中,但稳频调节器的设计存在建模困难和调整工作量大的缺点。本文提出一种非参数化自组织建模的预测控制算法实现稳频控制,并进一步引入自适应算法消除模型误差。开发了可通用于各类塞曼热稳频系统的... 详细信息

塞曼热稳频广泛应用于双频激光干涉仪中,但稳频调节器的设计存在建模困难和调整工作量大的缺点。本文提出一种非参数化自组织建模的预测控制算法实现稳频控制,并进一步引入自适应算法消除模型误差。开发了可通用于各类塞曼热稳频系统的控制软件,成功地在幅值稳频和频差稳频塞曼激光器上实现了全自动热稳频。通过和中国计量科学研究院标准I2 吸收稳频激光器的拍频比对,表明基于频差稳频的横向塞曼激光器频率稳定度达3-38 ×10 - 10 ,频率复现性达3-75 ×10 -9 。基于光强稳频的纵向塞曼激光器的频率稳定度优于2 ×10 - 8 。

关键词：热稳频自适应算法预测控制系统激光干涉仪

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