检索结果-内蒙古大学图书馆

计量学报 2005年第1期26卷 5-7,19页

作者：闫聚群吴健高赛殷纯永清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 普锐科创科技有限责任公司北京100085

新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达15... 详细信息

新型驱动电机和高速传动器件的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能完全满足这一要求。为此,研制了一种基于5MHz频差双频激光器的高测速干涉仪,理论上的最高测量速度可达1580mm s。通过实验对测量速度和计数频率进行了检测,结果证明,这种干涉仪可以达到的最高测量速度为980mm s,外触发计数频率达11kHz。

关键词：计量学双频激光干涉仪高测速外触发频率

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用于线宽测量的偏振干涉共焦显微测量方法

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计量学报 2005年第2期26卷 115-119页

作者：柳忠尧闫聚群张蕊林德教殷纯永叶孝佑许婕清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国计量科学研究院北京100013

提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特... 详细信息

提出一种融合共焦显微技术和偏振干涉技术的偏振干涉共焦显微测量方法。利用共焦技术进行准确的焦点定位,以获得最佳的测量光斑;同时,利用照射到台阶边缘的不同偏振方向(平行和垂直于台阶边缘)的线偏振光反射后产生的相位变化不同这一特性,进行边缘定位。相位变化是利用外差干涉测相的方法得到的。这一系统完全符合共光路原则,有很强的抗干扰能力。利用该系统对标准线宽样板进行了测量,测量结果与中国计量科学研究院用原子力显微镜测量的结果,以及厂商提供的可溯源到美国NIST光学线宽标准的测量值都符合的很好;还对同一刻线进行了5次重复性测量,其极限偏差为20nm。

关键词：计量学偏振干涉边缘探测线宽共光路设计共焦显微术

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用伪色差概念和PW方法设计双折射透镜初始结构

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光学学报 2004年第7期24卷 965-969页

作者：张蕊闫聚群柳忠尧毛文炜殷纯永清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084

双焦点干涉显微镜因其高稳定性和高分辨率的特点而受到重视 ,其核心元件双折射透镜由一片双折射晶体和一片光学玻璃胶合而成。为了双折射透镜的设计工作方便 ,引入“伪色差”概念 ,定义“伪色散倒数” ,从而可以借用现有的初级像差理论 ... 详细信息

双焦点干涉显微镜因其高稳定性和高分辨率的特点而受到重视 ,其核心元件双折射透镜由一片双折射晶体和一片光学玻璃胶合而成。为了双折射透镜的设计工作方便 ,引入“伪色差”概念 ,定义“伪色散倒数” ,从而可以借用现有的初级像差理论 ,运用PW方法 ,给出满足不同设计要求的三种双折射晶体和三种玻璃配对的双胶合透镜的初始结构表格 ,在不同的应用场合 ,可用OSLO软件进行像差计算和优化设计 ,取得需要的结果。为了便于评价这种特定的结构 ,定义紧凑因子γ作为一个评价指标。给出采用方解石和ZF1作材料的设计实例 ,该设计结构紧凑 (γ =0 .2 5 )。

关键词：应用光学光学设计伪色散伪色差 PW方法双折射透镜

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具有成像功能的多重体全息光栅光谱色散器件

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光电子．激光 2004年第1期15卷 1-4页

作者：曹良才马晓苏何庆声邬敏贤金国藩清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084

根据体全息光栅的透镜作用,使用平行光和会聚光记录多重光栅,光谱无需会聚透镜即可成像。在器件的设计中,分析了LiNbO3晶体材料色散的影响,并实验中对曝光时序实时监控,制作了8重光栅的光谱成像色散器件,整个输出谱面的宽度尺寸为8mm。

关键词：成像功能多重体全息光栅光谱色散器件 LiNbO3晶体材料色散衍射效率

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In:Fe:LiNbO3晶体在电解质溶液中体全息存储性能的研究

In:Fe:LiNbO3晶体在电解质溶液中体全息存储性能的研究

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中国光学学会2004年学术大会

作者：郭云波王建岗何庆声邬敏贤金国藩清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084

In:Fe:LiNbO3晶体是一种优良的全息光折变存储材料。本文了研究不同掺杂浓度的In:Fe:LiNbO3晶体在90度体全息记录模式下的存储中产生的光伏电场的影响, 以改善晶体的动态范围和灵敏度。实验表明In:Fe:LiNbO3晶体在电解质溶液里具有很高... 详细信息

In:Fe:LiNbO3晶体是一种优良的全息光折变存储材料。本文了研究不同掺杂浓度的In:Fe:LiNbO3晶体在90度体全息记录模式下的存储中产生的光伏电场的影响, 以改善晶体的动态范围和灵敏度。实验表明In:Fe:LiNbO3晶体在电解质溶液里具有很高的灵敏度和较大的动态范围。在体全息存储及相关识别小系统上实现了300 幅图像的存储与准确识别。

关键词：铌酸锂晶体体全息存储体全息相关识别光伏效应全息光折变存储材料掺杂改性

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基于多重体全息光栅的光谱器件的研究

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光电子．激光 2003年第2期14卷 114-117页

作者：曹良才马晓苏何庆声邬敏贤金国藩清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084

提出了一种新型的基于多重体全息存储的光栅光谱仪。在光折变晶体Fe:LiNbO3中的同一位置采用角度与波长混合复用的方法记录多个光栅,它们对相应波长的光具有光谱色散功能;采用布喇格角度与波长补偿的方法,它们还可以通过单一波长的激光... 详细信息

提出了一种新型的基于多重体全息存储的光栅光谱仪。在光折变晶体Fe:LiNbO3中的同一位置采用角度与波长混合复用的方法记录多个光栅,它们对相应波长的光具有光谱色散功能;采用布喇格角度与波长补偿的方法,它们还可以通过单一波长的激光器进行记录。给出了该器件的工作原理和参数设计,并在实验上制作了10通道的光谱间隔为10nm的光谱器件。实验结果表明,该光谱器件具有设计灵活、光谱范围宽、光谱分辨率高和衍射效率高等优点。

关键词：多重体全息光栅光谱仪波长-角度混合复用布喇格选择性多光栅光谱色散器件

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旋转光栅调制傅里叶变换频谱仪

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中国激光 2003年第5期30卷 409-412页

作者：林德教平井亚纪子松本弘一曾理江殷纯永清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 日本国家产业技术综合研究所计量研究部门茨城县筑波3058563

提出了一种基于圆盘旋转光栅调制的傅里叶变换光谱仪(FTS),光栅同时实现了分束和外差调制的功能。分析了三种实现分光的方案,通过对三个波长分别为670nm,633nm和532nm的激光进行了频谱测量实验,结果表明该光谱仪具有良好的稳定性和抗干... 详细信息

提出了一种基于圆盘旋转光栅调制的傅里叶变换光谱仪(FTS),光栅同时实现了分束和外差调制的功能。分析了三种实现分光的方案,通过对三个波长分别为670nm,633nm和532nm的激光进行了频谱测量实验,结果表明该光谱仪具有良好的稳定性和抗干扰能力,经调制后测量灵敏度倍增20倍,尤其适用于微弱信号测量和近红外领域。

关键词：光电子学傅里叶变换光谱仪旋转光栅外差调制

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双频干涉共焦台阶高度测量系统

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中国激光 2003年第11期30卷 1015-1018页

作者：林德教柳忠尧张蕊殷纯永徐毅清华大学精密仪器与机械学系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国计量科学研究院北京100013

提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶高度测量范围在 5 μm以上。同时采用相位测量技术 ,实现了对半波长的 36 0 0细分 ,从而使测量分辨率达到... 详细信息

提出了一种以低频差横向塞曼双频激光器作光源的外差干涉共焦显微测量系统 ,该系统通过共焦显微的光强测量进行粗定位 ,其轴向台阶高度测量范围在 5 μm以上。同时采用相位测量技术 ,实现了对半波长的 36 0 0细分 ,从而使测量分辨率达到 0 1nm。由此同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求。实验结果表明系统在没有恒温的普通实验室条件下 1h内的漂移不超过 15nm ,与差动纳米双频干涉仪的比对结果线性系数在 0 9999以上 ,非线性误差约 10nm。

关键词：测绘仪器相位测量外差干涉共焦显微术

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光折变全息图的热定影及H^+数密度的影响

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北京理工大学学报 2002年第4期22卷 499-502页

作者：张泽明谢敬辉何庆生金国藩邬敏贤北京理工大学光电工程系北京100081 清华大学精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084

对 Ce∶ Fe∶ L i Nb O3晶体的体全息信息存储和热定影进行了理论和实验研究 ,从理论上分析了对不同空间频率的体全息图进行热定影所需的最小离子数密度 ,在国内首次对铌酸锂晶体中离子数密度进行了测试 ,并在不同的记录角度条件下进行... 详细信息

对 Ce∶ Fe∶ L i Nb O3晶体的体全息信息存储和热定影进行了理论和实验研究 ,从理论上分析了对不同空间频率的体全息图进行热定影所需的最小离子数密度 ,在国内首次对铌酸锂晶体中离子数密度进行了测试 ,并在不同的记录角度条件下进行了热定影实验。

关键词：热定影离子数密度 LiNbO3

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表面等离子体波亚纳米指零系统

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中国激光 2001年第12期28卷 1079-1081页

作者：吴健殷纯永郭继华清华大学精密仪器系精密测量技术与仪器国家重点实验室北京100084 清华大学应用物理系北京100084

提出了一种基于表面等离子体波(SPW)的纳米定位指零新方法。一个光纤探头可以等效于一个四层介质棱镜金属膜空气光纤系统。分析了探头得到的近场光强度。分析表明光纤耦合到的光通量随空气层间距变化,利用这个特点可以建立纳米定位... 详细信息

提出了一种基于表面等离子体波(SPW)的纳米定位指零新方法。一个光纤探头可以等效于一个四层介质棱镜金属膜空气光纤系统。分析了探头得到的近场光强度。分析表明光纤耦合到的光通量随空气层间距变化,利用这个特点可以建立纳米定位指零系统。实验表明该系统在 1℃恒温条件下 2 0min内的定位重复性标准偏差可以达到 2nm,分辨率为 0 1nm nV。

关键词：纳米指零系统表面等离子体波非接触测量纳米测量温度漂移

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