检索结果-内蒙古大学图书馆

物理学报 2014年第24期63卷 392-399页

作者：高扬福孙晓民宋亦旭阮聪清华大学计算机科学与技术系智能技术与系统国家重点实验室清华大学信息科学与技术国家实验室北京100084

刻蚀表面仿真是研究等离子体刻蚀工艺过程机理的重要手段.在刻蚀表面仿真方法中,刻蚀表面演化模型和离子刻蚀产额模型直接决定了刻蚀表面演化结果.但现有的刻蚀表面演化模型不够精确,且目前离子刻蚀产额模型主要来自分子动力学仿真和物... 详细信息

刻蚀表面仿真是研究等离子体刻蚀工艺过程机理的重要手段.在刻蚀表面仿真方法中,刻蚀表面演化模型和离子刻蚀产额模型直接决定了刻蚀表面演化结果.但现有的刻蚀表面演化模型不够精确,且目前离子刻蚀产额模型主要来自分子动力学仿真和物理实验,而实际加工过程十分复杂,等效的离子刻蚀产额包含很多因素.针对这些问题,首先对当前的刻蚀表面演化模型进行改进,同时重新定义了离子刻蚀产额模型的优化目标,并利用实际刻蚀加工数据来优化离子刻蚀产额模型.为缩短优化模型所用时间,采用并行方法来加速优化过程.最后,将得到的离子刻蚀产额模型参数应用于采用元胞自动机法的刻蚀工艺实际仿真过程中.实验结果表明,该优化建模方法确实提高了仿真的精确度,同时优化过程所用时间也大大减少.

关键词：实际刻蚀数据刻蚀产额模型刻蚀速率多目标进化算法

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元胞方法与蒙特卡洛方法相结合的薄膜生长过程模拟

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物理学报 2015年第3期64卷 470-476页

作者：阮聪孙晓民宋亦旭清华大学计算机科学与技术系智能技术与系统国家重点实验室清华大学信息科学与技术国家实验室北京100084

利用仿真方法从原子尺度研究薄膜生长过程是当前薄膜研究领域的热点.目前,仿真方法主要在纳米尺度模型实现,时空需求很大.针对这一问题,本文提出元胞和蒙特卡洛相结合的模拟方法,实现对微米尺度模型薄膜生长过程的模拟.利用元胞方法来... 详细信息

利用仿真方法从原子尺度研究薄膜生长过程是当前薄膜研究领域的热点.目前,仿真方法主要在纳米尺度模型实现,时空需求很大.针对这一问题,本文提出元胞和蒙特卡洛相结合的模拟方法,实现对微米尺度模型薄膜生长过程的模拟.利用元胞方法来实现模型表示以及演化计算,从而降低对内存空间的要求,提高计算效率,并使用蒙特卡洛方法计算粒子的扩散概率.通过对氮化硅薄膜生长过程进行具体研究,将模拟结果与实际实验结果和分子动力学演化结果进行表面形貌和成分的比较,验证了该方法的有效性.

关键词：薄膜生长元胞方法蒙特卡洛方法

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基于刻蚀速率匹配的离子刻蚀产额优化建模方法

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物理学报 2014年第4期63卷 336-344页

作者：高扬福宋亦旭孙晓民清华大学计算机科学与技术系智能技术与系统国家重点实验室清华大学信息科学与技术国家实验室北京100084

随着微电子产业的不断发展,刻蚀特征尺度达到纳米级,等离子体刻蚀工艺过程机理研究越来越受到重视.刻蚀表面仿真是研究离子刻蚀特性的重要方法.在离子刻蚀表面仿真中,离子刻蚀产额模型是研究刻蚀机理的重要模型,也是元胞自动机等仿真方... 详细信息

随着微电子产业的不断发展,刻蚀特征尺度达到纳米级,等离子体刻蚀工艺过程机理研究越来越受到重视.刻蚀表面仿真是研究离子刻蚀特性的重要方法.在离子刻蚀表面仿真中,离子刻蚀产额模型是研究刻蚀机理的重要模型,也是元胞自动机等仿真方法的重要基础.为了解决利用传统方法无法得到准确刻蚀产额模型参数的问题,本文提出一种基于刻蚀速率匹配的离子刻蚀产额优化建模方法,该方法以实际刻蚀速率与模拟刻蚀速率之间的均方差为优化目标,利用基于分解的多目标进化算法来优化离子的刻蚀产额模型参数,并将得到的刻蚀产额模型参数应用到采用元胞方法的刻蚀工艺的实际仿真过程中.实验结果表明了该刻蚀产额优化建模方法的有效性.

关键词：刻蚀产额模型刻蚀速率多目标进化算法

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微小型自主直升机自抗扰控制

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机器人 2009年第5期31卷 385-390页

作者：谈黎贾培发清华大学计算机科学与技术系清华信息科学与技术国家实验室智能技术与系统国家重点实验室北京100084

针对微小型直升机建模困难,而且内部和外部扰动都比较大的问题,提出一种基于自抗扰控制的飞行控制方法.按照飞行控制的要求改进了原算法的扩张状态观测器离散方程和非线性反馈函数.起飞、悬停和强风中飞行控制仿真验证了改进的自抗扰控... 详细信息

针对微小型直升机建模困难,而且内部和外部扰动都比较大的问题,提出一种基于自抗扰控制的飞行控制方法.按照飞行控制的要求改进了原算法的扩张状态观测器离散方程和非线性反馈函数.起飞、悬停和强风中飞行控制仿真验证了改进的自抗扰控制方法的有效性.

关键词：微小型自主直升机自抗扰控制飞行控制

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无环境力反馈的四通道双边控制

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控制理论与应用 2011年第3期28卷 315-320页

作者：王裕基孙富春刘华平闵海波清华大学计算机科学与技术系智能技术与系统国家重点实验室清华信息科学与技术国家实验室北京100084

传统的四通道双边控制方法需要大量的力传感器,用以检测遥操作系统受到的环境力,在实际工程中不易推广应用.本文提出了一种无环境力反馈的四通道双边控制策略,分析了无时延和有时延两种情况下遥操作系统的透明性.并采用无源的双边控制律... 详细信息

传统的四通道双边控制方法需要大量的力传感器,用以检测遥操作系统受到的环境力,在实际工程中不易推广应用.本文提出了一种无环境力反馈的四通道双边控制策略,分析了无时延和有时延两种情况下遥操作系统的透明性.并采用无源的双边控制律,设计了大时延情形下的系统控制结构.仿真结果表明,存在大时延时,提出的控制系统在自由运动和接触运动中都具有良好的性能.

关键词：四通道双边控制力反馈

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机器人灵巧手的触觉分析与建模

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机器人 2013年第4期35卷 394-401页

作者：萧伟孙富春刘华平清华大学计算机科学与技术系智能技术与系统国家重点实验室清华信息科学与技术国家实验室北京100084

为实现机器人灵巧手的精细操作,分析了灵巧手触觉时间序列的特点,提出了一种基于分段线性动态系统的"模型袋"描述方法.通过求解动态系统模型参数矩阵,构造了用于描述不同类型目标物体的模型族,在低维特征空间中建立了触觉时... 详细信息

为实现机器人灵巧手的精细操作,分析了灵巧手触觉时间序列的特点,提出了一种基于分段线性动态系统的"模型袋"描述方法.通过求解动态系统模型参数矩阵,构造了用于描述不同类型目标物体的模型族,在低维特征空间中建立了触觉时间序列与模型族之间的对应关系.通过对带有触觉阵列传感器的灵巧手系统进行实验,验证了本文提出的方法不仅可以准确精炼地描述同类目标物体触觉信息的动态过程,还可以建立对不同类型目标物体的综合描述,为在特征空间内进行多模态信息融合提供支撑.

关键词：灵巧手触觉线性动态系统模型袋精细操作

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基于距离传感器的双边遥操作

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机器人 2010年第6期32卷 705-710页

作者：王裕基孙富春刘华平李永明闵海波清华大学计算机科学与技术系智能技术与系统国家重点实验室清华信息科学与技术国家实验室北京100084

为了改善双边遥操作的力反馈性能,本文根据从端操作臂上的传感器检测的目标距离信息,设计了新的PD双边控制器.证明了系统的稳定性条件,并通过单自由度双边遥操作实验系统,对提出的控制方法进行了实验验证.实验结果表明,当从端操作臂靠... 详细信息

为了改善双边遥操作的力反馈性能,本文根据从端操作臂上的传感器检测的目标距离信息,设计了新的PD双边控制器.证明了系统的稳定性条件,并通过单自由度双边遥操作实验系统,对提出的控制方法进行了实验验证.实验结果表明,当从端操作臂靠近目标时,主端操作臂产生了逐渐增大的反馈力.这种控制策略为操作者安全实现遥操作任务提供了有效手段.

关键词：遥操作双边控制位置检测

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基于泛化空间正则自动编码器的遥感图像识别

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清华大学学报（自然科学版） 2018年第2期58卷 113-121页

作者：杨倩文孙富春清华大学计算机科学与技术系信息科学与技术国家实验室(筹)智能技术与系统国家重点实验室

为了解决遥感图像中的合成孔径雷达（synthetic aperture radar,SAR）图像的样本稀缺问题,该文提出了针对这一小样本问题的泛化空间和泛化样本理论,将机器学习的分类问题转化为泛化空间中的样本密度估计问题。首先,通过研究泛化空间方法... 详细信息

为了解决遥感图像中的合成孔径雷达（synthetic aperture radar,SAR）图像的样本稀缺问题,该文提出了针对这一小样本问题的泛化空间和泛化样本理论,将机器学习的分类问题转化为泛化空间中的样本密度估计问题。首先,通过研究泛化空间方法,针对有限样本的识别分类问题建立了样本密度估计模型,并从理论上验证了泛化空间方法的可行性;其次,在正则化自动编码器模型中,加入了泛化规则作为新的正则化因子对图像重构误差进行约束,针对有限样本问题建立泛化正则自动编码器（generalized autoencoders,GAE）,并提出利用该算法进行图像识别的模型;最后,将该模型应用于遥感图像小样本目标识别问题中。实验结果表明：GAE在SAR图像中具有最优的小样本学习能力,在样本数量有限的情况下,该方法表现出最小的重构误差和测试错误率。在小样本输入情况下,GAE模型实现了对MSTAR图像以及船舶SAR图像的识别分类,进一步证明了该算法相比于同类算法在SAR图像小样本识别问题中更具有优势。

关键词：泛化空间正则化自动编码器(GAE) 合成孔径雷达(SAR) 有限样本无监督学习

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基于压缩表示的离子刻蚀仿真三维表面演化方法

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物理学报 2013年第20期62卷 471-478页

作者：杨宏军宋亦旭郑树琳贾培发清华大学计算机科学与技术系智能技术与系统国家重点实验室清华信息科学与技术国家实验室北京100084 沈阳炮兵学院沈阳110162

为了研究表面演化过程的机理,提出了一种基于压缩表示的三维表面演化方法来模拟等离子体刻蚀工艺,并着重探讨了对离子刻蚀的仿真.为了解决三维元胞自动机内存需求量大的问题,该方法将二维数组和动态存储方式相结合,既实现元胞信息的无... 详细信息

为了研究表面演化过程的机理,提出了一种基于压缩表示的三维表面演化方法来模拟等离子体刻蚀工艺,并着重探讨了对离子刻蚀的仿真.为了解决三维元胞自动机内存需求量大的问题,该方法将二维数组和动态存储方式相结合,既实现元胞信息的无损压缩存储,又保持三维元胞间的空间相关性.实验结果也表明该方法不仅节省了大量内存,而且在高分辨率条件下查找离子初始碰撞的表面元胞效率较高,满足高分辨率仿真的要求.将该方法应用于实现刻蚀工艺三维表面仿真中,模拟结果与实验结果对比验证了该方法的有效性.

关键词：等离子体刻蚀元胞自动机表面演化方法高分辨率仿真

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文本可视化研究综述

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计算机辅助设计与图形学学报 2013年第3期25卷 273-285页

作者：唐家渝刘知远孙茂松智能技术与系统国家重点实验室清华信息科学与技术国家实验室(筹)清华大学计算机科学与技术系北京100084

随着海量文本的涌现,信息超载和数据过剩等问题促使了文本可视化技术的出现.文本可视化技术综合了文本分析、数据挖掘、数据可视化、计算机图形学、人机交互、认知科学等学科的理论和方法,为人们提供了一种理解复杂文本的内容、结构和... 详细信息

随着海量文本的涌现,信息超载和数据过剩等问题促使了文本可视化技术的出现.文本可视化技术综合了文本分析、数据挖掘、数据可视化、计算机图形学、人机交互、认知科学等学科的理论和方法,为人们提供了一种理解复杂文本的内容、结构和内在规律等信息的有效手段.文中首先阐述了文本可视化的概念和重要性,然后按照不同可视化对象类型综述了文本可视化的研究现状,并介绍了典型的文本可视化方法与方案;最后,对文本可视化的未来研究方向进行了展望.

关键词：信息可视化可视分析文本分析信息抽取人机交互界面

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