检索结果-内蒙古大学图书馆

第十三届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：王建艳裴强林智鑫郭航厦门大学机电工程系福建省厦门市361005 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院福建省厦门市361005 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院福建省厦门市361005 厦门大学机电工程系福建省厦门市361005

微纳米谐振器由于尺寸达到微纳米级而具有谐振频率高、有效质量小、品质因数高等特点,广泛应用于各种电子产品中.为了达到更高的谐振频率,设计了一种新型谐振器.利用静电纺丝法制备出单根纳米PZT纤维,建立模型将单根PZT微纳米纤维应用... 详细信息

微纳米谐振器由于尺寸达到微纳米级而具有谐振频率高、有效质量小、品质因数高等特点,广泛应用于各种电子产品中.为了达到更高的谐振频率,设计了一种新型谐振器.利用静电纺丝法制备出单根纳米PZT纤维,建立模型将单根PZT微纳米纤维应用到谐振器中.通过压电分析以及能量分析的方法研究了单根PZT微纳米纤维在电场激励下的谐振频率，并近似计算出PZT微纳米纤维谐振器的谐振频率,并利用精密阻抗分析仪对PZT微纳米纤维谐振器的固有频率进行测定了测定。

关键词：微纳米谐振器单根PZT纤维谐振频率压电分析能量法

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微型超声手术刀的振动检测技术

微型超声手术刀的振动检测技术

引用

2010全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：徐加山郭航福建省厦门市思明南路422号厦门大学萨本栋微纳米研究中心

微型超声手术刀是目前正在研究的将MEMS技术与压电超声技术结合起来的一种新型微创手术器械。其刀体被设计成对称或偏心的硅片喇叭口形,刀头带有微齿,由MEMS技术加工制成,而在接近刀体的中部贴有PZT-4压电陶瓷片,以驱动刀体进入纵向共... 详细信息

微型超声手术刀是目前正在研究的将MEMS技术与压电超声技术结合起来的一种新型微创手术器械。其刀体被设计成对称或偏心的硅片喇叭口形,刀头带有微齿,由MEMS技术加工制成,而在接近刀体的中部贴有PZT-4压电陶瓷片,以驱动刀体进入纵向共振状态,进行微纳米级的精确切割,共振频率在超声频段。作为一个高度集成的微形驱动器,其检测是十分重要的,为此,研发了光学检测技术与电学检测技术。光学方法是搭建以高倍数码显微镜和CCD设备为核心的光学检测平台,实验中可以清楚地观测出采用PZT-4压电片驱动的微型手术刀的振动情况。光学技术较为复杂,为此,又研发了电学检测技术:采用两片PZT-4压电片夹持硅片刀体,在一片PZT-4压电片上加驱动电压信号,在另一片PZT-4压电片上引出电流信号,进行检测。锁相环电路后能够对超声手术刀振动频率进行锁频跟踪,基于DSP的数据采集电路能够采集振动信号。通过对电压信号的检测分析,可以迅速确定手术刀是否进入共振切割状态,并分析其振幅。这两种方法相互补充,有效地解决了微型手术刀的检测难题。

关键词：微型超声手术刀 MEMS技术振动信号光学检测信号采集

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微型超声手术刀的振动检测技术

微型超声手术刀的振动检测技术

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2010年全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：徐加山郭航 361005 福建省厦门市思明南路422号厦门大学萨本栋微纳米研究中心

微型超声手术刀是目前正在研究的将MEMS技术与压电超声技术结合起来的一种新型微创手术器械.其刀体被设计成对称或偏心的硅片喇叭口形,刀头带有微齿,由MEMS技术加工制成,而在接近刀体的中部贴有PZT-4压电陶瓷片,以驱动刀体进入纵向共振... 详细信息

微型超声手术刀是目前正在研究的将MEMS技术与压电超声技术结合起来的一种新型微创手术器械.其刀体被设计成对称或偏心的硅片喇叭口形,刀头带有微齿,由MEMS技术加工制成,而在接近刀体的中部贴有PZT-4压电陶瓷片,以驱动刀体进入纵向共振状态,进行微纳米级的精确切割,共振频率在超声频段.作为一个高度集成的微形驱动器,其检测是十分重要的,为此,研发了光学检测技术与电学检测技术.光学方法是搭建以高倍数码显微镜和CCD设备为核心的光学检测平台,实验中可以清楚地观测出采用PZT-4压电片驱动的微型手术刀的振动情况.光学技术较为复杂,为此,又研发了电学检测技术:采用两片PZT-4压电片夹持硅片刀体,在一片PZT-4压电片上加驱动电压信号,在另一片PZT-4压电片上引出电流信号,进行检测.锁相环电路后能够对超声手术刀振动频率进行锁频跟踪,基于DSP的数据采集电路能够采集振动信号.通过对电压信号的检测分析,可以迅速确定手术刀是否进入共振切割状态,并分析其振幅.这两种方法相互补充,有效地解决了微型手术刀的检测难题.

关键词：微型超声手术刀振动信号光学检测技术电学检测技术

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一种压电微驱动器的ANSYS仿真研究

一种压电微驱动器的ANSYS仿真研究

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第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会

作者：徐加山郭涛孙宏明郭航福建省厦门市厦门大学萨本栋微机电中心新疆乌鲁木齐市新疆大学信息科学与工程学院

微泵是微流体系统中重要的驱动部件,压电驱动是实现MEMS微流体驱动的一种重要方式。本文根据压电效应原理,提出了一种基于MEMS技术的PZT驱动膜的压电微泵驱动器的结构。利用ANSYS有限元分析软件,建立了压电微泵有限元模型,在一个振动周... 详细信息

微泵是微流体系统中重要的驱动部件,压电驱动是实现MEMS微流体驱动的一种重要方式。本文根据压电效应原理,提出了一种基于MEMS技术的PZT驱动膜的压电微泵驱动器的结构。利用ANSYS有限元分析软件,建立了压电微泵有限元模型,在一个振动周期内进行了耦合场微泵驱动膜振动位移和流场中的液体流速的仿真分析。结果显示,该压电微泵可以很好的实现液体的输运。

关键词：微泵压电驱动有限元分析 ANSYS

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聚二甲基硅氧烷中真空氧等离子体表面改性与键合

引用

厦门大学学报（自然科学版） 2005年第6期44卷 792-795页

作者：沈德新张峰张春权罗仲梓陈志扬周勇亮厦门大学化学系福建省化学生物学重点实验室厦门大学萨本栋微机电研究中心福建厦门361005

键合是微流控芯片制作的关键技术之一.目前广泛应用的PDMS微流控芯片一般通过高真空(压力低于10 Pa)氧等离子体活化及键合进行制备,需要昂贵的分子泵等设备.通过工艺改进,使用装配普通油泵的等离子体去胶机,在中真空(27 Pa)成功进行聚... 详细信息

键合是微流控芯片制作的关键技术之一.目前广泛应用的PDMS微流控芯片一般通过高真空(压力低于10 Pa)氧等离子体活化及键合进行制备,需要昂贵的分子泵等设备.通过工艺改进,使用装配普通油泵的等离子体去胶机,在中真空(27 Pa)成功进行聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面改性及键合.处理后的PDMS表面亲水性得到极大改善,贴合后可永久性密封,制作微流控芯片.使用扫描电镜,红外光谱及接触角测量仪进行了表征.与文献报道的高真空氧等离子体处理方法相比,效果基本一致,却大幅度降低了对设备系统的要求,并缩短了操作时间.

关键词：芯片实验室 PDMS 键合中真空氧等离子体

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