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机构

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  • 1 篇 等离子体表面技术...
  • 1 篇 等离子体表面技术...
  • 1 篇 等离子体表面技术...
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  • 1 篇 现代焊接生产技术...

作者

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  • 9 篇 巩春志
  • 6 篇 杨士勤
  • 5 篇 吴忠振
  • 4 篇 石经纬
  • 2 篇 张新宇
  • 1 篇 王雪松
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  • 1 篇 朱宗涛
  • 1 篇 shi jing-wei
  • 1 篇 gong chun-zhi
  • 1 篇 yang shi-qin
  • 1 篇 tian xiu-bo
  • 1 篇 李希平
  • 1 篇 li xi-ping

语言

  • 11 篇 中文
检索条件"机构=等离子体表面技术与设备研究所哈尔滨工业大学"
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真空镀膜中的复合电源技术
真空镀膜中的复合电源技术
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中国真空学会真空工程学术交流会
作者： 田修波 巩春志 朱宗涛 石经纬 杨士勤 等离子体表面技术与设备研究所 现代焊接生产技术国家重点实验室材料科学与工程学院哈尔滨工业大学
真空镀膜离不开先进的电源技术。真空镀膜中电源种类也不尽相同,包括蒸发电源、磁控溅射电源、阴极弧电源、偏压电源、离子注入电源、高压电源、溅射清洗电源等等。随着人们对薄膜质量和性能的不断追求,这些电源技术也不断发展。近些年... 详细信息
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