检索结果-内蒙古大学图书馆

光学技术 2020年第3期46卷 330-335页

作者：徐鹤轩李书成邱丽荣王允北京理工大学光电学院“精密光电测试仪器及技术”北京市重点实验室北京100081

传统Czerny-Turner光谱仪系统中,像散是影响光谱仪成像质量并限制其在分析领域中进一步应用的主要因素。针对这一问题,提出了柱面反射式消像散Czerny-Turner光谱仪高分辨探测技术。使用柱面反射镜校正系统像散,能够提高系统像质,在具有... 详细信息

传统Czerny-Turner光谱仪系统中,像散是影响光谱仪成像质量并限制其在分析领域中进一步应用的主要因素。针对这一问题,提出了柱面反射式消像散Czerny-Turner光谱仪高分辨探测技术。使用柱面反射镜校正系统像散,能够提高系统像质,在具有良好工艺性的同时,保证宽波段C-T光谱仪的实际分辨力。实验证明,柱面反射式消像散C-T光谱仪的分辨力在400~800nm的探测范围内可以达到0.02 nm。该技术能够提高光谱仪的性能,为高分辨宽波段的光谱仪研制提供可行方法。

关键词：光谱仪 Czerny-Turner 柱面反射镜 Zemax 像散校正

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激光差动共焦非球面顶点曲率半径测量方法

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光学技术 2021年第6期47卷 703-708页

作者：田松梅杨帅白登天李金金李琦杨铮赵维谦邱丽荣北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081

针对不同二次曲面常数旋转对称非球面光学元件的顶点曲率半径高精度、通用化测量问题,提出了一种基于激光差动共焦的非球面顶点曲率半径测量方法。该方法利用圆形光瞳技术使非球面实测共焦点接近顶点球面球心;利用差动共焦技术对被测非... 详细信息

针对不同二次曲面常数旋转对称非球面光学元件的顶点曲率半径高精度、通用化测量问题,提出了一种基于激光差动共焦的非球面顶点曲率半径测量方法。该方法利用圆形光瞳技术使非球面实测共焦点接近顶点球面球心;利用差动共焦技术对被测非球面的猫眼点和共焦点分别进行精密瞄准定位,测得实际顶点曲率半径值;通过理论仿真分析得到圆形光阑尺寸与顶点曲率半径理论偏差值之间的关系,对实际测量值进行补偿。实验结果表明,该方法相对精度小于0.01%,为非球面顶点曲率半径测量提供了一种全新的技术手段。

关键词：非球面顶点曲率半径激光差动共焦圆形光瞳

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光栅尺测长式激光差动共焦曲率半径测量系统

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应用光学 2014年第6期35卷 1023-1028页

作者：徐鹏赵维谦王方彪肖阳周桃庚北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081

为了增强高精度曲率半径测量仪器的抗环境干扰能力,满足现场使用需求,研制了一套基于光栅尺测长的激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统利用差动共焦轴向光强响应曲线的过零点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,对被测样品的猫眼位置及共... 详细信息

为了增强高精度曲率半径测量仪器的抗环境干扰能力,满足现场使用需求,研制了一套基于光栅尺测长的激光差动共焦曲率半径测量系统。该系统利用差动共焦轴向光强响应曲线的过零点对应系统物镜聚焦焦点这一特性,对被测样品的猫眼位置及共焦位置进行精确瞄准定位,并借助光栅尺测长得到透镜猫眼位置与共焦位置之间的距离,实现曲率半径的测量。实验表明,该系统相对测量精度优于5×10-6,满足高精度曲率半径测量的精度需求。

关键词：差动共焦曲率半径测量非接触测量光栅尺

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共焦布里渊光谱成像装置研制

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光学技术 2018年第4期44卷 443-447页

作者：张涛赵维谦邱丽荣吴寒旭王允北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室

布里渊光谱成像技术由于其非接触、高空间分辨力、三维成像的特性,广泛应用于生物医学和材料化学领域。将共焦显微技术与光谱探测技术相结合,研制了共焦布里渊光谱成像装置。对二氧化硅玻璃、硅胶和树脂玻璃进行单点光谱测试,求得纵向... 详细信息

布里渊光谱成像技术由于其非接触、高空间分辨力、三维成像的特性,广泛应用于生物医学和材料化学领域。将共焦显微技术与光谱探测技术相结合,研制了共焦布里渊光谱成像装置。对二氧化硅玻璃、硅胶和树脂玻璃进行单点光谱测试,求得纵向弹性模量M分别为83.4GPa、1.21GPa和9.48GPa;对折射率相近的二氧化硅玻璃和树脂玻璃粘接区域进行二维布里渊频移成像,从光谱图像中很容易区分和鉴别两种材料,解决了折射率相近的材料在光强图上难以区分的难题。

关键词：光谱学共焦布里渊光谱成像物质鉴别

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一种光学相位延迟谱的测量方法

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光学技术 2023年第6期49卷 723-727页

作者：赵雅丽杨景杰张旭升北京理工大学精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081

通常光学相位延迟测量方法都采用单一波长的光进行测量,无法准确反映延迟量随波长的变化。文章提出了一种简便的相位延迟谱的测量方法,该方法利用平面偏振测量仪,通过旋转待测元件并测量系统的透射光谱,进而按照原理算法解算出相位延迟... 详细信息

通常光学相位延迟测量方法都采用单一波长的光进行测量,无法准确反映延迟量随波长的变化。文章提出了一种简便的相位延迟谱的测量方法,该方法利用平面偏振测量仪,通过旋转待测元件并测量系统的透射光谱,进而按照原理算法解算出相位延迟谱。实验结果表明,该方法具有很好的重复性,操作简便,测量结果的重复性可以保持在0.41°以内。

关键词：物理光学偏振光学相位延迟测量不确定度分析

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大承载气浮回转工作台的调心技术

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光学技术 2017年第2期43卷 144-147页

作者：高冠刘恩涛张恒利马飞王允北京理工大学精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081

为了实现大口径光学元件表面轮廓的高精度测量,提出了一种大承载气浮回转工作台的调心技术,并研制了一套具有偏心自动调整功能的测控系统。该系统主要由精密气浮回转轴、台达PLC、数显千分表和轮廓仪工作台组成。利用VC++的PLC串口通讯... 详细信息

为了实现大口径光学元件表面轮廓的高精度测量,提出了一种大承载气浮回转工作台的调心技术,并研制了一套具有偏心自动调整功能的测控系统。该系统主要由精密气浮回转轴、台达PLC、数显千分表和轮廓仪工作台组成。利用VC++的PLC串口通讯和偏心调整软件的控制,实现了轮廓仪的自动调心功能。

关键词：应用光学大口径光学元件大承载气浮偏心调整

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基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量

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应用光学 2021年第4期42卷 698-702页

作者：宁悦文胡摇陶鑫郝群北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081

光学元件轴向间距测量对精密光学系统的定位和装调具有重要意义。针对现有色散共焦测量系统中色散物镜结构复杂、色散范围小的问题,提出基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量方法,将传统折射共焦镜头几百毫米的轴向尺寸和复杂的... 详细信息

光学元件轴向间距测量对精密光学系统的定位和装调具有重要意义。针对现有色散共焦测量系统中色散物镜结构复杂、色散范围小的问题,提出基于偏振衍射色散共焦的光学元件轴向间距测量方法,将传统折射共焦镜头几百毫米的轴向尺寸和复杂的装调需求简化为数毫米的单片镜,简化了系统结构。透镜间距和厚度测量实验表明,间距测量误差为10μm。

关键词：色散共焦间距测量偏振衍射光学元件

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激光差动共焦反射式超大曲率半径测量系统研制

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电子测量与仪器学报 2020年第5期32卷 1-8页

作者：卜乙禄李琦李彦宏邱丽荣周桃庚赵维谦北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081

针对球面超大曲率半径测量中存在的测量精度低、抗环境干扰能力差的难题,研制了一套激光差动共焦反射式超大曲率半径测量系统。该系统采用反射式测量光路,利用差动共焦响应曲线对被测件的猫眼和反射位置进行高精度定位,并用测长干涉仪... 详细信息

针对球面超大曲率半径测量中存在的测量精度低、抗环境干扰能力差的难题,研制了一套激光差动共焦反射式超大曲率半径测量系统。该系统采用反射式测量光路,利用差动共焦响应曲线对被测件的猫眼和反射位置进行高精度定位,并用测长干涉仪记录位置信息,最后结合物镜顶焦距解算出超大曲率半径值。理论分析与实验表明,该系统定焦精度高,测量范围大,抗环境干扰能力强,相对测量误差优于2×10^-4,-15 m超大曲率半径测量结果的重复性可达1.2×10^-4,实现了超大曲率半径的高精度测量。

关键词：差动共焦反射式超大曲率半径定焦测量系统

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用于移相干涉的高精度可伸缩PZT驱动电源技术

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光学技术 2021年第3期47卷 321-326页

作者：郑超何奇周实杨帅崔健邱丽荣北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081 之江实验室浙江杭州310000

针对现有的三压电陶瓷移相器难以驱动大口径参考镜进行移相干涉测量的问题,设计了一种用于被测镜单压电陶瓷驱动移相干涉测量系统的高精度压电陶瓷移相器驱动电源。电源采用误差放大式结构,根据输入信号与输出采样的偏差,通过比例作差... 详细信息

针对现有的三压电陶瓷移相器难以驱动大口径参考镜进行移相干涉测量的问题,设计了一种用于被测镜单压电陶瓷驱动移相干涉测量系统的高精度压电陶瓷移相器驱动电源。电源采用误差放大式结构,根据输入信号与输出采样的偏差,通过比例作差与光耦隔离等环节输出控制信号,进而控制MOSFET的导通状态调整充放电电流,控制由倍压整流电路生成的直流高压源进行输出,实现对驱动电源输出电压的稳定控制。实验表明其高精度压电陶瓷驱动电源具有在-600~+600V范围内输出连续可调电压的能力,且纹波小于20mV,线性度和精确度高,稳定性好,可实现压电陶瓷的可伸缩精确移相,满足被测镜移相干涉测量系统进行大口径被测镜高精度面形测量的要求。

关键词：面形测量倍压整流电路压电陶瓷充放电电流电源输出电压导通状态可调电压移相器

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大梯度相位单幅干涉图的解相方法

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中国激光 2019年第5期46卷 356-364页

作者：叶明哲王劭溥胡摇郝群北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室北京100081 中国空间技术研究院北京卫星环境工程研究所北京100094

针对加工中的大梯度相位在线检测需求,提出一种基于数字叠栅移相方法和牛顿迭代算法的单幅干涉图解相方法。在不同待测相位下,将所提方法的结果与其他3种典型的单幅干涉图解相方法进行仿真对比,结果表明,所提方法的解相精度较高。对离... 详细信息

针对加工中的大梯度相位在线检测需求,提出一种基于数字叠栅移相方法和牛顿迭代算法的单幅干涉图解相方法。在不同待测相位下,将所提方法的结果与其他3种典型的单幅干涉图解相方法进行仿真对比,结果表明,所提方法的解相精度较高。对离焦球面产生的大梯度相位进行测量实验,并将实验结果与ZYGO公司生产的干涉仪机械移相测量结果进行对比,验证了所提方法的有效性。

关键词：测量干涉测量解相方法单幅干涉图解相精度

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