检索结果-内蒙古大学图书馆

压电与声光 1999年第6期21卷 433-438页

作者：王喆垚朱惠忠董永贵冯冠平清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

讨论了鼓形ＡＴ－切石英谐振器的力频特性。理论基础是初始有限变形上叠加弹性增量变形，并且使用了Ｍｉｎｄｌｉｎ所提出的把应变应力展开成板厚的级数的方法。在把三维运动方程简化为二维运动方程后。推导了带有电极的ＡＴ－切石英谐... 详细信息

讨论了鼓形ＡＴ－切石英谐振器的力频特性。理论基础是初始有限变形上叠加弹性增量变形，并且使用了Ｍｉｎｄｌｉｎ所提出的把应变应力展开成板厚的级数的方法。在把三维运动方程简化为二维运动方程后。推导了带有电极的ＡＴ－切石英谐振器的运动微分方程。为了得到鼓形ＡＴ－切石英谐振器的Ｒａｔａｊｓｋｉ系数，在计算石英片在初始应力作用下的应力应变分布时考虑了石英各向异性的特性。将计算结果与其他研究者的实验和理论结果进行了比较。

关键词：石英谐振器力频特性

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布里渊散射分布式光纤传感器研究热点跟踪

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激光技术 2009年第5期33卷 473-477,481页

作者：任成张书练清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084

综述了基于布里渊散射的分布式光纤传感技术最新进展。介绍了其测量原理和研究现状;阐述了该领域目前的热点研究问题,包括空间分辨率提高、解决多参量测量的交叉敏感问题、消偏振衰落提高测量精度等;比较了各种解决方案的利弊;展望了今... 详细信息

综述了基于布里渊散射的分布式光纤传感技术最新进展。介绍了其测量原理和研究现状;阐述了该领域目前的热点研究问题,包括空间分辨率提高、解决多参量测量的交叉敏感问题、消偏振衰落提高测量精度等;比较了各种解决方案的利弊;展望了今后的发展方向。

关键词：传感器技术分布式光纤传感布里渊散射空间分辨率交叉敏感消偏振衰落

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大台阶高度测量的外差共焦方法

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中国激光 2005年第3期32卷 389-393页

作者：闫聚群柳忠尧林德教张蕊殷纯永徐毅许婕清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国计量科学研究院北京100013

台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据.该扫描方法集中融... 详细信息

台阶高度是微电子产品的一个重要性能参数.基于双频激光干涉共焦显微系统(DICM)提出了一种微电子掩膜板台阶高度测量的扫描方法,在共焦显微扫描样品表面,当光强达到最大值时,将采样外差干涉的相位作为精确对准的判据.该扫描方法集中融合了外差干涉测量和共焦显微测量的优点,同时实现了高分辨率与较大量程的测量,该系统测量台阶高度的范围取决于Z向位移扫描仪PI Foc的扫描范围,可达数十甚至近百微米.实验结果表明该系统在普通恒温的实验条件下1 h内的漂移不超过5 nm,该系统已经用于20μm高台阶的测量,对准分辨率为0 1 nm,实验结果与台阶高度实际值有很好的一致性.

关键词：测量与计量共焦显微术外差干涉相位测量台阶

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一种消除伴生调幅的光源调频型相位生成载波解调方法

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光电子．激光 2011年第2期22卷 180-184页

作者：施清平王利威张敏田芊廖延彪清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学电子工程系光纤传感研究中心北京100084

为了克服伴生调幅对光源调频型相位生成载波(PGC)解调方法的影响,提出一种基于双路干涉信号和微分-交叉相乘(DCM,differential-cross multiply)的PGC解调方法。通过3×2耦合器引入双路干涉信号,直接调制光源频率获得相位载波。实验... 详细信息

为了克服伴生调幅对光源调频型相位生成载波(PGC)解调方法的影响,提出一种基于双路干涉信号和微分-交叉相乘(DCM,differential-cross multiply)的PGC解调方法。通过3×2耦合器引入双路干涉信号,直接调制光源频率获得相位载波。实验结果表明,新方法较好地消除了光源伴生调幅的影响。对于4 rad的解调信号,总谐波比提高20 dB以上,幅值偏差为0.08 rad,而单路干涉信号的DCM-PGC方法的偏差达0.33 rad。并且,新方法的信噪比和信纳比均有显著的改善。

关键词：干涉型光纤传感器直接调制伴生调幅相位生成载波(PGC)

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角抽运Nd:YAG复合板条946nm连续运转激光器

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物理学报 2013年第14期62卷 189-192页

作者：刘欢王巍巩马理清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室激光与光子技术研究室北京100084

报道了一种适合中小功率输出的全固态激光器的角抽运方法,抽运光从板条激光器中板条晶体的角部入射,可获得较高的抽运效率和较好的抽运均匀性.采用单角抽运方式,首次进行了角抽运Nd:YAG复合板条946nm连续运转激光器的实验研究.激光腔采... 详细信息

报道了一种适合中小功率输出的全固态激光器的角抽运方法,抽运光从板条激光器中板条晶体的角部入射,可获得较高的抽运效率和较好的抽运均匀性.采用单角抽运方式,首次进行了角抽运Nd:YAG复合板条946nm连续运转激光器的实验研究.激光腔采用紧凑型平凹直腔结构,腔长仅为20mm.当注入抽运功率为50W时,946nm激光连续输出功率最高达5.29W,光光转换效率为10.6%,斜效率为12%.整台激光器结构紧凑,调谐简单,成本低,具有广阔的应用前景.

关键词：角抽运 Nd YAG晶体连续波 946nm激光

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光纤Bragg光栅反射波长移位探测的一种新方法

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压电与声光 2002年第3期24卷 180-182页

作者：张爱华李岩张书练谢芳清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

提出了一种用计算机实现的光纤 Bragg光栅反射波长移位的探测方法。由计算机经 D/ A转换器产生一个扫描三角波 ,驱动 PZT周期拉伸参考光纤光栅。当参考光纤光栅栅距与传感光纤光栅栅距匹配时 ,探测器输出峰值 ,由此可测得传感光纤光栅... 详细信息

提出了一种用计算机实现的光纤 Bragg光栅反射波长移位的探测方法。由计算机经 D/ A转换器产生一个扫描三角波 ,驱动 PZT周期拉伸参考光纤光栅。当参考光纤光栅栅距与传感光纤光栅栅距匹配时 ,探测器输出峰值 ,由此可测得传感光纤光栅反射波长移位。实验表明 ,该方法可构成柔性实验系统 ,具有波长移位探测精度高 ,线性度好 ,易操作等优点。

关键词：反射波长移位光纤布喇格光栅栅距探测

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双频激光干涉仪技术现状与发展

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激光与红外 2004年第4期34卷 251-253页

作者：所睿范志军李岩张书练清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084

文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势。

关键词：双频激光干涉仪外差干涉分辨率发展趋势

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毛细管直接进样质谱仪在液体样品分析中的应用

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分析化学 2013年第8期41卷 1287-1290页

作者：余泉倪凯唐飞王晓浩清华大学深圳研究生院先进制造学部清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室

毛细管进样是目前小型质谱中常见的进样方式,它主要用于在大气压条件下对气态样品直接进行成分分析。本研究将自行搭建的一台基于毛细管进样和电子轰击电离源的小型四极杆质谱仪用于液体样品的分析研究,主要通过对甲苯样品的测定来验证... 详细信息

毛细管进样是目前小型质谱中常见的进样方式,它主要用于在大气压条件下对气态样品直接进行成分分析。本研究将自行搭建的一台基于毛细管进样和电子轰击电离源的小型四极杆质谱仪用于液体样品的分析研究,主要通过对甲苯样品的测定来验证液体直接进样分析方法的可行性。液体进样的方式能防止大气采样过程中空气的摄入,降低谱图上空气背景的干扰。结果表明,采用5μm内径的进样毛细管时,仪器能直接用于对液体样品的分析。此外,实验中还通过在毛细管上施加高电压的方式使采集的液体形成电喷雾,以此来促进液体的气化过程,使样品更易于被电离,这一方案能显著提高仪器的检测效率和灵敏度。

关键词：小型质谱仪液体分析大气压下进样电喷雾

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基于光谱椭偏术的Si球表面氧化层厚度测量

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光电子．激光 2011年第9期22卷 1376-1379页

作者：吴学健张继涛李岩罗志勇尉昊贇清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 中国计量科学研究院北京100013

为改善X射线晶体密度法测得的阿伏伽德罗常数的标准不确定度,研制了一种基于光谱椭偏术和二维Si球扫描机构的Si球表面氧化层厚度自动扫描测量系统,用于测量直径约93.6 mm、质量约1 kg的单晶Si球表面氧化层平均厚度。用本文系统对标准Si... 详细信息

为改善X射线晶体密度法测得的阿伏伽德罗常数的标准不确定度,研制了一种基于光谱椭偏术和二维Si球扫描机构的Si球表面氧化层厚度自动扫描测量系统,用于测量直径约93.6 mm、质量约1 kg的单晶Si球表面氧化层平均厚度。用本文系统对标准Si球表面进行400点扫描测量实验,得到氧化层厚度分布,且测得其平均厚度为6.00(22)nm。测量结果可将由氧化层导致的阿伏伽德罗常数测量相对不确定度降低至2.5×10-8。

关键词：测量氧化层光谱椭偏扫描机构 Si球

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基于跳变线估测的相位包裹去除法

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光电子．激光 2003年第7期14卷 745-748页

作者：惠梅邓年茂王东生李庆祥清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室北京100084 中国科学院西安光学精密机械研究所陕西西安710068

针对相移干涉术中噪声点产生的相位跳变,提出一种基于跳变线估测的相位包裹去除法。该方法简单实用、与去包裹路径无关,可以有效地消除干涉图噪声所产生的位相跳变,消除噪声包裹导致的相位图上的"拉线"现象,恢复真实相位。用... 详细信息

针对相移干涉术中噪声点产生的相位跳变,提出一种基于跳变线估测的相位包裹去除法。该方法简单实用、与去包裹路径无关,可以有效地消除干涉图噪声所产生的位相跳变,消除噪声包裹导致的相位图上的"拉线"现象,恢复真实相位。用于相移干涉测量表面微观形貌,取得了较好的实验结果。

关键词：相移干涉术相位跳变跳变线估测相位包裹去除法形貌测量

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