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检索条件"机构=苏州智程半导体科技股份有限公司"
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一种轴向立式晶圆电镀腔
一种轴向立式晶圆电镀腔
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作者： 刘瑞 杨仕品 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇中华路889号
本发明属于晶圆电镀技术领域，尤其是一种轴向立式晶圆电镀腔，包括电镀腔体，所述电镀腔体的内部设置有阳极液池以及位于所述阳极液池外部的阴极液池，所述阳极液池的内底壁开设有阳极液进口，所述阳极液池的内顶壁还开设有延伸至所述... 详细信息
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一种晶圆真空湿润机构及晶圆真空湿润方法
一种晶圆真空湿润机构及晶圆真空湿润方法
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作者： 刘瑞 215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
本发明提供了一种晶圆真空湿润机构及晶圆真空湿润方法，晶圆湿润机构包括湿润组件、驱动机构和箱体，箱体内中空并形成腔体，驱动机构具驱动轴，驱动轴连接晶圆夹具，晶圆夹具带动晶圆在腔体内转动；湿润组件包括喷头和转动机构，喷头... 详细信息
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一种槽式晶圆清洗干燥设备
一种槽式晶圆清洗干燥设备
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作者： 顾雪平 时新宇 李威 215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
本发明提供了一种槽式晶圆清洗干燥设备，包括主槽体，主槽体内设置清洗槽、干燥组件以及传送机构，清洗槽内盛放晶圆清洗液，干燥组件向主槽体内通入干燥气体，传送机构带动晶圆上升以脱离清洗槽并提升至干燥组件处；干燥组件包括进气... 详细信息
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一种晶圆电镀机的晶圆上下料机构
一种晶圆电镀机的晶圆上下料机构
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作者： 刘瑞 周训丙 孙先淼 215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇中华路889号
本发明属于晶圆电镀技术领域，尤其是一种晶圆电镀机的晶圆上下料机构，包括升降垂直滑轨，所述升降垂直滑轨的顶端表面固定安装有防护罩，所述防护罩的顶部和内部均设置有晶圆输料机构，所述晶圆输料机构实现晶圆在垂直方向向下运动输... 详细信息
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一种半导体工艺冷盘及水冷增强方法
一种半导体工艺冷盘及水冷增强方法
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作者： 杨仕品 孙先淼 宋裕华 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
本发明属于半导体晶圆技术领域，尤其是一种半导体晶圆Track工艺冷盘及水冷增强方法，包括上盘体和下盘体，所述上盘体的上表面设置有放置部件，所述上盘体与所述下盘体相对的表面设置有冷却部件，所述冷却部件的外部设置有增强部件。... 详细信息
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一种电镀机电镀液气泡消除机构
一种电镀机电镀液气泡消除机构
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作者： 刘瑞 杨仕品 华斌 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
本发明属于半导体晶圆加工技术领域，尤其是一种电镀机电镀液气泡消除机构，包括对晶圆用电镀液实现容纳的电镀箱。该电镀机电镀液气泡消除机构，通过设置双位出液机构、减压缓冲机构和气泡消除机构，采用分流、减压、过滤的方式对含有... 详细信息
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一种异丙醇和氮气的混合装置
一种异丙醇和氮气的混合装置
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作者： 顾雪平 陈焱 时新宇 215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路299号3号房
本发明提供了一种异丙醇和氮气的混合装置，包括：反应腔、异丙醇注入管路、氮气管路、设置于反应腔的导流板和鼓泡结构、及与反应腔连通的循环系统。通过导流板与鼓泡结构相结合的设置，增大氮气和异丙醇的接触面积，提高反应腔内的氮... 详细信息
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一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机
一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机
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作者： 周训丙 郭鑫 王大权 215000 江苏省苏州市昆山市巴城镇中华路889号
本发明属于晶圆电镀技术领域，尤其是一种离子滤膜自动导气的晶圆电镀机，包括用于晶圆电镀的电镀机本体，所述电镀机本体的内部设置有电镀工艺腔，所述电镀工艺腔的内底壁通过阳极连接座和阳极板设置有阳极液池，所述阳极液池上方安装... 详细信息
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一种晶圆清洗用摆臂装置
一种晶圆清洗用摆臂装置
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作者： 顾雪平 时新宇 215311 江苏省苏州市昆山市巴城镇中华路889号
本发明涉及半导体制造设备技术领域，尤其为一种晶圆清洗用摆臂装置，包括固定底座，所述固定底座的顶部固定连接有支柱，所述支柱的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板顶部远离支柱的一端固定连接有伺服电机，所述支撑板的底部分别设置... 详细信息
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一种晶圆去胶剥离设备
一种晶圆去胶剥离设备
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作者： 杨仕品 华斌 215000 江苏省苏州市昆山市巴城镇中华路889号
本发明提供了一种晶圆去胶剥离设备，包括机架，以及安装于机架的浸泡装置、喷淋装置和清洗装置，浸泡装置、喷淋装置以及清洗装置均适配于第一尺寸晶圆和第二尺寸晶圆的浸泡、喷淋和清洗步骤，喷淋装置及清洗装置均设有主腔体和驱动组... 详细信息
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