检索结果-内蒙古大学图书馆

微处理机 2007年第5期28卷 38-40,44页

作者：于慰李振波唐晓宁陈佳品薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

Ad Hoc具有网络无中心,多跳等技术特点,选取移动网格路由协议(the Mobile Mesh Routing Protocol,以下简称MMRP)作为Ad Hoc网络的研究内容,通过对该协议路由机制的分析,在移动PC上模拟协议的运行,实现了Ad Hoc多跳,自组织的功能。实验... 详细信息

Ad Hoc具有网络无中心,多跳等技术特点,选取移动网格路由协议(the Mobile Mesh Routing Protocol,以下简称MMRP)作为Ad Hoc网络的研究内容,通过对该协议路由机制的分析,在移动PC上模拟协议的运行,实现了Ad Hoc多跳,自组织的功能。实验结果表明:MMRP是一种健壮的、有效的移动Ad Hoc路由协议。

关键词： Ad Hoc网络 MMRP协议 UDP套接字周期性 LSP数据报

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金纳米粒子作掩模的硅纳米柱阵列的加工

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微细加工技术 2007年第1期 24-27+31页

作者：赵保军王英张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海210030 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

利用自组装的方法在硅基片表面形成一层均匀的金纳米粒子掩模,分析了偶联剂对自组装的影响,以金纳米粒子作掩模进行反应离子刻蚀,研究了刻蚀时间对硅纳米柱阵列的影响,提供了一种简单、便宜并且有效的在硅基底上大面积形成纳米柱阵列的... 详细信息

利用自组装的方法在硅基片表面形成一层均匀的金纳米粒子掩模,分析了偶联剂对自组装的影响,以金纳米粒子作掩模进行反应离子刻蚀,研究了刻蚀时间对硅纳米柱阵列的影响,提供了一种简单、便宜并且有效的在硅基底上大面积形成纳米柱阵列的纳米加工方法。实验中发现,超过一定刻蚀时间时,有过刻蚀现象发生,在120 s刻蚀时间下,得到了直径小于20 nm,深宽比高达10∶1以上规则、致密、大面积分布的硅纳米柱或硅纳米锥状结构。

关键词：自组装金纳米粒子纳米柱阵列反应离子刻蚀

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几种纳米加工技术的原理、特点及其应用

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纳米科技 2007年第3期4卷 44-48,59页

作者：赵保军王英张亚非上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微耗纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

从整体上介绍了基于传统半导体加工的纳米加工技术、探针直接书写式纳米加工技术、纳米复制加工技术，以及这几种纳米加工技术的原理、特点及其应用。

关键词：纳米加工掩膜浸笔纳米印刷微接触印刷纳米压印

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SU-8胶模去除技术

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微细加工技术 2007年第1期 1-6页

作者：崔峰靖向萌赵小林丁桂甫张卫平陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进行了综述,并结合本实验室的电铸Ni结构去胶试验,对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进行了有益发展。最后介绍了SU-8辅助去胶技术,如辅助剥离牺牲层技术、辅助电铸结构抵抗去... 详细信息

对各种去胶技术的原理、优缺点及其适用场合进行了综述,并结合本实验室的电铸Ni结构去胶试验,对强碱熔盐浴氧化、强酸氧化等经济有效的去胶方法进行了有益发展。最后介绍了SU-8辅助去胶技术,如辅助剥离牺牲层技术、辅助电铸结构抵抗去胶剥落的桩基形成技术。提出了一种与多层互连电路微制造兼容的金属桩基形成技术,并采用强酸氧化去胶方法在制作有互联电路及薄膜电极的基片上成功地集成了200μm厚的Ni结构。

关键词：微机电系统 SU-8 去胶高深宽比桩基

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NiFeCo/Cu多层膜的巨磁电阻(GMR)效应

NiFeCo/Cu多层膜的巨磁电阻(GMR)效应

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TFC'07全国薄膜技术学术研讨会

作者：牛永波冯洁上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室

GMR 效应发现以后,迅速在信息存储和传感器等领域中展现出诱人的应用前景。基于 GMR 效应的磁性生物传感器因其具有的成本低、集成度高及方便快捷等优点而有望在疾病诊断等领域得到实际应用,它利用磁微球（Magnetic microbeads）作为待... 详细信息

GMR 效应发现以后,迅速在信息存储和传感器等领域中展现出诱人的应用前景。基于 GMR 效应的磁性生物传感器因其具有的成本低、集成度高及方便快捷等优点而有望在疾病诊断等领域得到实际应用,它利用磁微球（Magnetic microbeads）作为待测生物分子的标记物,借助 GMR 传感器来检测磁微球发出的微小磁场,以此达到定性及定量检测被标记生物分子的目的。要在生物传感器中得到应用,对 GMR 材料通常有如下的特性要求：低场下取得大的 GMR 效应, 饱和场低,磁滞小等。针对以上的要求,我们采用直流磁控溅射法,制备了 NiFeCo/Cu 多层膜,其具体结构如下：NiFeCo（缓冲层）/[NiFeCo/Cu]× /NiFeCo/Ta。研究了室温下 NiFeCo/Cu 多层膜的 GMR 效应对缓冲层（NiFeCo）厚度、间隔层（Cu）厚度、以及铁磁层（NiFeCo）厚度等三个参数的依赖关系。通过优化制备条件,得到了最大 GMR 值为8．8％,且饱和场较低、磁滞小的多层膜样品,其各结构参数为：缓冲层（NiFeCo）5nm,间隔层（Cu）2．4nm,铁磁层（NiFeCo）1．6nm。本研究还对部分多层膜样品进行了真空下的磁场退火处理, 并对比了退火前后的 GMR 特性,结果表明：一定条件下的退火处理可以降低磁滞,改善多层膜样品的特性,但是退火后样品的饱和场增大,而且部分样品在退火后,磁场灵敏度也会降低。因此我们认为：对于本研究所制备的多层膜,可以不进行退火处理。本研究所制备的沉积态 NiFeCo/Cu多层膜的 GMR 特性符合磁性生物传感器的应用要求。

关键词：多层膜 GMR 生物分子巨磁电阻 NiFeCo/Cu

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Ag基碳纳米管(碳纳米纤维)复合电镀

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新技术新工艺 2007年第4期 70-73页

作者：王裕超丁桂甫吴惠箐汪红姚锦元杨春生上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

为获得电接触性能优越的复合电镀层,选用碳纳米管及碳纳米纤维作为增强相物质,在优化选择的镀液体系中,利用超声振荡辅助复合电镀制备Ag基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层。通过扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)进行观察,证明... 详细信息

为获得电接触性能优越的复合电镀层,选用碳纳米管及碳纳米纤维作为增强相物质,在优化选择的镀液体系中,利用超声振荡辅助复合电镀制备Ag基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层。通过扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)进行观察,证明碳纳米管及碳纳米纤维能够均匀分散到Ag基体中并实现良好结合,其中,Ag更在碳纳米管表面外延生长,形成了有效的界面结合。

关键词：碳纳米管碳纳米纤维银电接触复合电镀

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基于MEMS技术的无线USB鼠标研究

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微处理机 2007年第5期28卷 12-15页

作者：杨华峰陈文元黄得志张卫平吴校生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

无线鼠标可广泛用于计算机输入和虚拟技术中,具有使用灵活、性能可靠等优点,叙述了采用低g高灵敏度双轴加速度传感器ADXL202E采集加速度信息,8位精简指令(RISC)单片机ATmega16完成数据转换、编码处理,并兼作蓝牙芯片的主机,2.4GHz射频芯... 详细信息

无线鼠标可广泛用于计算机输入和虚拟技术中,具有使用灵活、性能可靠等优点,叙述了采用低g高灵敏度双轴加速度传感器ADXL202E采集加速度信息,8位精简指令(RISC)单片机ATmega16完成数据转换、编码处理,并兼作蓝牙芯片的主机,2.4GHz射频芯片nRF2402和nRF2401实现无线收发以及采用带USB接口的单片机CY7C637xx搭建无线鼠标的原理和实现方案。

关键词： MEMS 加速度传感器单片机蓝牙 USB 鼠标

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Al_2O_3纳米线薄膜的制备及其生成机理研究

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电镀与精饰 2007年第5期29卷 1-5页

作者：杨卉王庆康上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,... 详细信息

研究了一种简单新颖的制备Al2O3纳米线薄膜的电化学方法。以阳极氧化法在高纯铝片表面制备多孔阳极氧化铝的工艺为基础,在草酸电解液中通过一次阳极氧化过程,将阳极氧化铝孔壁溶解形成Al2O3纳米线,均匀覆盖在阳极氧化铝有序孔道的上方,得到一种特殊结构的纳米线薄膜。使用扫描电镜、高分辨透射电镜和X-射线能谱仪对纳米线的形貌、结构及成分进行了表征分析。并结合扫描电镜对不同反应时间长度的产物形貌来观察纳米线的生成过程。探讨了Al2O3纳米线薄膜的生成机理。

关键词：阳极氧化 Al2O3纳米线薄膜

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钽喷丝头表面覆加金刚石膜的研究

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新技术新工艺 2007年第2期 74-76页

作者：姚锦元王裕超上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

为改善钽喷丝头的品质,提高其硬度和耐碱腐蚀能力,利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜,并通过对钽衬底的碳化处理,成功使之沉积于纯钽喷丝头表面,对纯钽喷丝头进行表面强化。通过场发射扫描电镜观察,大粒径金刚石薄膜有少量孔隙,小粒... 详细信息

为改善钽喷丝头的品质,提高其硬度和耐碱腐蚀能力,利用热丝CVD制备不同粒径的金刚石薄膜,并通过对钽衬底的碳化处理,成功使之沉积于纯钽喷丝头表面,对纯钽喷丝头进行表面强化。通过场发射扫描电镜观察,大粒径金刚石薄膜有少量孔隙,小粒径金刚石薄膜细腻致密。硬度测试结果表明,金刚石薄膜钽喷丝头表面硬度达HV1000以上,远高于纯钽及其它工艺处理后的钽喷丝头。可纺性试验结果表明,其性能都达到或超过传统喷丝头,完全可以取代成本高昂的铂金喷丝头。

关键词：金刚石薄膜热丝CVD 碳化钽喷丝头

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基于MEMS工艺的碳纳米管(碳纳米纤维)铜微异型触点

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电子器件 2007年第5期30卷 1542-1546页

一类为保护MEMS微继电器、提高它们使用寿命,而设计生产的微异型触点.该类微异型触点利用MEMS工艺,对铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层进行细微图形化加工而成.一系列测试表明,铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层本身具有良好的电... 详细信息

一类为保护MEMS微继电器、提高它们使用寿命,而设计生产的微异型触点.该类微异型触点利用MEMS工艺,对铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层进行细微图形化加工而成.一系列测试表明,铜基碳纳米管及碳纳米纤维复合电镀层本身具有良好的电接触性能,而利用MEMS工艺表面细微图形化加工后的微异型触点,比未经图形化加工的复合电镀层及纯铜触点具有更好耐电弧磨损性能.

关键词：电接触异型触点 MEMS 碳纳米管碳纳米纤维

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