检索结果-内蒙古大学图书馆

真空 2011年第2期48卷 19-21页

作者：唐刚刘景全杨春生柳和生李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械与电气学院江西南昌330099 南昌大学机电工程学院江西南昌330031

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术,通过湿法... 详细信息

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术,通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题,为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础。

关键词：压电能量采集器真空键合 PZT(锆钛酸铅)厚膜湿法化学刻蚀振动

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建立“人工面神经技术”恢复周围性面瘫兔的闭眼功能

引用

现代生物医学进展 2011年第15期11卷 2828-2831页

作者：王宇娟李克勇刘景全许栋岳芮岳峰上海交通大学附属第一人民医院耳鼻咽喉-头颈外科上海200080 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

目的:建立"人工面神经技术"以恢复单侧周围性面瘫兔的眼轮匝肌闭眼功能,为周围性面瘫提供一种新的治疗手段。方法:制备单侧周围性面瘫兔,建立健侧眼轮匝肌肌电信号采集、中枢信号处理模式识别、患侧电流刺激眼轮匝肌系统。当... 详细信息

目的:建立"人工面神经技术"以恢复单侧周围性面瘫兔的眼轮匝肌闭眼功能,为周围性面瘫提供一种新的治疗手段。方法:制备单侧周围性面瘫兔,建立健侧眼轮匝肌肌电信号采集、中枢信号处理模式识别、患侧电流刺激眼轮匝肌系统。当健侧眼轮匝肌采集的肌电信号经信号识别、提取以及电脑分析判断,符合其闭眼刺激阈值时,即对人工电刺激器发出指令,由刺激电极直接作用于患侧眼轮匝肌,引起眼睑完全闭合结果:以最小电流刺激患侧眼轮匝肌,引起眼睑完全闭合刺激方式为正负矩形波,电流强度为0.30～0.50mA。结论:利用可植入式微机电技术,在单侧周围性面瘫模型建立"人工面神经反射弧",恢复患侧眼轮匝肌闭眼收缩,可维持双侧闭眼功能的对称性和同步性。

关键词：面神经反射弧周围性面瘫面瘫模型电流刺激人工电刺激器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

金刚石晶体生长研究进展

引用

上海交通大学学报 2010年第4期44卷 584-587,592页

作者：赵刚赵江张亚非上海交通大学微纳米科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍利用高温高压(HPHT)合成高质量金刚石单晶和化学气相沉积法(CVD)制备金刚石薄膜的设备、方法、工艺参数以及热丝CVD和微波等离子体CVD的优缺点;P型和N型金刚石掺杂研制现状.重点介绍N型金刚石掺杂的困难,氮、锂、钠、磷、硫等杂质... 详细信息

介绍利用高温高压(HPHT)合成高质量金刚石单晶和化学气相沉积法(CVD)制备金刚石薄膜的设备、方法、工艺参数以及热丝CVD和微波等离子体CVD的优缺点;P型和N型金刚石掺杂研制现状.重点介绍N型金刚石掺杂的困难,氮、锂、钠、磷、硫等杂质的掺杂效果,共掺杂对于金刚石薄膜的影响,以及近年来P型和N型掺杂取得的成果.

关键词：金刚石高温高压化学气相沉积掺杂

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

外磁场方位及磁珠位置和团聚对巨磁阻生物传感器检测的影响

引用

光学精密工程 2010年第11期18卷 2437-2442页

作者：李福泉冯洁陈翔石海平上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

实现GMR生物传感器对磁珠及其偶联的生物分子的定量检测,必须考虑磁场方位及磁珠位置和磁珠团聚对检测方法的影响。本文首先利用Comsol软件模拟了这3个因素对GMR传感器输出信号的影响,模拟结果表明,外磁场倾斜、磁珠位置偏离电阻条中心... 详细信息

实现GMR生物传感器对磁珠及其偶联的生物分子的定量检测,必须考虑磁场方位及磁珠位置和磁珠团聚对检测方法的影响。本文首先利用Comsol软件模拟了这3个因素对GMR传感器输出信号的影响,模拟结果表明,外磁场倾斜、磁珠位置偏离电阻条中心和磁珠团聚均会使信号减小,其中外磁场倾斜影响尤甚;当外磁场倾斜为0.5°时,磁珠的信号会减小80%。为了与模拟结果进行比对,制备了与模型相同的线宽为5μm的GMR生物传感器,并测量了输出信号与磁珠覆盖率的关系。测试结果显示,二者呈线性趋势,但与线性关系存在一定程度的偏离。另外,当磁珠覆盖率为23.6%时,实验测得的信号为63μV,比模拟结果的247μV偏小。实验显示这两种偏差均源于前述3个因素对GMR信号的影响。因此,用GMR传感器对磁珠进行定量检测时,为使信号大小与磁珠个数呈线性关系,应保证以下测试条件:外磁场尽可能垂直于传感器平面;测试过程中外磁场倾斜角不能变化;设法使磁珠集中于电阻条中间区域;尽量保证磁珠不团聚。

关键词：巨磁阻生物传感器磁珠磁场模拟生物检测

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

光子晶体结构参数的随机扰动对光子晶体LED出光效率的研究

引用

光学学报 2010年第1期30卷 233-236页

作者：陈健王庆康李海华上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室、微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

利用光子晶体(PC)的光子禁带和光栅衍射效应可以提高发光二极管(LED)的出光效率,扩大LED的应用范围。在GaN基蓝光LED的GaN层上引入二维正方排列圆柱形PC,采用时域有限差分方法研究光子晶体的几何参数的随机扰动对LED出光效率的影响,利... 详细信息

利用光子晶体(PC)的光子禁带和光栅衍射效应可以提高发光二极管(LED)的出光效率,扩大LED的应用范围。在GaN基蓝光LED的GaN层上引入二维正方排列圆柱形PC,采用时域有限差分方法研究光子晶体的几何参数的随机扰动对LED出光效率的影响,利用禁带理论分析了其机理。

关键词：光电子学光子晶体时域有限差分发光二极管禁带随机扰动

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析

引用

功能材料 2010年第2期41卷 354-357,361页

作者：毛胜平汪红刘瑞汤俊李雪萍丁桂甫上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍... 详细信息

利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍薄膜的力学性能。3种测试方法的结果呈现了一致的规律性变化——弹性模量显著降低,强度显著提高,表明UV-LIGA镍具有与块体镍显著不同的力学性能。通过X射线衍射分析(XRD),测量了该电流密度下试样的择优取向和晶粒尺寸,通过场发射扫描电镜(SEM)观察了试样的表面形貌和拉伸断口,并初步地分析了UV-LIGA镍力学性能的变化原因。该测试结果为微器件的仿真设计提供了重要的参考依据。

关键词： MEMS UV—LIGA镍电沉积力学性能单轴拉伸

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

一种抗紫外自清洁纳米涂料的制备及应用

引用

功能材料 2010年第5期41卷 808-811,815页

作者：李娜贺蓉崔大祥孔毅飞上海交通大学微纳科学技术研究院 "薄膜与微细技术"教育部重点实验室"微米/纳米加工技术"国家级重点实验室上海200240

采用硅烷偶联剂对纳米粒子(粒径30nm的TiO2、SiO2、ZnO)进行表面改性,并将改性后的纳米粒子用于氟碳涂料中,得到抗紫外自清洁纳米改性涂料。利用透射电镜TEM及沉降实验对纳米粒子的改性效果进行了表征,得到结果:改性后纳米粒子能均匀地... 详细信息

采用硅烷偶联剂对纳米粒子(粒径30nm的TiO2、SiO2、ZnO)进行表面改性,并将改性后的纳米粒子用于氟碳涂料中,得到抗紫外自清洁纳米改性涂料。利用透射电镜TEM及沉降实验对纳米粒子的改性效果进行了表征,得到结果:改性后纳米粒子能均匀地分散到甲苯等有机溶剂中。通过紫外分光光度计和接触角测量仪分别对改性后的涂膜对紫外光的吸收及表面疏水的自清洁性能进行了表征,结果表明,改性后的涂膜能有效地吸收大气中的紫外光,并且测得纳米改性的涂膜比未改性的涂膜接触角明显增大,有较好的表面疏水自清洁功效。

关键词：纳米粒子表面改性抗紫外自清洁

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

应用X射线光刻的微针阵列及掩模板补偿

引用

光学精密工程 2010年第2期18卷 420-425页

作者：陈少军李以贵杉山进上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 日本立命馆大学微系统研究中心

提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状... 详细信息

提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针的微细加工工艺,该工艺基于PCT技术,结合X射线以及光刻掩模制作三维微结构。通过移动LIGA掩模板曝光来加工微立体PMMA结构,其加工形状取决于X光光刻掩模板吸收体的形状。实验显示,最终的结构形状并非完全与掩模板上吸收体的形状一致。如果不对X光光刻掩模板的吸收体形状进行补偿,即会使被加工的微结构侧面变形,从而影响微针的性能。分析了微针阵列侧面变形的原因,认为这种变形是由于显影时间与曝光量之间的非线性关系导致结构形状与曝光量分布不完全一致造成的。利用PCT方法制作的PMMA微针其长度为100～750μm,直径为30～150μm,针尖的直径最小可达100nm。通过对LIGA掩模板上的吸收体图形进行适当的补偿,使吸收体图形从中空的双直角三角形变为中空的半椭圆图形,增强了带沟道的微注射针阵列的强度。

关键词： X射线光刻聚甲基丙烯酸甲酯三维微结构掩模吸收体

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

碳纳米管气体传感器研究进展

引用

物理化学学报 2010年第12期26卷 3127-3142页

作者：程应武杨志魏浩王艳艳魏良明张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院、微米／纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

碳纳米管具有一维纳米结构、高表面吸附能力、良好的导电性和电子弹道传输特性等优异的力学、电学、物理和化学性能,成为制作纳米气体传感器的理想材料之一.近年来,各国研究者广泛开展了碳纳米管气体传感器的研究工作,并取得了许多显著... 详细信息

碳纳米管具有一维纳米结构、高表面吸附能力、良好的导电性和电子弹道传输特性等优异的力学、电学、物理和化学性能,成为制作纳米气体传感器的理想材料之一.近年来,各国研究者广泛开展了碳纳米管气体传感器的研究工作,并取得了许多显著成果.研究结果表明,碳纳米管气体传感器具有灵敏度高、响应速度快、尺寸小、能耗低和室温下工作等诸多特点.本文结合本研究小组近年来在碳纳米管气体传感器领域所做的大量研究工作,从环境监测、医学检测和国防军事等方面,对碳纳米管气体传感器取得的研究进展进行了综述,同时也阐述和分析了碳纳米管气体传感器的工作原理和制作过程.尽管面临诸多挑战,随着研究的不断深入,碳纳米管气体传感器仍有可能凭借其独特的性能优势成为当前商业应用气体传感器的有力竞争者.

关键词：碳纳米管气体传感器环境监测医学检测国防军事

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

用同步辐射光刻直接在有机玻璃板上制备高深宽比亚微米光栅

引用

光学学报 2010年第5期30卷 1451-1454页

作者：李以贵杉山进上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 日本立命馆大学微系统研究中心日本滋贺525-8577

为了将平面金属膜紧密耦合到纳米光栅形成的表面等离子体共振传感器,以提高灵敏度,以及利用亚微米光栅调整共振反射波长,需要制备亚微米结构光栅。介绍了一种基于X光光刻的亚微米结构光栅的制造技术。该结构光栅是利用日本立命馆大学的... 详细信息

为了将平面金属膜紧密耦合到纳米光栅形成的表面等离子体共振传感器,以提高灵敏度,以及利用亚微米光栅调整共振反射波长,需要制备亚微米结构光栅。介绍了一种基于X光光刻的亚微米结构光栅的制造技术。该结构光栅是利用日本立命馆大学的同步辐射光源进行同步辐射光光刻,在有机玻璃(PMMA)板上直接得到亚微米光栅。用此纳米加工技术获得的光栅线宽为250 nm,周期为500 nm,深宽比为8的PMMA亚微米结构光栅。还优化了曝光近接间隔、曝光剂量和显影时间等同步辐射光刻参数。

关键词：光栅同步辐射光刻亚微米光栅高深宽比纳米制造

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：