检索结果-内蒙古大学图书馆

微纳电子技术 2009年第12期46卷 750-754页

作者：陈少军李以贵上海交通大学微纳米科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为满足体硅MEMS制造工艺进一步发展的需要,对电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺参数进行了深入分析,着重分析了平板功率对Si干法刻蚀的影响。通过对Si干法刻蚀的主要工艺参数进行正交试验,得出了一组较为理想的刻蚀工艺参数:刻蚀气体SF6和... 详细信息

为满足体硅MEMS制造工艺进一步发展的需要,对电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺参数进行了深入分析,着重分析了平板功率对Si干法刻蚀的影响。通过对Si干法刻蚀的主要工艺参数进行正交试验,得出了一组较为理想的刻蚀工艺参数:刻蚀气体SF6和保护气体C4F8的流量均为13cm3·min-1,在一个周期内通入刻蚀气体SF6的时间为4s,通入钝化气体C4F8的时间为3s;线圈功率为400W,平板功率为110W。利用这组优化的工艺参数进行Si的干法刻蚀,所得到的微结构的深宽比将大于20∶1,同时侧壁垂直度能够很好地控制在90°±1°。

关键词：微机电系统电感耦合等离子体(ICP)刻蚀平板功率正交试验深宽比

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基于声表面波的微驱动技术的发展

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微纳电子技术 2009年第9期46卷 540-545页

作者：张冠李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

基于声表面波技术近年来在微驱动技术领域快速发展的现状以及声表面波器件在生物、医疗、片上实验室等领域具有广阔应用前景的重要意义,就近几年来声表面波微驱动器的最新应用做了简要总结,介绍了声表面波,包括叉指换能器的结构和声表... 详细信息

基于声表面波技术近年来在微驱动技术领域快速发展的现状以及声表面波器件在生物、医疗、片上实验室等领域具有广阔应用前景的重要意义,就近几年来声表面波微驱动器的最新应用做了简要总结,介绍了声表面波,包括叉指换能器的结构和声表面波产生原理。着重介绍了声表面波在新型器件方面的多种最新应用,主要包括微流体加热、微流体雾化、微粒集聚/混合、微流体驱动、线性固体驱动以及平面固体驱动等,并分析了目前研究过程中存在的一些技术难点和解决方案。

关键词：声表面波微流体加热微流体雾化微粒集聚/混合微流体驱动线性固体驱动平面固体驱动

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一种聚合物实心微针的制作方法

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微纳电子技术 2009年第12期46卷 744-749页

作者：肖丽君陈翔汪鹏李以贵陈迪上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为实现制作微针加工工艺简单、加工周期短及成本低的目的,提出了一种制作聚合物微针的新方法,这种聚合物微针的制作过程主要包括三个部分:微针原始模具的制作、聚合物微针模具的制作和浇铸工艺复制微针。通过KOH腐蚀液刻蚀晶面为{100}... 详细信息

为实现制作微针加工工艺简单、加工周期短及成本低的目的,提出了一种制作聚合物微针的新方法,这种聚合物微针的制作过程主要包括三个部分:微针原始模具的制作、聚合物微针模具的制作和浇铸工艺复制微针。通过KOH腐蚀液刻蚀晶面为{100}的Si片和紫外线对准光刻SU8胶得到由Si-SU8胶构成的原始模具,再在该模具上注入聚二甲基硅氧烷(PDMS)进行转模,固化脱模后在PDMS微针二级模具表面溅射一层Cu/Cr金属薄膜,然后再注入PDMS,得到最终的聚合物微针模具,对该模具进行浇铸工艺,便可批量制作微针。通过浇注PDMS获得微针初始结构,使针尖和针体合为一体,提高了脱模的可靠性;通过改变设计,能得到不同截面尺寸和长度的微针,因此这种方法具有很高的灵活性。

关键词：微针原始模具最终聚合物模具针尖针体聚二甲基硅氧烷

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基于声表面波的微型液滴雾化器技术

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微纳电子技术 2009年第12期46卷 726-729页

作者：张冠李以贵张俊峰杨春生刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

采用微细加工技术在127.8°YX型LiNbO3压电基底上制造出周期为400μm的铜叉指结构的微型雾化器。该雾化器利用声表面波(SAW)对液滴表面产生的表面张力波作用实现对液滴的雾化。对叉指结构(IDT)周期长度的确定和器件的制作工艺进行... 详细信息

采用微细加工技术在127.8°YX型LiNbO3压电基底上制造出周期为400μm的铜叉指结构的微型雾化器。该雾化器利用声表面波(SAW)对液滴表面产生的表面张力波作用实现对液滴的雾化。对叉指结构(IDT)周期长度的确定和器件的制作工艺进行了详细说明。利用对液滴驱动速度的测定得出了该雾化器的实际中心频率,并指出实际中心频率与理论值存在差异的原因。得出雾化微粒直径与叉指结构周期之间的关系,并计算得出在施加驱动频率为10.1MHz、功率为24W的电信号时,其雾化颗粒直径为2.61μm,雾化速度达到了1μL/s。

关键词：微细加工技术雾化器声表面波叉指换能器微粒

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基于16位SAR模数转换器的误差校准方法

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微纳电子技术 2009年第10期46卷 636-639页

作者：乔高帅戴庆元孙磊谢芳上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了实现较高精度(16位及更高)的逐次逼近(SAR)ADC,提出了一种误差自动校准技术。考虑到芯片面积、功耗和精度的折中,采用了电荷再分配分段电容DAC结构,并采用准差分输入方式提高ADC的信噪比。为了消除电容失配引入的误差,提出了一种误... 详细信息

为了实现较高精度(16位及更高)的逐次逼近(SAR)ADC,提出了一种误差自动校准技术。考虑到芯片面积、功耗和精度的折中,采用了电荷再分配分段电容DAC结构,并采用准差分输入方式提高ADC的信噪比。为了消除电容失配引入的误差,提出了一种误差自动校准算法,利用误差校准DAC阵列对电容失配误差进行量化并存储在RAM中,在AD转换过程中实现误差消除。

关键词：逐次逼近模数转换器全差分电容失配自动校准高精度分段电容数模转换器

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基于FPGA驱动微陀螺旋转的移相电路

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中国惯性技术学报 2009年第6期17卷 738-741页

作者：李世鹏张卫平刘凯刘武陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

传统的微陀螺转子驱动电路采用对模拟信号直接移相实现,为了解决模拟信号直接移相时移相范围有限、调试复杂等不足,设计出了基于FPGA的数字式驱动微陀螺旋转移相电路。通过FPGA产生相位差信号,经D/A转换电路和巴特沃兹滤波电路处理后输... 详细信息

传统的微陀螺转子驱动电路采用对模拟信号直接移相实现,为了解决模拟信号直接移相时移相范围有限、调试复杂等不足,设计出了基于FPGA的数字式驱动微陀螺旋转移相电路。通过FPGA产生相位差信号,经D/A转换电路和巴特沃兹滤波电路处理后输出信号。该数字式移相方法产生的信号的相位差(0°～360°)、频率均可调,为涡流旋转微陀螺转子提供了理想的信号源。

关键词：波形移相涡流旋转转子微陀螺带通滤波 FPGA

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基于MEMS强链和双FPGA的硬盘加密系统

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计算机工程与设计 2009年第16期30卷 3726-3729,3740页

作者：许鹏张卫平陈文元李怡斌汤坚上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

一个完整的数据加密系统应该具有安全可靠的密码认证机制和加密算法,为了解决现有大多数认证系统中逻辑认证的局限,利用两片FPGA芯片、PCI控制器、MEMS强链和AES算法设计了一种高效的数据加密系统,实现了物理认证和数据的加密/解密,利用... 详细信息

一个完整的数据加密系统应该具有安全可靠的密码认证机制和加密算法,为了解决现有大多数认证系统中逻辑认证的局限,利用两片FPGA芯片、PCI控制器、MEMS强链和AES算法设计了一种高效的数据加密系统,实现了物理认证和数据的加密/解密,利用AES-128加密算法对数据进行加解密,提高了安全等级。该系统具有简捷方便、性能稳定、数据吞吐率高等特点。

关键词：双FPGA MEMS强链 PCI 密钥 AES算法

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纳米晶FeCuNbSiB带材巨磁阻抗效应研究

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电子元件与材料 2009年第2期28卷 32-34页

作者：张彬曹莹周勇周志敏上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

采用微机电系统(MEMS)技术,在玻璃基片上制备了单层结构500℃退火的FeCuNbSiB带材样品。在l～40MHz下,研究了带材的巨磁阻抗(GMI)效应随外加磁场强度以及交流电流频率的变化关系。结果表明:纵向、横向巨磁阻抗效应变化率(GMI值)在5MHz、... 详细信息

采用微机电系统(MEMS)技术,在玻璃基片上制备了单层结构500℃退火的FeCuNbSiB带材样品。在l～40MHz下,研究了带材的巨磁阻抗(GMI)效应随外加磁场强度以及交流电流频率的变化关系。结果表明:纵向、横向巨磁阻抗效应变化率(GMI值)在5MHz、1.2kA/m和5MHz、8kA/m时,分别达到最大值15.6%和10.6%。

关键词：巨磁阻抗效应纳米晶带材微机电系统

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平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究

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电子元件与材料 2009年第2期28卷 48-50页

作者：冯书谊周勇周志敏向毅上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

采用MEMS技术（包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等）研制了平面磁芯螺旋结构微电感，磁芯材料为铁基纳米晶带材。其中线圈匝数为18匝，线圈导体的宽度和间隙均为30μm，厚度为20μm；电感的尺寸为3mm×3mm。测试结果表明：... 详细信息

采用MEMS技术（包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等）研制了平面磁芯螺旋结构微电感，磁芯材料为铁基纳米晶带材。其中线圈匝数为18匝，线圈导体的宽度和间隙均为30μm，厚度为20μm；电感的尺寸为3mm×3mm。测试结果表明：在频率为1-10MHz时，电感量和品质因数分别为3．2～1．2μH和2．3—1．1；在1MHz下，电感量和品质因数分别为3．2μH和2．3，可应用于微型化DC／DC变换器。

关键词：平面磁芯螺旋结构微电感 MEMS技术电感量品质因数

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微流体系统中微阀的研究现状

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微纳电子技术 2009年第2期46卷 91-98页

作者：肖丽君陈翔汪鹏李以贵陈迪上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。... 详细信息

依据微流体系统中微阀的驱动机理,将微阀分为有源微阀和无源微阀两大类,然后对这两大类进行细分,将有源微阀分为压电、磁、静电驱动、热驱动、相变、双稳态、外部驱动等类型,将无源微阀分为悬臂梁式、薄膜式、毛细管、扭矩驱动等类型。分别讨论了各种微阀的工作原理和性能,介绍了各类微阀的实验研究进展,指出了这些微阀的特点,突出了微阀作为微流体系统的主要元件之一,起到径流调节、开/关转换、密封生物分子和微/纳粒子等作用。回顾了微阀的发展历程,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了微阀今后的研究方向。

关键词：微流体系统有源微阀无源微阀常闭型微阀常开型微阀

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