检索结果-内蒙古大学图书馆

微型压电振动能量采集器的研究进展

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机械设计与研究 2010年第4期26卷 61-64,70页

作者：唐刚刘景全马华安柳和生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械动力系南昌330099 南昌大学机电工程学院南昌330031

微型压电振动能量采集器具有结构简单、能量密度高、寿命长等优点,使其在无线传感器网络自供电方面具有较广阔的应用前景。着重介绍压电振动能量采集器的关键技术及围绕其关键技术国内外在压电振动能量采集器方面的研究现状和最新进展,... 详细信息

微型压电振动能量采集器具有结构简单、能量密度高、寿命长等优点,使其在无线传感器网络自供电方面具有较广阔的应用前景。着重介绍压电振动能量采集器的关键技术及围绕其关键技术国内外在压电振动能量采集器方面的研究现状和最新进展,以及未来的发展趋势。

关键词：压电振动能量采集器微机电系统

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新型高抗粘紫外纳米压印光刻胶的工艺研究

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微纳电子技术 2010年第3期47卷 179-182,192页

作者：李中杰林宏姜学松王庆康印杰上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 化学化工学院高分子材料研究所上海200240

为了减少紫外纳米压印技术脱模过程中的接触粘附力,开发了一种新型高流动、抗粘的紫外纳米压印光刻胶。光刻胶以BMA为聚合单体,添加特定配比的交联剂和光引发剂配置而成。紫外纳米压印实验在本课题组自主研发的IL-NP04型纳米压印机上完... 详细信息

为了减少紫外纳米压印技术脱模过程中的接触粘附力,开发了一种新型高流动、抗粘的紫外纳米压印光刻胶。光刻胶以BMA为聚合单体,添加特定配比的交联剂和光引发剂配置而成。紫外纳米压印实验在本课题组自主研发的IL-NP04型纳米压印机上完成。实验得到光刻胶掩膜膜厚为1.21μm,结构尺寸深246nm,周期937.5nm。实验结果表明,在没有对石英模板表面进行修饰的情况下,该光刻胶依然表现出高可靠性和高图形转移分辨率,有效减少了紫外纳米压印工艺中的模板抗粘修饰的工艺步骤。

关键词：紫外纳米压印微/纳米尺寸图形硅片衬底修饰抗粘连层图案复制

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基于射频CC2520实现的ZigBee通信设计

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微计算机信息 2010年第14期26卷 37-38,62页

作者：赵琦陈佳品李振波薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院

随着无线通信的不断发展,对射频模块的性能要求不断提高。为了实现更远距离的数据传送,本文采用STR712F系列ARM微控制器,在CC2520模块上扩展了射频前端CC2591,在无需外加功率放大器和低噪放大器等外围电路的情况下设计了一个射频收发模... 详细信息

随着无线通信的不断发展,对射频模块的性能要求不断提高。为了实现更远距离的数据传送,本文采用STR712F系列ARM微控制器,在CC2520模块上扩展了射频前端CC2591,在无需外加功率放大器和低噪放大器等外围电路的情况下设计了一个射频收发模块,并通过ADS2005A仿真对整个射频模块与天线之间进行了最佳阻抗匹配。

关键词： ZigBee CC2520 ADS2005A

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MEMS流体陀螺的研究进展

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现代电子技术 2010年第10期33卷 172-174页

作者：秦奎张卫平陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

随着微机电技术(MEMS)的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用,其中微流体陀螺具有体积小、重量轻、成本低和抗高冲击等独特优点。根据陀螺原理的不同介绍了几种微流体陀螺,包括气体对流微陀螺、射流微陀螺、ECF流体微陀螺和... 详细信息

随着微机电技术(MEMS)的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用,其中微流体陀螺具有体积小、重量轻、成本低和抗高冲击等独特优点。根据陀螺原理的不同介绍了几种微流体陀螺,包括气体对流微陀螺、射流微陀螺、ECF流体微陀螺和超流体陀螺,气体对流陀螺和射流微陀螺属于常用的典型流体陀螺,而ECF流体陀螺和超流体陀螺属于新型的流体陀螺,分别分析了它们的原理和应用情况,并对它们的应用前景进行了展望,微流体陀螺将在惯性导航和自动控制等方面发挥越来越重要的作用。

关键词： MEMS技术惯性器件微流体陀螺惯性导航

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基于PDMS的芯片电极多层互连系统的研究

基于PDMS的芯片电极多层互连系统的研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：芮岳峰刘景全杨春生何庆李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法，应用MEMS技术将芯片和电极进行了芯片级的互连，系统集成度高，尺寸小。相比传统的单层互连方法，在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料，大大降低... 详细信息

本文提出了一种基于PDMS(聚二甲基硅氧烷)基底的芯片电极多层互连方法，应用MEMS技术将芯片和电极进行了芯片级的互连，系统集成度高，尺寸小。相比传统的单层互连方法，在相同面积上互连电极数多。并且使用PDMS作为基底材料，大大降低了传统的以硅为基底的加工成本。制备的芯片电极多层互连系统芯片和电极互连数量多，各层绝缘层为绝缘性能良好的柔性Parylene薄膜，为柔性多层高密度线路互连技术提供了一种新方法。

关键词：植入式 parylene MEMS 互连

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真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究

真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：何庆刘景全杨春生李以贵芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足。提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案。最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素。

关键词： Parylene 真空沉积干法掺杂纳米粉体

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MEMS微陀螺仪研究进展

MEMS微陀螺仪研究进展

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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会

作者：成宇翔张卫平陈文元崔峰刘武吴校生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，... 详细信息

随着MEMS技术的发展，惯性微陀螺仪以其尺寸小、精度高等特点，越来越受到人们的关注。在汽车导航、消费电子、移动应用等民用领域，航空航天以及现代和可预见的未来高科技战场上拥有着广阔的发展和市场前景。根据微陀螺仪的原理不同，可以分为哥氏加速度效应微振动陀螺、流体陀螺、固体微陀螺、悬浮转子式微陀螺、微集成光学式陀螺以及原子陀螺。微振动陀螺仪是最早使用的微陀螺仪，也是目前市场上使用最多也相对比较成熟的陀螺仪。

关键词： MEMS 微陀螺仪零偏漂移角随机游走

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基于ARM和FPGA的微加速度计数据采集系统设计

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现代电子技术 2010年第2期33卷 25-27,30页

作者：秦奎张卫平陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

基于常用的MEMS惯性器件微型加速度计,介绍一种采用ARM和FPGA架构来采集加速度数值的设计方案,微加速度计的模拟输出信号经A/D芯片转换后由FPGA进行处理和缓存,然后ARM接收FPGA的输出数据并对数据进行显示和存储,对如何用FPGA实现该数... 详细信息

基于常用的MEMS惯性器件微型加速度计,介绍一种采用ARM和FPGA架构来采集加速度数值的设计方案,微加速度计的模拟输出信号经A/D芯片转换后由FPGA进行处理和缓存,然后ARM接收FPGA的输出数据并对数据进行显示和存储,对如何用FPGA实现该数据采集系统的传输控制和数据缓存,以及FPGA与A/D转换芯片和ARM的接口设计给出了说明,实现了加速度数值的采集、传输、显示和存储,该方法配置灵活、通用性强,可以较好地移植到相关器件的数据采集系统中。

关键词：数据采集微加速度计 FPGA ARM TLC0820

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静电悬浮微陀螺多路同步DDS信号发生器设计

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现代电子技术 2010年第18期33卷 110-113页

作者：覃贞妮刘武陈文元崔峰张卫平上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

信号发生器是静电悬浮微陀螺系统的重要组成部分,通常采用差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移,而转子微位移信号的幅值解调需要稳定的多路同步信号。采用ARM7 LPC2148为控制器和多片DDS芯片AD9850在硬件和软件上实现多路同步DD... 详细信息

信号发生器是静电悬浮微陀螺系统的重要组成部分,通常采用差动电容调制解调检测方法来得到转子的微位移,而转子微位移信号的幅值解调需要稳定的多路同步信号。采用ARM7 LPC2148为控制器和多片DDS芯片AD9850在硬件和软件上实现多路同步DDS信号发生器,并分别采用并行和串行2种方式加载芯片控制字,均可生成多路频率相位可调的信号发生器,具有频率稳定性好,频率准确度高及频率分辨率高,相位差精准的特点。

关键词：信号发生器 DDS 同步并行加载串行加载

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压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究

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AVT2010国际学术会议——真空技术在光电材料与器件中的应用

作者：唐刚刘景全杨春生柳和生李以贵上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌工程学院机械与电气学院南昌330099 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 南昌大学机电工程学院南昌330031

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合，再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜，构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术，通过湿... 详细信息

采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合，再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜，构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术，通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题，为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础。

关键词：压电能量采集器真空键合 PZT厚膜湿法化学刻蚀振动

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