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检索条件"机构=薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米技术研究院"
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排序:
微桥结构铜膜杨氏模量和残余应力研究
收藏 引用
现代科学仪器 2003年 第4期 45-48页
作者: 周勇 杨春生 陈吉安 丁桂甫 王莉 王明军 张亚民 张泰华 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室 上海200030 北京100080
采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了铜 (Cu)膜微桥结构试样 ,应用陶瓷压条为承力单元 ,并与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合 ,解决了较宽Cu膜微桥加载问题。测量了微桥载荷与位移的关系 ,并结合微桥力学... 详细信息
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