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作者

  • 1 篇 黄琳雅
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  • 1 篇 皇咪咪
  • 1 篇 热合曼.艾比布力
  • 1 篇 于明智
  • 1 篇 赵立波

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"机构=西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室微纳制造与测试技术国际合作联合实验室苏州纳米科技协同创新中心"
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排序:
耐高温动态压力传感器与实验分析研究
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实验流体力学 2017年 第2期31卷 44-50页
作者: 热合曼.艾比布力 王鸿雁 薛方正 黄琳雅 皇咪咪 于明智 赵立波 新疆交通职业技术学院汽车与机电工程学院 乌鲁木齐831401 陕西省计量科学研究院 西安710065 西北核技术研究所 西安710024 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室微纳制造与测试技术国际合作联合实验室苏州纳米科技协同创新中心 西安710049
采用机械电子系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)和硅隔离(Silicon on Insulator,SOI)技术制作出了量程为25MPa的倒杯式耐高温压阻力敏芯片,敏感电阻条与硅基底之间采用二氧化硅隔离,解决了在大于120℃高温下力敏芯片工作... 详细信息
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