检索结果-内蒙古大学图书馆

电子元件与材料 2022年第10期41卷 1108-1113页

作者：魏艺璇王辰伟刘玉岭赵红东河北工业大学电子信息工程学院天津300130 天津市电子材料与器件重点实验室天津300130 光电信息控制和安全技术重点实验室天津300308

为实现铜互连阻挡层化学机械抛光的高平坦化,研究了阻挡层抛光液中表面活性剂的作用。在抛光液中分别添加非离子型表面活性剂异辛醇聚氧乙烯醚(JFC-E)、本课题组研发的Ⅱ型活性剂以及复合表面活性剂,研究其对阻挡层CMP中铜和正硅酸乙酯(... 详细信息

为实现铜互连阻挡层化学机械抛光的高平坦化,研究了阻挡层抛光液中表面活性剂的作用。在抛光液中分别添加非离子型表面活性剂异辛醇聚氧乙烯醚(JFC-E)、本课题组研发的Ⅱ型活性剂以及复合表面活性剂,研究其对阻挡层CMP中铜和正硅酸乙酯(TEOS)去除速率及一致性的影响。实验结果表明,表面活性剂不仅可以改善Cu和TEOS的去除速率一致性和晶圆全局一致性,还可以降低铜表面的粗糙度,通过复配两种不同的表面活性剂,可以提高Cu和TEOS的去除速率,使Cu和TEOS的剩余厚度片内非均匀性(WIWNU)分别降低至1.39%和1.38%,铜表面粗糙度从5.25 nm降至1.51 nm。基于实验结果,研究并提出了表面活性剂影响抛光液润湿性,从而改善片内非均匀性和铜表面质量的机理。

关键词：化学机械抛光表面活性剂去除速率片内非均匀性粗糙度

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序列数据的数据增强方法综述

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计算机科学与探索 2021年第7期15卷 1207-1219页

作者：葛轶洲许翔杨锁荣周青申富饶通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033 中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033 计算机软件新技术国家重点实验室(南京大学) 南京210023

为了追求精度,深度学习模型框架的结构越来越复杂,网络越来越深。参数量的增加意味着训练模型需要更多的数据。然而人工标注数据的成本是高昂的,且受客观原因所限,实际应用时可能难以获得特定领域的数据,数据不足问题非常常见。数据增... 详细信息

为了追求精度,深度学习模型框架的结构越来越复杂,网络越来越深。参数量的增加意味着训练模型需要更多的数据。然而人工标注数据的成本是高昂的,且受客观原因所限,实际应用时可能难以获得特定领域的数据,数据不足问题非常常见。数据增强通过人为地生成新的数据增加数据量来缓解这一问题。数据增强方法在计算机视觉领域大放异彩,让人们开始关注类似方法能否应用在序列数据上。除了翻转、裁剪等在时间域进行增强的方法外,也描述了在频率域实现数据增强的方法;除了人们基于经验或知识而设计的方法以外,对一系列基于GAN的通过机器学习模型自动生成数据的方法也进行了详细的论述。介绍了应用在自然语言文本、音频信号和时间序列等多种序列数据上的数据增强方法,亦有涉及它们在医疗诊断、情绪判断等问题上的表现。尽管数据类型不同,但总结了应用在这些类型上的数据增强方法背后的相似的设计思路。以这一思路为线索,梳理应用在各类序列数据类型上的多种数据增强方法,并进行了一定的讨论和展望。

关键词：序列数据数据增强深度学习

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超滤和活性剂协同作用对铜阻挡层CMP后缺陷的控制机理研究

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电子元件与材料 2022年第4期41卷 392-397页

作者：崔志慧王辰伟刘玉岭赵红东续晨河北工业大学电子信息工程学院天津300130 天津市电子材料与器件重点实验室天津300130 光电信息控制和安全技术重点实验室天津300308

在铜互连阻挡层化学机械抛光(CMP)过程中,由于工艺和材料等因素会产生划伤和沾污等缺陷问题,造成器件失效、良率降低及潜在可靠性等问题。研究了抛光液中活性剂及超滤工艺对CMP后缺陷的影响,提出了活性剂和超滤协同控制CMP后缺陷的作用... 详细信息

在铜互连阻挡层化学机械抛光(CMP)过程中,由于工艺和材料等因素会产生划伤和沾污等缺陷问题,造成器件失效、良率降低及潜在可靠性等问题。研究了抛光液中活性剂及超滤工艺对CMP后缺陷的影响,提出了活性剂和超滤协同控制CMP后缺陷的作用机理。通过粒径和大颗粒测试仪表征抛光液粒径和大颗粒数的变化,通过扫描电子显微镜(SEM)和接触角测试仪表征抛光液的变化。通过缺陷检测仪测试验证CMP后缺陷情况。实验结果表明,加入活性剂在未超滤的情况下,抛光液平均粒径从66.1 nm降为65.3 nm,粒径分布更加集中,缺陷总数从4251降低至1480。在此基础上通过研究不同超滤工艺对缺陷的影响,结果显示,在5μm+1μm二级超滤系统下,抛光液大颗粒数量从34.25万颗/mL减少到26.12万颗/mL,经图形片验证,缺陷总数和各缺陷占比显著降低,对于提高电路性能和产品良率有着重要意义。

关键词：化学机械抛光缺陷活性剂超滤工艺协同作用

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通信对抗推演方案评估技术的研究与实现

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通信对抗 2023年第2期42卷 46-49,62页

作者：刘春宏沈莉莉赖兰剑颜小明通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033 中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033

仿真推演方案评估用来定量评估仿真规划的行动方案达成预定目标的程度。针对当前通信对抗方案评估技术缺少对方案推演过程的实时效果评估和关键环节分析、方案决策人员函需方案自动化评估工具等问题,提出一种基于层次分析法(AHP)一摘值... 详细信息

仿真推演方案评估用来定量评估仿真规划的行动方案达成预定目标的程度。针对当前通信对抗方案评估技术缺少对方案推演过程的实时效果评估和关键环节分析、方案决策人员函需方案自动化评估工具等问题,提出一种基于层次分析法(AHP)一摘值法和加权TOPSIS法的通信对抗多方案自动化评估方法,对方案评估系统技术架构以及方案实时过程评估、方案综合评估、多方案排序等自动化评估技术实现途径进行阐述,实现了对方案的仿真评估与排序,可为方案评估系统工具构建提供参考。

关键词：通信对抗仿真推演方案评估

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一种基于分段FFT的WCDMA信号实时检测方法

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通信对抗 2023年第2期42卷 14-16,31页

作者：常琪韩煜中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033 通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033

在非合作信号检测领域,利用WCDMA伪随机码(PN码)的周期性特征,提出了一种基于分段FFT的WCDMA信号实时检测方法。该方法将时域转换到频域进行运算,采用分段FFT减小数据运算量和缓存资源,采用非相干积累提高相关结果的信噪比,采用自适应... 详细信息

在非合作信号检测领域,利用WCDMA伪随机码(PN码)的周期性特征,提出了一种基于分段FFT的WCDMA信号实时检测方法。该方法将时域转换到频域进行运算,采用分段FFT减小数据运算量和缓存资源,采用非相干积累提高相关结果的信噪比,采用自适应检测门限和加窗处理提高了信号检测的鲁棒性。借助该方法可快速进行FPGA工程化实现。仿真测试表明,在低信噪比信号条件下,该检测方法具备稳健、优异的检测性能。

关键词： FFT WCDMA FPGA 信号检测

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卫星导航接收机跟踪环路自适应切换研究

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通信对抗 2023年第3期42卷 15-19,23页

作者：张文杰通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033 中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033

干扰环境与功率增强变化等条件势必会影响卫星导航信号载噪比的稳定性。对卫星导航接收机而言,信号强弱交替极有可能导致原本处于锁定状态的接收机失去对某颗卫星信号的锁定。此时如何实现对失锁信号的快速重捕获将会直接影响到后续定... 详细信息

干扰环境与功率增强变化等条件势必会影响卫星导航信号载噪比的稳定性。对卫星导航接收机而言,信号强弱交替极有可能导致原本处于锁定状态的接收机失去对某颗卫星信号的锁定。此时如何实现对失锁信号的快速重捕获将会直接影响到后续定位结果的准确性和连续性。通过研究弱信号的捕获与跟踪原理,分析了卫星导航信号变化对接收机环路相关影响,基于卫星导航信号双频特性设计了卫星导航接收机跟踪环路自适应切换方法,并通过实验验证了环路的可靠性。自适应环路能保证在复杂环境下对信号的持续跟踪,提高了卫星导航接收机快速捕获与定位能力。

关键词：卫星导航功率增强弱信号捕获跟踪环路切换

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基于USRP的双模无源雷达测试系统设计

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现代电子技术 2023年第16期46卷 65-68页

作者：徐晓瑶姜建军朱辉杰中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033 通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033

文中设计一种可以在TDOA-DOA或Multi-TDOA两种定位模式下工作的双模无源雷达,并设计一种高性能的测试平台用于演示和验证。该测试平台由X310通用软件无线电外设(USRP)实现多通道信号采集,由嵌入式服务器中的GPU实现信号处理算法,具有大... 详细信息

文中设计一种可以在TDOA-DOA或Multi-TDOA两种定位模式下工作的双模无源雷达,并设计一种高性能的测试平台用于演示和验证。该测试平台由X310通用软件无线电外设(USRP)实现多通道信号采集,由嵌入式服务器中的GPU实现信号处理算法,具有大动态、多通道、时频同步和本振机制灵活等优点。通过小型无人机的室外检测得出,在两种定位模式下,所设计的测试平台都可以达到米级的定位精度。

关键词：通用软件无线电外设双模无源雷达 TDOA-DOA Multi-TDOA GPU 测试平台定位精度

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多尺度被动式网络业务发现与识别

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通信对抗 2023年第4期42卷 28-31,58页

作者：徐耀令陈玉成陈勇群中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033 通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033

从网络空间实战要求出发,以战场态势多尺度表达的概念、战场实体的聚合解聚模型、目标的显示控制方法作为需求基础,依据流量探测信息在空间、时间和语义维度上的广度和粒度,提出了网络流量态势尺度聚合方法的类别、特点及适用性,并给出... 详细信息

从网络空间实战要求出发,以战场态势多尺度表达的概念、战场实体的聚合解聚模型、目标的显示控制方法作为需求基础,依据流量探测信息在空间、时间和语义维度上的广度和粒度,提出了网络流量态势尺度聚合方法的类别、特点及适用性,并给出空间维和语义维上网络多尺度表达方法。对被动式网络业务发现与识别通用体系框架进行了定义,提出基于数据包结构、深度包数据内容、动态流行为及SDN资源调度、物联网/智能网络设备流量等分析技术,能够为基于流量特征的网络业务行为分析工作提供业务指导和规范。

关键词：网络业务多尺度表达被动式输入

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频谱高效利用与管理研究

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通信对抗 2023年第1期42卷 20-23,35页

作者：陈永其肖秋枫徐健通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033 中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033

频谱资源日益稀缺,如何高效利用是缓解频谱供需矛盾的关键。首先分析了提高频谱使用效率的方法:一是提高信道的时间占用率;二是提高信道的瞬时容量(信息传输率),依此提出了提高信道瞬时容量和信道占用率的途径及频谱监管的方向。着重提... 详细信息

频谱资源日益稀缺,如何高效利用是缓解频谱供需矛盾的关键。首先分析了提高频谱使用效率的方法:一是提高信道的时间占用率;二是提高信道的瞬时容量(信息传输率),依此提出了提高信道瞬时容量和信道占用率的途径及频谱监管的方向。着重提出了基于认知无线电的频谱共享规则和基于该规则的频谱动态自分配共享技术:监管部门提供共用频段,制定使用规则,具体频点不作预分配,大家都可以在该频段内自由选择频率使用,频谱冲突问题通过规则约束解决。分析了方案、流程、技术要求。采用认知电台在城市复杂环境中进行了试验与测试,试验结果表明能保证自己正常通信,并且不影响其它用户正常使用,从而提高了频谱使用效率。

关键词：频谱共享认知无线电频谱效率频谱动态自分配

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面向边缘云的轻量DevOps平台设计与实现

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现代信息科技 2023年第5期7卷 85-89页

作者：彭勇赖兰剑王琦郭煊烽通信信息控制和安全技术重点实验室浙江嘉兴314033 中国电子科技集团公司第三十六研究所浙江嘉兴314033

针对某些行业边缘云环境存在的局限性与对新型开发技术和敏捷开发的迫切需求之间的矛盾,文章设计实现了一个软件全生命周期DevOps平台,并在某大型软件研发项目中得到成功应用。该平台将DevOps流程进行自动化流水线式集成,利用交叉编译技... 详细信息

针对某些行业边缘云环境存在的局限性与对新型开发技术和敏捷开发的迫切需求之间的矛盾,文章设计实现了一个软件全生命周期DevOps平台,并在某大型软件研发项目中得到成功应用。该平台将DevOps流程进行自动化流水线式集成,利用交叉编译技术,使其能够支撑Windows和Linux软件开发;再通过Agent在物理机、虚拟机以及容器等多环境中实现软件的自动部署和运维,实现从架构、开发平台、运行环境的全方位支持。最后,通过案例验证了平台各模块功能的可用性。

关键词： DevOps 边缘云 Docker 交叉编译

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