检索结果-内蒙古大学图书馆

物理学报 2020年第20期69卷 310-319页

作者：陈延辉谢伟博代克杰高玲肖卢山陈鑫李宇航牟笑静重庆大学光电技术与系统教育部重点实验室重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 平高集团智能电力科技有限公司平顶山467001 平顶山学院电气与机械工程学院平顶山467000 机械传动国家重点实验室重庆400044 中国航天空气动力技术研究院北京100074

针对低频复杂的环境振动能量,本文提出一种非谐振式低频电磁-摩擦电复合能量收集器件.该能量收集器以旋转陀螺为核心部件,具有结构简单、俘能灵敏、鲁棒性强、可360°全方位俘能等优点.通过理论分析与软件仿真,阐述了器件的工作原理... 详细信息

针对低频复杂的环境振动能量,本文提出一种非谐振式低频电磁-摩擦电复合能量收集器件.该能量收集器以旋转陀螺为核心部件,具有结构简单、俘能灵敏、鲁棒性强、可360°全方位俘能等优点.通过理论分析与软件仿真,阐述了器件的工作原理;基于线性电机平台,系统研究了振荡频率、振荡幅度对器件输出性能的影响,较好地证明了器件收集振动能量的能力.在2 Hz的振动环境下,摩擦发电单元在20 MΩ负载下的峰值功率约为0.084 mW,电磁发电单元在800Ω负载下峰值功率约为4.61 mW,系统机电转换效率为0.45%.最后结合人体运动能收集,成功验证了该复合能量收集器对低频复杂机械能的收集能力,并通过能量存储单元,实现了计步器自供能的正常工作.本项研究不仅为低频振动能量的高效采集与转换提供了一个崭新的思路,而且在自供电传感网络节点方面具有潜在应用价值.

关键词：非谐振复合能量收集器低频振动能

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PECVD法低温制备二氧化硅薄膜(英文)

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纳米技术与精密工程 2013年第2期11卷 185-190页

作者：李东玲尚正国温志渝王胜强重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 重庆大学国家级微纳系统与新材料技术国际研发中心重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044

针对金属层间介质以及MEMS等对氧化硅薄膜的需求,介绍了采用等离子增强型化学气相沉积(PECVD)技术,以SiH4和N2O为反应气体,低温制备SiO2薄膜的方法.利用椭偏仪和应力测试系统对制得的SiO2薄膜的厚度、折射率、均匀性以及应力等性能指标... 详细信息

针对金属层间介质以及MEMS等对氧化硅薄膜的需求,介绍了采用等离子增强型化学气相沉积(PECVD)技术,以SiH4和N2O为反应气体,低温制备SiO2薄膜的方法.利用椭偏仪和应力测试系统对制得的SiO2薄膜的厚度、折射率、均匀性以及应力等性能指标进行了测试,探讨了射频功率、反应腔室压力、气体流量比等关键工艺参数对SiO2薄膜性能的影响.结果表明:SiO2薄膜的折射率主要由N2O/SiH4的流量比决定,而薄膜均匀性主要受电极间距以及反应腔室压力的影响.通过优化工艺参数,在低温260℃下制备了折射率为1.45～1.52、均匀性为±0.64%、应力在-350～-16MPa可控的SiO2薄膜.采用该方法制备的SiO2薄膜均匀性好、结构致密、沉积速率快、沉积温度低且应力可控,可广泛应用于集成电路以及MEMS器件中.

关键词：二氧化硅等离子增强型化学气相沉积(PECVD) 折射率均匀性应力

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石英基声表面波谐振器的设计与制作

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微纳电子技术 2013年第6期50卷 380-385页

作者：王春梅温志渝张祖伟重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学国家新型微纳器件与系统技术重点学科实验室重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044

针对石英基声表面波双端谐振器,进行理论分析、结构设计和加工制作,最后完成谐振器样机性能测试分析。利用耦合模(COM)理论模拟谐振器的性能,建立叉指换能器(IDT)的COM方程,利用FEMSDA软件得到石英基片中声表面波的色散曲线,提取出COM... 详细信息

针对石英基声表面波双端谐振器,进行理论分析、结构设计和加工制作,最后完成谐振器样机性能测试分析。利用耦合模(COM)理论模拟谐振器的性能,建立叉指换能器(IDT)的COM方程,利用FEMSDA软件得到石英基片中声表面波的色散曲线,提取出COM参数。利用COM软件仿真谐振器的结构参数对其性能的影响,确定谐振器的结构参数。利用传统光刻和腐蚀工艺制作出声表面波谐振器样机,最后用矢量网络分析仪对制作的声表面波谐振器性能进行测试,得到谐振器中心频率为78.34 MHz,插入损耗为-11.273 dB,Q值为6 465.7,该谐振器能够满足实际的应用需求。

关键词：声表面波谐振器(SAWR) 耦合模(COM) 石英 COM仿真结构参数

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无源LC传感器研究现状与发展趋势综述

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传感器与微系统 2014年第9期33卷 11-14页

作者：罗涛谭秋林魏坦勇熊继军电子测试技术重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

LC谐振式无线无源传感器,因其不用通过互联线传输信号,且无需电池供应能量,可以极大拓宽传感器的使用寿命和应用环境,已成为当前国内外的研究热点。根据不同测量对象,从压力、温度、湿度、气体以及生化检测5个方面介绍了当前无源LC传感... 详细信息

LC谐振式无线无源传感器,因其不用通过互联线传输信号,且无需电池供应能量,可以极大拓宽传感器的使用寿命和应用环境,已成为当前国内外的研究热点。根据不同测量对象,从压力、温度、湿度、气体以及生化检测5个方面介绍了当前无源LC传感器的最新研究进展,并对其发展趋势进行了展望。

关键词：无线无源 LC谐振互感耦合谐振频率

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无线无源LC谐振式位移传感技术研究

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科学技术与工程 2014年第35期22卷 241-244页

作者：魏坦勇谭秋林罗涛熊继军电子测试技术重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

对无线无源LC谐振式位移传感技术进行了研究,运动的介质进入电容极板使电容量发生改变,进而使LC谐振频率发生改变,通过谐振频率值来推测介质进入电容极板的位移,通过制作PCB位移传感模型并对该模型进行天线无源扫频信号测试,测试结果表... 详细信息

对无线无源LC谐振式位移传感技术进行了研究,运动的介质进入电容极板使电容量发生改变,进而使LC谐振频率发生改变,通过谐振频率值来推测介质进入电容极板的位移,通过制作PCB位移传感模型并对该模型进行天线无源扫频信号测试,测试结果表明LC谐振频率随着介质位移的增加而单调减小,而且在介质10 mm的位移量内,传感器谐振频率发生了17.5 MHz的变化。实验中由于电容边缘效应和电感寄生电容的影响,测试值与理论推导值有一定的偏差。

关键词：无线无源LC传感器位移谐振频率边缘效应

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基于弯曲板波的延迟线振荡器的ANSYS仿真

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微纳电子技术 2011年第10期48卷 664-668页

作者：胡晶温志渝陈李张祖伟重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学国家新型微纳器件与系统技术重点学科实验室重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044

针对复合板结构中弯曲板波谐振频率计算相对复杂的问题,建立并分析了基于弯曲板波延迟线振荡器的理论模型,计算得到A0(0阶反对称)模式板波的谐振频率为41 MHz;为了验证理论分析的结果,利用有限元软件ANSYS建立了基于弯曲板波的延迟线振... 详细信息

针对复合板结构中弯曲板波谐振频率计算相对复杂的问题,建立并分析了基于弯曲板波延迟线振荡器的理论模型,计算得到A0(0阶反对称)模式板波的谐振频率为41 MHz;为了验证理论分析的结果,利用有限元软件ANSYS建立了基于弯曲板波的延迟线振荡器的3D有限元模型,并对其进行了谐响应分析以及瞬态动力学分析。谐响应分析得到A0模式的谐振频率为37.2 MHz,与理论计算结果的相对误差为9.3%;瞬态动力学分析得到A0模式的谐振频率为39.1 MHz,与理论计算结果的相对误差为4.6%。计算和仿真为基于弯曲板波的延迟线振荡器的结构设计提供了重要的依据。

关键词：延迟线振荡器弯曲板波(FPW) ANSYS软件 3D模型谐响应分析

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硅基微型超级电容器三维微电极结构制备

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电子元件与材料 2012年第5期31卷 42-45,59页

作者：文春明温志渝尤政王晓峰李东玲尚正国重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400030 重庆大学国家级微纳系统与新材料技术国际研发中心重庆400030 重庆大学微系统中心重庆400030 清华大学精密仪器与机械学系北京100084

为增大硅基微型超级电容器电极结构表面积,以提高电极的电荷存储能力,采用感应耦合离子刻蚀(ICP)技术制备了超级电容器三维微电极结构,研究了刻蚀、钝化气体流量和射频功率及电极电压等工艺参数对所制电极结构的影响。要取得较理想的结... 详细信息

为增大硅基微型超级电容器电极结构表面积,以提高电极的电荷存储能力,采用感应耦合离子刻蚀(ICP)技术制备了超级电容器三维微电极结构,研究了刻蚀、钝化气体流量和射频功率及电极电压等工艺参数对所制电极结构的影响。要取得较理想的结果,须根据刻蚀的一般规律和所用设备的具体特点,结合实际要求来确定工艺参数。在掩膜宽度为25μm时,所制三维电极结构表面规则平整,比二维电极结构表面积增大8.38倍。

关键词：超级电容器三维微结构硅 MEMS 电极

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基于连续光谱的微型快速救护仪采集系统设计

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自动化与仪表 2010年第4期25卷 42-45页

作者：邵胜敏温志渝杨玉发梁玉前高亮新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室微纳系统与新材料技术国家级国际联合研究中心重庆大学微系统研究中心重庆400044

为满足生化分析仪的小型化、智能化的要求,提出一种基于连续光谱分析的微型快速救护生化仪采集系统驱动的方案。该方案基于连续光谱分析的微小型光谱仪,设计了嵌入式Linux下的采集系统模块,实现了光谱数据的采集以及对前端CCD积分时间和... 详细信息

为满足生化分析仪的小型化、智能化的要求,提出一种基于连续光谱分析的微型快速救护生化仪采集系统驱动的方案。该方案基于连续光谱分析的微小型光谱仪,设计了嵌入式Linux下的采集系统模块,实现了光谱数据的采集以及对前端CCD积分时间和A/D偏置电压的动态控制。实验表明,该数据采集模块实现了对(330～770)nm范围内光谱信号的动态实时采集,具有良好的稳定性和实时性,提高了整个微型快速救护生化仪的检测精度,缩短了检测时间。

关键词：微型快速救护生化仪 Linux驱动程序 ARM9 光谱信号采集

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全天时星敏感器视场选通成像系统的微开关阵列设计

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光子学报 2023年第4期52卷 74-84页

作者：方亮汪为民王强程欣范真节张辉赵汝进刘恩海中国科学院光电技术研究所成都610209 中国科学院光电精密测量技术重点实验室成都610209 微细加工光学技术国家重点实验室成都610209 中国科学院大学北京100049 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044

针对全天时星敏感器视场选通成像系统的应用需求,设计了一种基于静电驱动的单元尺寸为4 mm、开口面积占空比为90%、响应时间为25 ms、单元数为7×7的微开关阵列。考虑到微开关阵列体硅加工工艺中材料的特性,首先确定电极宽度、支撑... 详细信息

针对全天时星敏感器视场选通成像系统的应用需求,设计了一种基于静电驱动的单元尺寸为4 mm、开口面积占空比为90%、响应时间为25 ms、单元数为7×7的微开关阵列。考虑到微开关阵列体硅加工工艺中材料的特性,首先确定电极宽度、支撑梁宽度和支撑梁厚度等参数,再根据微开关单元结构的数学模型对支撑梁数目及长度进行理论分析,优化设计了微开关阵列主要结构参数。利用电磁场仿真软件和有限元仿真软件对微开关单元的驱动特性进行仿真分析,结果表明,仿真计算的微开关单元驱动电压为106.4 V时可以开启微开关单元,与理论计算结果114 V基本吻合,验证了微开关阵列设计参数的可行性。此外,利用杂光分析软件对微开关阵列引入系统内的杂散光进行仿真分析,结果表明,微开关阵列的表面反射率对系统杂散光的影响较小,即使80%的表面反射率也不会明显增加视场选通成像系统的杂散光。该研究为视场选通成像系统的微开关阵列提供了一种有效的设计方案,推动了视场选通成像系统的实际应用。

关键词：全天时星敏感器视场选通背景光抑制静电驱动微开关阵列占空比响应时间

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生化样本的芯片介电电泳富集和分离研究进展

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化学通报 2009年第1期72卷 4-9页

作者：徐溢郝敦玲曾雪曹强国防重点学科实验室新型微纳器件与系统技术重庆400030 国家级国防联合研究中心微纳系统及新材料技术重庆400030 微系统研究中心重庆400030 重庆大学化学化工学院重庆400030 第三军医大学重庆400030

芯片介电电泳技术是以介电电泳(DEP)分离原理和微机电加工技术为依托发展起来的可用于生化样品分析的新型分析技术。本文概述了芯片介电电泳技术的发展和DEP芯片分析系统的构成,并以DEP操控模式为切入点,介绍了芯片介电电泳在生化样品... 详细信息

芯片介电电泳技术是以介电电泳(DEP)分离原理和微机电加工技术为依托发展起来的可用于生化样品分析的新型分析技术。本文概述了芯片介电电泳技术的发展和DEP芯片分析系统的构成,并以DEP操控模式为切入点,介绍了芯片介电电泳在生化样品分析中的应用情况。

关键词：芯片介电电泳生化样品富集分离

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