检索结果-内蒙古大学图书馆

强激光与粒子束 2015年第2期27卷 97-102页

作者：何婉婧高杨李君儒黄振华西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044

薄膜体声波谐振器(FBAR)力传感器作为一种新型的谐振式传感器,力敏特性是其设计原理。以FBAR微加速度计为例研究了工作在纵波模式,采用具有纤锌矿结构的AlN作为压电薄膜的FBAR,施加应力载荷后,其弹性常数改变导致FBAR谐振频率偏移的力... 详细信息

薄膜体声波谐振器(FBAR)力传感器作为一种新型的谐振式传感器,力敏特性是其设计原理。以FBAR微加速度计为例研究了工作在纵波模式,采用具有纤锌矿结构的AlN作为压电薄膜的FBAR,施加应力载荷后,其弹性常数改变导致FBAR谐振频率偏移的力敏特性。首先,采用有限元(FEA)静力学仿真,得到惯性力载荷作用下集成在硅微悬臂梁上的压电薄膜的应力分布;选取最大应力值作为载荷,基于第一性原理计算纤锌矿AlN的弹性系数与应力的关系式,预测惯性力载荷作用下AlN弹性系数的最大变化量。其次,采用谐响应分析,对比空载和不同惯性力载荷作用下FBAR微加速度计的谐振频率和偏移特性,预测FBAR微加速度计的加速度-谐振频率偏移特性。最后仿真分析得到:惯性力载荷作用下,FBAR微加速度计的谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数kHz/g;其加速度增量-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性度。

关键词：微电子机械系统薄膜体声波谐振器力敏特性谐振频率偏移

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具有二氧化硅温度补偿层的薄膜体声波谐振器的建模与分析(英文)

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强激光与粒子束 2015年第1期27卷 169-174页

作者：高杨周斌何移何婉婧中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044

薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受到外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个... 详细信息

薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受到外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化,降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件,对一个典型Mo-AlN-Mo三层结构的FBAR进行了温度-频率漂移特性的仿真,得到其在[-50℃,150℃]温度范围内的频率温度系数(TCF)约为-35×10-6/℃。在FBAR叠层薄膜结构中添加了一层具有正温度系数的二氧化硅温度补偿层,分析了该补偿层厚度对FBAR的温度-频率漂移特性、谐振频率和机电耦合特性的影响。设计了具有一层二氧化硅温度补偿层的FBAR叠层,由Mo/AlN/SiO2/Mo多层薄膜构成,仿真得到其频率温度系数为0.872×10-6/℃;与没有温度补偿层的FBAR相比,温度稳定性得以显著改善。

关键词：射频微电子机械系统薄膜体声波谐振器频率漂移温度系数稳定性有限元分析

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基于树莓派的多参数水质检测仪控制系统

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仪表技术与传感器 2015年第6期 20-23,27页

作者：于志强温志渝谢瑛珂周苏怡国家级微纳系统与新材料技术国际联合研究中心重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统国家重点学科实验室重庆400044

多参数水质检测仪的控制系统大多价格昂贵、自动化程度较低、开发周期长。针对这种情况,提出了一种基于树莓派的多参数水质检测仪控制系统,阐述了该系统的架构,设计了光源、微型电机、多位阀、注射泵及RTC控制模块,利用wiring Pi集成库... 详细信息

多参数水质检测仪的控制系统大多价格昂贵、自动化程度较低、开发周期长。针对这种情况,提出了一种基于树莓派的多参数水质检测仪控制系统,阐述了该系统的架构,设计了光源、微型电机、多位阀、注射泵及RTC控制模块,利用wiring Pi集成库实现了树莓派板载GPIO、PWM、UART等硬件的驱动,并在树莓派Raspbian系统下通过QT编写了控制软件,用于控制仪器各个模块。实验测试结果表明:该控制系统实现对了仪器的自动化控制,且操作友好、运行稳定、易升级,满足多参数水质检测仪实际应用需求。

关键词：树莓派水质检测控制系统

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微流控SERS芯片的设计制备及其在细菌检测中的应用

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分析测试学报 2015年第3期34卷 268-275页

作者：赵华宙王春艳徐溢王蓉蒋艳廖鑫郑祥权重庆大学化学化工学院重庆400030 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400030 重庆大学微纳系统及新材料技术国际研发中心重庆400030 重庆大学光电工程学院重庆400030

微流控芯片分析平台与表面增强拉曼散射(Surface enhanced Raman scattering,SERS)光谱分析方法结合,充分利用了SERS法所具备的样品前处理简便、检测无损、成分辨识度高以及适宜水环境检测等优点,在生化分析检测领域备受关注。微流控SER... 详细信息

微流控芯片分析平台与表面增强拉曼散射(Surface enhanced Raman scattering,SERS)光谱分析方法结合,充分利用了SERS法所具备的样品前处理简便、检测无损、成分辨识度高以及适宜水环境检测等优点,在生化分析检测领域备受关注。微流控SERS芯片设计及芯片上SERS增强基质的制备是构建微流控SERS芯片分析方法和系统的关键,也是提高检测灵敏度和可重复性的核心问题。该文在介绍微流控SERS芯片的基本构型和功能的基础上,重点综述了微流控SERS芯片上SERS基质的制备方法及其测试效果。基于微电子机械系统(Micro-Electro-mechanical-System,MEMS)加工技术制备的SERS基质,具有纳米粒径有序可控、便于集成制备但增强基质材料种类有限的特点;基于化学沉积和自组装等理化方法制备的SERS基质具有基质种类易拓展、成本低、与微流控通道结合方法灵活等特点。在这些基础上构建的微流控SERS芯片及其分析测试方法和系统,在细菌等许多生化检测领域显示出强大的发展潜力。

关键词：微流控SERS芯片 SERS基质细菌检测综述

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体声波双工器中滤波器的参数化设计方法

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强激光与粒子束 2015年第12期27卷 217-221页

作者：蔡洵高杨黄振华西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044

Tx与Rx滤波器,作为体声波(BAW)双工器的关键部件,其中各薄膜体声波谐振器(FBAR)单元的谐振区面积会影响滤波器的插入损耗和带外抑制这两个重要指标。由于这两个指标是相互制约的,在设计时往往需要折衷考虑,这使得各FBAR单元的谐振区面... 详细信息

Tx与Rx滤波器,作为体声波(BAW)双工器的关键部件,其中各薄膜体声波谐振器(FBAR)单元的谐振区面积会影响滤波器的插入损耗和带外抑制这两个重要指标。由于这两个指标是相互制约的,在设计时往往需要折衷考虑,这使得各FBAR单元的谐振区面积设计成为BAW双工器设计的难点之一。为了解决这一问题,提出了一种Tx与Rx滤波器的参数化设计方法。在ADS软件中以FBAR的Mason模型为基础构建了梯形拓扑结构的滤波器电路模型。设置其中各串联FBAR的谐振区面积值以及串并联FBAR的谐振区面积比值为两类优化参数。以给定的滤波器插入损耗与带外抑制为优化目标,使用ADS软件中基于梯度的优化算法得到各参数的优化值。根据优化结果可以简单地计算得到滤波器中各FBAR单元的谐振区面积。以一个工作在LTE band 7的BAW双工器为设计案例展示了该方法的应用流程。设计结果的仿真验证表明:Tx滤波器的插损小于2dB、在Rx滤波器通带内的抑制大于40dB;Rx滤波器的插损小于1.9dB、在Tx滤波器通带内的抑制大于40dB;满足BAW双工器中Tx与Rx滤波器的性能指标。由此验证了该方法的可行性和易用性。

关键词：体声波双工器滤波器参数化设计 Mason模型谐振区面积

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石墨烯改性聚合物阻燃材料的研究进展

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功能材料 2015年第B12期46卷 1-7页

作者：龙海孟小庆徐溢董丽楠周志明重庆大学化学化工学院重庆400030 重庆市计量质量检测研究院重庆400020 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400030

阻燃高分子材料是功能聚合物发展的重要分支之一,拟在分析将石墨烯及其衍生物用于聚合物的阻燃机理基础之上,对石墨烯/聚合物复合材料的共价及非共价制备方法进行系统介绍和综述,进而针对目前相关产品的阻燃应用现状,介绍了功能化石墨烯... 详细信息

阻燃高分子材料是功能聚合物发展的重要分支之一,拟在分析将石墨烯及其衍生物用于聚合物的阻燃机理基础之上,对石墨烯/聚合物复合材料的共价及非共价制备方法进行系统介绍和综述,进而针对目前相关产品的阻燃应用现状,介绍了功能化石墨烯/聚合物的效能测试研究方法和进展。

关键词：石墨烯或氧化石墨烯聚合物复合材料阻燃

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ITO@Au-单层石墨烯-Au复合纳米SERS基底研制及测试

ITO@Au-单层石墨烯-Au复合纳米SERS基底研制及测试

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2016全国生命分析化学学术大会

作者：廖鑫郑祥权胡宝山李泽全徐溢新型微纳器件与系统技术重点学科实验室重庆市沙坪坝区沙正街174 号400000 微纳系统与新材料国际联合研发中心重庆市沙坪坝区大学城重庆大学理科楼400000 重庆大学化学化工学院重庆市沙坪重庆大学化学化工学院重庆市沙坪坝区大学城重庆大学理科楼400000

本文充分利用单层石墨烯的电荷转移能力、生物相容性好及荧光淬灭的效果，以及纳米金优良的SERS增强性能，将气相沉积法制备GNT与电化学沉积法制备纳米金相结合，在ITO导电玻璃上设计制备得到AuNPs/GNT复合纳米SERS 增强基底，用以实现... 详细信息

本文充分利用单层石墨烯的电荷转移能力、生物相容性好及荧光淬灭的效果，以及纳米金优良的SERS增强性能，将气相沉积法制备GNT与电化学沉积法制备纳米金相结合，在ITO导电玻璃上设计制备得到AuNPs/GNT复合纳米SERS 增强基底，用以实现生化样本的SERS高效检测。

关键词：单层石墨烯@Au复合纳米材料气相沉积电化学沉积 SERS测试

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基于六端口反射计的体声波传感器读出电路

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压电与声光 2015年第6期37卷 1066-1070页

作者：黄振华高杨蔡洵赵俊武西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044

由于体声波传感器具有灵敏度高,准数字量输出,便于集成和工作频率高等特点,使其近几年迅速发展,且因为体声波传感器具有工作频率高的特点,导致其读出电路部分复杂,不易集成,致使体声波传感器的实用性不高。为推进体声波传感器的实用化,... 详细信息

由于体声波传感器具有灵敏度高,准数字量输出,便于集成和工作频率高等特点,使其近几年迅速发展,且因为体声波传感器具有工作频率高的特点,导致其读出电路部分复杂,不易集成,致使体声波传感器的实用性不高。为推进体声波传感器的实用化,该文提出一种基于六端口反射计的体声波传感器读出电路代替使用矢量网络分析仪的原创性设想。采用Agilent公司的射频仿真软件Advanced Design System初步验证了基于六端口反射计的体声波传感器读出电路的可行性,并给出了满足薄膜体声波谐振器的射频输出信号检测要求的六端口网络的电路设计。

关键词：薄膜体声波谐振器体声波传感器六端口网路读出电路片上矢量网络分析仪

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薄膜体声波传感器及其读出电路进展

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压电与声光 2015年第2期37卷 187-192,196页

作者：高杨何婉婧李君儒黄振华蔡洵中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010

薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率,低功耗,小尺寸及制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器,如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质... 详细信息

薄膜体声波谐振器(FBAR)具有高灵敏度、高工作频率,低功耗,小尺寸及制造工艺IC兼容的特点,使其成为高效能换能器和传感器的理想技术。基于FBAR的传感器,如高灵敏度质量传感器、DNA和蛋白质探测器、气体传感器、水银离子探测器和微区质量探测器,与采用其他微电子机械系统的同类传感器相比,已取得了更好的传感性能。该文综述了FBAR传感器的进展,特别是FBAR高灵敏度传感器、FBAR谐振式传感器及其高频读出电路;提出了采用六端口反射计实现FBAR换能器的射频频率偏移信号读出、基于单片微波集成电路或低温共烧陶瓷工艺制备的六端口网络构建集成FBAR传感器的原创设想。

关键词：薄膜体声波谐振器传感器换能器微机电系统(MEMS) 读出电路六端口反射计

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薄膜体声波谐振器的电磁兼容性分析

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压电与声光 2015年第1期37卷 1-5页

作者：高杨周斌何移何婉婧李君儒中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044

随着薄膜体声波谐振器(FBAR)工作频率及FBAR器件集成度的不断提高,FBAR器件的电磁干扰问题显得尤为突出。常用电学模型和有限元模型都假定FBAR中的电磁场为无源准静态场,无法仿真模型的相关电磁特性。使用HFSS高频电磁仿真软件建立了FBA... 详细信息

随着薄膜体声波谐振器(FBAR)工作频率及FBAR器件集成度的不断提高,FBAR器件的电磁干扰问题显得尤为突出。常用电学模型和有限元模型都假定FBAR中的电磁场为无源准静态场,无法仿真模型的相关电磁特性。使用HFSS高频电磁仿真软件建立了FBAR的三维电磁仿真模型,采用一个包含声场特性的等效介电常数,实现了FBAR电磁场分布、电磁场耦合与压电效应的一体化仿真。分析了高频电磁场分布及电磁场耦合对谐振特性的影响,通过优化FBAR与临近元件的间距及采用不同介电常数的基板材料,减小了电磁场耦合的干扰。

关键词：薄膜体声波谐振器电磁兼容电磁场耦合等效介电常数高频电磁仿真

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