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太赫兹科学与电子信息学报 2015年第2期13卷 342-346页

作者：李君儒高杨何婉婧蔡洵黄振华西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044

计及电容式RF MEMS开关膜片上电场分布的边缘场效应后,很难建立高保真的开关自驱动失效阈值功率解析模型。因此,采用膜片承受射频信号功率的面积(ARF)和膜片与传输线的正对面积(A)的比值构建优值(Fo M),以表征膜片上电场分布的边缘场效... 详细信息

计及电容式RF MEMS开关膜片上电场分布的边缘场效应后,很难建立高保真的开关自驱动失效阈值功率解析模型。因此,采用膜片承受射频信号功率的面积(ARF)和膜片与传输线的正对面积(A)的比值构建优值(Fo M),以表征膜片上电场分布的边缘场效应强弱。利用HFSS软件建立了开关自驱动失效的三维电磁模型;以一种常见的开关构型为案例,仿真得到了多种射频信号功率(Pin)和开关气隙高度(g0)条件下膜片边缘电场分布,并与优值计算结果进行了对比验证,初步证明了采用优值ARF/A表征膜片上电场分布的边缘场效应强度的可行性。

关键词：射频微电子机械系统电容式开关射频功率容量自驱动边缘场效应

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医用超细内窥镜系统研究

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中国生物医学工程学报 2014年第1期31卷 107-111页

作者：徐忠刘洪英皮喜田余巧练阳赵亚雄重庆大学生物工程学院生物流变科学与技术教育部重点实验室重庆400030 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400030

设计了一种医用超细内窥镜系统。采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器配合低压差分信号(LVDS)传输技术进行前端摄像探头的设计,使摄像探头直径缩减至5.0 mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输;采用基于S3C2440微处理器的ARM开发平台... 详细信息

设计了一种医用超细内窥镜系统。采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器配合低压差分信号(LVDS)传输技术进行前端摄像探头的设计,使摄像探头直径缩减至5.0 mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输;采用基于S3C2440微处理器的ARM开发平台对图像数据进行处理,实现了内窥镜图像的清晰显示。以口腔为模拟测试对象对系统摄像功能进行了测试,并与传统内镜进行了对比,证明该系统能够完成内窥镜摄像,且所成图像分辨率高。以口腔溃疡模拟粘膜病变对系统进行测试,证明该系统能有效发现粘膜病变,病变检出率高达90.0%。本系统成像清晰,且镜体直径小,能大大提高病人内镜检查的舒适性,为消化道疾病普查初筛提供了一种理想的解决方案。

关键词： CMOS图像传感器内窥镜 LVDS技术微型化

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薄膜体声波谐振器微加速度计惯性力敏特性

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太赫兹科学与电子信息学报 2015年第2期13卷 337-341页

作者：何婉婧高杨李君儒黄振华蔡洵西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044

研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝(Al N)薄膜体声波谐振器(FBAR)检测元件集成的FBAR微加速度计表头的惯性力敏特性。采用有限元(FEA)静力学仿真,得到惯性力载荷作用下硅微悬臂梁上的应力分布;选取最大应力值作为载荷,基... 详细信息

研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝(Al N)薄膜体声波谐振器(FBAR)检测元件集成的FBAR微加速度计表头的惯性力敏特性。采用有限元(FEA)静力学仿真,得到惯性力载荷作用下硅微悬臂梁上的应力分布;选取最大应力值作为载荷,基于第一性原理计算纤锌矿Al N的弹性系数与应力的关系式,预测惯性力载荷作用下Al N弹性系数的最大变化量;采用谐响应分析,预测FBAR微加速度计的加速度-谐振频率偏移特性。分析得到:惯性力载荷作用下,FBAR微加速度计的谐振频率向高频偏移,灵敏度约为数k Hz/g;其加速度增量-谐振频率偏移特性曲线具有良好的线性度。

关键词：微电子机械系统薄膜体声波谐振器微加速度计力敏特性

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基于微流控芯片的植物抗氧化剂抗氧化活性CAA测定

基于微流控芯片的植物抗氧化剂抗氧化活性CAA测定

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中国化学会第十二届全国分析化学年会

作者：张潇丹徐溢重庆大学化学化工学院重庆市沙坪坝区沙正街174 号400000 新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆市沙坪坝区沙正街174 号400000

由于活性氧(reactive oxygen species,ROS）过量产生造成氧化应激状态是导致身体中各组织器官损伤、病变的重要原因之一.因此,迅速有效地在大量的候选化合物中发现具有抗氧化活性的物质尤为重要.

关键词：

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介电层粗糙对电容式RF MEMS开关down态电容退化的影响

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强激光与粒子束 2014年第12期26卷 205-210页

电容式RF MEMS开关在控制高功率射频信号时会发生自锁失效,由于开关桥膜与介电层之间的粗糙接触,开关的down态电容会发生退化,因此很难建立开关自锁失效阈值功率的高保真预测模型。提出了3D电磁-等效电路仿真对比建模的方法。建立开关... 详细信息

电容式RF MEMS开关在控制高功率射频信号时会发生自锁失效,由于开关桥膜与介电层之间的粗糙接触,开关的down态电容会发生退化,因此很难建立开关自锁失效阈值功率的高保真预测模型。提出了3D电磁-等效电路仿真对比建模的方法。建立开关的3D电磁仿真模型,仿真得到具有任一表面粗糙度水平的介电层粗糙开关的隔离度(S21)曲线;再建立同一开关的等效电路模型,通过调谐其down态电容值,使得仿真得到的S21曲线与3D电磁模型仿真结果尽可能吻合;此时,可以确定一组根据开关3D电磁仿真模型设定的表面粗糙度水平与等效电路模型调谐好的down态电容值的关系;改变开关介电层的表面粗糙度水平,并重复上述步骤,确定了任一开关的介电层表面粗糙度与开关down态电容退化的关系。采用文献的down态电容实测数据,初步验证了该方法的可行性和合理性。并利用所得的开关down态电容随介电层表面粗糙度退化的特性,对简化的(介电层光滑)开关自锁失效阈值功率解析计算式进行了修订,可扩展用于预测介电层粗糙开关的功率容量。

关键词：电容式开关介电层粗糙自锁 down态电容退化

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医用内窥镜微型摄像模组设计

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传感器与微系统 2014年第10期33卷 91-93,103页

作者：徐忠刘洪英余巧孙良伟赵亚雄贾子如重庆大学生物工程学院生物流变科学与技术教育部重点实验室重庆400030 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400030

设计了一种新型医用内窥镜微型摄像模组。该模组采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器结合低压差分信号(LVDS)传输技术进行设计,使摄像模组直径缩减至5.0mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输。搭建了实验平台对摄像模组的摄像功能进... 详细信息

设计了一种新型医用内窥镜微型摄像模组。该模组采用微型、高分辨率的CMOS图像传感器结合低压差分信号(LVDS)传输技术进行设计,使摄像模组直径缩减至5.0mm,并实现了图像数据的长距离高保真传输。搭建了实验平台对摄像模组的摄像功能进行了测试。结果表明:该模组图像传输距离超过2 m,分辨率达到30万像素,对口腔溃疡模拟粘膜病变的识别率高达90%。其图像分辨率高,传输距离长,使其适用于内镜诊断;其直径小,能大大提高病人内镜检查的舒适性,为超细内镜诊断提供了一种极佳的解决方案。

关键词： CMOS摄像模组内窥镜低压差分信号技术微型化

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氧化铝陶瓷基无线无源压力传感器的高温性能研究

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传感技术学报 2014年第9期27卷 1169-1173页

作者：任重蔡婷谭秋林李晨郑庭丽熊继军中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

利用高温烧结陶瓷技术制备了一种基于氧化铝陶瓷的LC谐振式无线无源压力传感器,并通过合理地设计圆柱螺旋天线以及隔热结构,实现了该传感器在高温环境中的无线耦合测试。研究了传感器在不同温度下的阻抗频率特性,分析并探讨了传感器的... 详细信息

利用高温烧结陶瓷技术制备了一种基于氧化铝陶瓷的LC谐振式无线无源压力传感器,并通过合理地设计圆柱螺旋天线以及隔热结构,实现了该传感器在高温环境中的无线耦合测试。研究了传感器在不同温度下的阻抗频率特性,分析并探讨了传感器的高温性能。测试结果表明,在29℃(室温)至700℃的温度范围内,测试天线端的最高瞬时温度为188.4℃,保证了传感器高温测试的可靠性。谐振频率对温度的平均变化量为1.314 kHz/℃,两次重复性测试的相对变化量为3.81%,重复性较好。该压力传感器可应用于高温恶劣环境下的压力测试,其高温性能的研究为压力信号的准确读取奠定了良好的基础。

关键词：压力传感器无线无源高温零点温漂谐振频率

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基于高温烧结氧化铝陶瓷的无线无源温度传感器

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传感技术学报 2014年第5期27卷 654-657页

作者：任重谭秋林李晨郑庭丽蔡婷熊继军中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

通过高温烧结技术获得了总体尺寸为28 mm×28 mm×0.47 mm的氧化铝陶瓷基板,结合厚膜技术在该基板上印刷无源LC串联谐振电路,设计并制备了一种基于氧化铝陶瓷的无线无源温度传感器。在18℃~300℃的温度范围内实现了传感器的无... 详细信息

通过高温烧结技术获得了总体尺寸为28 mm×28 mm×0.47 mm的氧化铝陶瓷基板,结合厚膜技术在该基板上印刷无源LC串联谐振电路,设计并制备了一种基于氧化铝陶瓷的无线无源温度传感器。在18℃~300℃的温度范围内实现了传感器的无线测试,测试结果表明该温度传感器呈现出了良好的线性特征,线性范围大且非线性误差小,其谐振频率对温度的灵敏度约为2.75 kHz/℃,可应用于高温恶劣环境下的温度检测。

关键词：无线无源传感器温度高温烧结氧化铝陶瓷谐振频率

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基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器

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传感技术学报 2014年第8期27卷 1038-1042页

作者：李晨谭秋林张文栋薛晨阳贾平岗李运芝熊继军中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

氧化铝陶瓷因其稳定的机械性能和高温鲁棒性得到了广泛的应用。文章以LC谐振电路为技术背景,提出了一种基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器,并通过厚膜集成工艺技术将一个定值电感与一个可变电容集成在氧化铝陶瓷基板上实现了传感器... 详细信息

氧化铝陶瓷因其稳定的机械性能和高温鲁棒性得到了广泛的应用。文章以LC谐振电路为技术背景,提出了一种基于氧化铝陶瓷的电容式高温压力传感器,并通过厚膜集成工艺技术将一个定值电感与一个可变电容集成在氧化铝陶瓷基板上实现了传感器的制备。对传感器进行高温环境下的压力测试,实验结果表明:传感器能够完成600℃高温环境下1到5 bar范围内压力的原位测试,且在600℃高温环境下传感器的重复性误差,迟滞性误差和零点漂移分别为8.3%,5.05%和3.7%。

关键词：高温传感器压力氧化铝陶瓷厚膜集成技术原位测试

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石墨烯纳米带p-i-n结构太赫兹探测器的设计

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半导体光电 2014年第6期35卷 992-995,999页

作者：王祖英温中泉袁伟青高杨重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900

研究了石墨烯纳米带横向p-i-n结构探测器对太赫兹波的响应特性,基于载流子输运方程和泊松方程,建立了考虑迁移、扩散、生成、复合等载流子运动的太赫兹探测器数学模型。根据该模型,对石墨烯纳米带横向p-i-n结构的太赫兹波响应进行了仿真... 详细信息

研究了石墨烯纳米带横向p-i-n结构探测器对太赫兹波的响应特性,基于载流子输运方程和泊松方程,建立了考虑迁移、扩散、生成、复合等载流子运动的太赫兹探测器数学模型。根据该模型,对石墨烯纳米带横向p-i-n结构的太赫兹波响应进行了仿真,获得了反向栅压诱导生成的p-i-n二极管的能带图;进而探讨了纳米带宽度、i区长度及偏置电压对响应电流的影响,分析表明石墨烯纳米带带隙随宽度增大而减小,响应频率减小;i区长度与载流子寿命匹配时响应电流达到峰值;光电流随偏置电压的增大而增大,并趋于饱和。

关键词：石墨烯纳米带太赫兹探测器

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