检索结果-内蒙古大学图书馆

压电与声光 2010年第4期32卷 692-696页

作者：魏康林温志渝赵新强张中卫曾甜玲重庆大学新型微纳器件与系统国家重点学科实验室重庆400044 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044

为实现对重大工程结构健康的网络化在线监测,将多功能系统集成的微机电系统(MEMS)微传感器组成分布式无线信息测控网络,基于微机电系统(MEMS)技术的重大工程结构健康监测无线传感器网络是土木工程领域正在发展的技术前沿。该文介绍了国... 详细信息

为实现对重大工程结构健康的网络化在线监测,将多功能系统集成的微机电系统(MEMS)微传感器组成分布式无线信息测控网络,基于微机电系统(MEMS)技术的重大工程结构健康监测无线传感器网络是土木工程领域正在发展的技术前沿。该文介绍了国外该技术的基础理论模型、关键核心技术和应用开发等方面的研究现状与进展,分析了目前需迫切解决的关键共性技术瓶颈及可行的解决途径,据此提出了研发技术路线,对我国重大工程结构健康检测具有一定的参考价值。

关键词：结构健康监测无线传感器网络微传感器微机电系统(MEMS) 微能源

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微流控电泳芯片集成电导检测研究进展

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压电与声光 2010年第4期32卷 671-676页

作者：徐溢梁静胡小国刘海涛温志渝重庆大学化学化工学院重庆400030 微纳系统及新材料技术国际研发中心重庆400030 新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400030 重庆大学微系统中心重庆400030

电导检测器具有在微流控电泳芯片上制作微电极较易以及外围信号处理电路较简单的特点,在电泳芯片上的集成研究已得到广泛的关注和开展。该文综述了近几年在微流控电泳芯片上集成电导检测器的原理、系统组成以及影响因素,介绍了MEMS技术... 详细信息

电导检测器具有在微流控电泳芯片上制作微电极较易以及外围信号处理电路较简单的特点,在电泳芯片上的集成研究已得到广泛的关注和开展。该文综述了近几年在微流控电泳芯片上集成电导检测器的原理、系统组成以及影响因素,介绍了MEMS技术在电泳芯片集成电导检测电极加工中的应用;重点综述了目前国内外相关研究报道中较有特色的在电泳芯片上集成的电导检测器。

关键词：微流控芯片电泳集成微电极电导检测 MEMS技术综述

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硅基电泳芯片非接触电导检测器

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纳米技术与精密工程 2010年第4期8卷 362-367页

作者：顾雯雯温志渝温中泉徐溢梁凤飞刘海涛新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400044 微纳系统及新材料技术国际研究中心重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044 重庆大学光电工程学院重庆400044

研制了一种集成于硅基电泳芯片分离沟道末端侧壁的新型二电极非接触电导检测器.讨论了影响电导检测响应灵敏度的相关因素;采用MEMS分析软件及等效电路模拟仿真,确定了检测器的相关参数,电极长度为550μm,宽度为15μm,间距为80μm,绝缘... 详细信息

研制了一种集成于硅基电泳芯片分离沟道末端侧壁的新型二电极非接触电导检测器.讨论了影响电导检测响应灵敏度的相关因素;采用MEMS分析软件及等效电路模拟仿真,确定了检测器的相关参数,电极长度为550μm,宽度为15μm,间距为80μm,绝缘层厚度为1μm,电导检测工作频率为300 kHz.在加工技术中,选用SOI(sili-con on insulator)基片制作十字形微沟道及集成电导检测电极,采用深刻蚀和隔离技术使检测电极被完全隔离成孤岛,利用硼掺杂技术在分离沟道末端侧壁形成立体电极,获得了集成非接触电导检测电极的硅基电泳芯片.在外加Vpp为10 V、工作频率为300 kHz的正弦波激励下,进行了Na+无机阳离子浓度梯度实验以及Na+和Li+混合无机阳离子的电泳分离检测.结果表明,Na+浓度在1×10-9～1×10-4 mol/L范围内,电导响应信号随着离子浓度的增加而增大,检出限达到1×10-9 mol/L;Na+和Li+混合无机阳离子的分离度达到2.0,实现基线分离.

关键词：侧壁立体电极非接触电导检测硅基电泳芯片无机阳离子

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低电压电泳芯片及其在生化样品分析中的应用(英文)

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纳米技术与精密工程 2010年第3期8卷 245-250页

作者：徐溢梁静胡小国马亮波温志渝重庆大学化学化工学院重庆400030 重庆大学微系统中心重庆400030 新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400030 微纳系统及新材料技术国际研发中心重庆400030

为了解决微流控电泳芯片集成化问题,设计并制作出一种具有管道两侧微阵列电极结构的硅-PDMS复合低电压电泳芯片.通过电路控制程序在微侧壁阵列电极上施加交替循环的低电压,以实现芯片微管道中低电压电泳过程;并对硅-PDMS芯片的电绝缘性... 详细信息

为了解决微流控电泳芯片集成化问题,设计并制作出一种具有管道两侧微阵列电极结构的硅-PDMS复合低电压电泳芯片.通过电路控制程序在微侧壁阵列电极上施加交替循环的低电压,以实现芯片微管道中低电压电泳过程;并对硅-PDMS芯片的电绝缘性、伏安曲线及电渗流等性能进行了测试和评价.以pH为10.0、10mmol/L的硼砂作为缓冲体系,分离场强150V/cm、切换时间3s的条件下,完成了10-4mol/L的苯丙氨酸和精氨酸的低电压电泳分离,分离度达1.6,实现了两种氨基酸的完全分离.在此基础上,将系统用于牛血清白蛋白和α-乳白蛋白的分离,并初步实现了该两种蛋白质的芯片电泳分离.

关键词：微流控芯片 MEMS技术低电压芯片电泳电极阵列

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肠道生物机器人系统的初步研究

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传感器与微系统 2010年第10期29卷 79-82页

作者：皮喜田王振宇魏亢周升山徐林刘洪英重庆大学生物工程学院重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室重庆400030

介绍一种既能满足无创性要求又能满足驱动性要求的全新肠道诊疗设备——肠道生物机器人系统。该系统包括进入肠道内的诊疗部分和体外控制中心部分,生物作为肠道诊疗部分的驱动装置,通过体外控制中心遥控生物的运动行为,实现肠道诊疗部... 详细信息

介绍一种既能满足无创性要求又能满足驱动性要求的全新肠道诊疗设备——肠道生物机器人系统。该系统包括进入肠道内的诊疗部分和体外控制中心部分,生物作为肠道诊疗部分的驱动装置,通过体外控制中心遥控生物的运动行为,实现肠道诊疗部分的主动驱动和定点泊位。首先选取黄鳝作为肠道诊疗部分的驱动体,然后根据黄鳝的运动机理,使用LabVIEW编程的电流脉冲刺激器发送刺激信号到表面贴片微神经电极,对黄鳝进行不同环境不同刺激位点的多种刺激实验。获得通过同时刺激躯干前、中部侧线区域控制其前进的方法,为今后研制肠道生物机器人系统样机提供必要的理论基础。

关键词：生物机器人系统肠道诊疗神经刺激运动控制

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宽频带微型压电式振动发电机的设计

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传感技术学报 2010年第5期23卷 643-646页

作者：于慧慧温志渝温中泉贺学锋新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044 国家级微纳系统与新材料技术国际联合研究中心重庆400044 重庆大学微系统研究中心重庆400044

针对压电式振动发电机频带宽度过窄的问题,设计了多悬臂梁-单质量块结构的微型压电式振动发电机。建立了多悬臂梁-单质量块结构微型压电式振动发电机的仿真模型,分析了微型发电机的谐振频率与结构参数的关系、输出电压与结构频率的关系... 详细信息

针对压电式振动发电机频带宽度过窄的问题,设计了多悬臂梁-单质量块结构的微型压电式振动发电机。建立了多悬臂梁-单质量块结构微型压电式振动发电机的仿真模型,分析了微型发电机的谐振频率与结构参数的关系、输出电压与结构频率的关系等性能参数。组装了多悬臂梁-单质量块结构发电机实验模型,实验结果表明,设计的多悬臂梁-单质量块结构微型发电机在振动频率为113Hz～155Hz的环境中可以有效地将振动能转换为电能,在频带范围内最小输出功率37.56μW,最大输出功率155.71μW,发电机的频带宽度扩展到42Hz。

关键词：压电发电机多悬臂梁-单质量块频带宽度

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直梁结构光栅光调制器的机电特性分析与实验

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纳米技术与精密工程 2010年第1期8卷 42-46页

作者：金珠温志渝张智海黄尚廉重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044

介绍了直梁光栅光调制器的结构和原理,建立了器件的机电模型.利用能量法和卡式第二定理分析并得到器件的弹性系数;通过静电力与机械回复力的平衡,得到器件的驱动电压.结合器件的实际参数值,计算得到器件的工作电压为10.71 V,吸合电压为1... 详细信息

介绍了直梁光栅光调制器的结构和原理,建立了器件的机电模型.利用能量法和卡式第二定理分析并得到器件的弹性系数;通过静电力与机械回复力的平衡,得到器件的驱动电压.结合器件的实际参数值,计算得到器件的工作电压为10.71 V,吸合电压为11.46 V.实验测得器件的实际工作电压为10.5 V,吸合电压为12.2 V,实验结果与理论分析基本一致.在1 kHz脉冲电压的驱动下,器件响应的上升时间和下降时间分别为46.59μs和44.77μs;器件的响应频率约为5 kHz.结果表明,加工的直梁光栅光调制器具有较低的驱动电压和较高的响应频率,能够满足微投影显示的要求.

关键词：微机电系统光栅光调制器(GLM) 机电特性驱动电压弹性系数

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高校微机电系统加工实验室的管理与运行

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实验技术与管理 2010年第11期27卷 16-20,24页

作者：王胜强李冬玲尚正国贺学锋重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验... 详细信息

微加工超净实验室是微机电系统（micro-electro-mechanical systems,MEMS）研究的基础条件。超净实验室涉及多种大型微加工设备和相应的纯水、高纯气体、空气净化及空调等辅助系统,其管理显得十分重要。结合重庆大学微机电系统加工实验室,对其现场管理、保障系统运行和设备管理、节能和高效利用、设计和技术管理等进行了简单介绍,同时对MEMS微加工工艺开发与技术管理进行了初步探索。

关键词：微电子机械系统超净间管理

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一种用于微型光谱仪的光栅光调制器件

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激光与光电子学进展 2010年第3期47卷 107-113页

作者：王伟温志渝张智海金珠郭媛君莫祥霞重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044 重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

提出了一种改进型的可应用于微型光谱仪的光栅光调制器(GLM),器件由可动光栅和底层反射层组成。通过静电驱动由多个GLM组成的线阵单元,下拉栅条至不同高度可实现对不同波长光进行开关选通调制。介绍了该器件的工作原理、结构和工艺流程... 详细信息

提出了一种改进型的可应用于微型光谱仪的光栅光调制器(GLM),器件由可动光栅和底层反射层组成。通过静电驱动由多个GLM组成的线阵单元,下拉栅条至不同高度可实现对不同波长光进行开关选通调制。介绍了该器件的工作原理、结构和工艺流程,利用Coventor软件对器件进行建模。通过有限元分析了器件的机电耦合特性,得到了器件的吸合电压和响应频率,并得出不同结构参数对器件栅条平坦度的影响关系。仿真结果表明:通过增加栅条厚度,改进底电极结构,且采用减薄的折叠型支撑梁,能够有效改善光栅面平坦度,使其较好地实现对光的开关选通。

关键词：光栅光调制器微光机电系统有限元仿真微型光谱仪器件结构设计

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PDMS用加窗方式快速复制微结构

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传感器与微系统 2010年第12期29卷 58-59,63页

作者：刘畅郑小林廖彦剑杨军杨国清重庆大学生物工程学院重庆400030 新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室重庆400044

提出了一种微流控芯片中的制作方法,此方法可以复制现有芯片的任意结构,可用于实验室原有芯片的修复和整合。用窗口的方法提取结构,可排除芯片上相邻结构的干扰,得到表面光滑整齐的新芯片。特别适用于复制目前软光刻工艺尚未达到的特微... 详细信息

提出了一种微流控芯片中的制作方法,此方法可以复制现有芯片的任意结构,可用于实验室原有芯片的修复和整合。用窗口的方法提取结构,可排除芯片上相邻结构的干扰,得到表面光滑整齐的新芯片。特别适用于复制目前软光刻工艺尚未达到的特微结构和三维结构芯片。实验制作出的聚二甲基硅氧烷(PDMS)芯片沟道长30μm,宽5μm,深5μm,显微镜下观察芯片表面光滑,窗口内沟道性质复制良好,窗口边缘与表面之间具有明显的陡变。

关键词：聚二甲基硅氧烷模塑法微流控芯片软光刻窗口提取

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