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Silicon implanted oxide multifunctional optical switches for smart pixel arrays
Silicon implanted oxide multifunctional optical switches for...
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Conference on Lasers and Electro-Optics Europe (CLEO EUROPE)
作者： H. Thienpont W. Peiffer I. Veretennicoff C. de Tandt W. Randson R. Vounckx A. Koster Lab for Photonic Computing and Perception Applied Physics Department (TW/TONA) Vrije Universiteit Brussel Pleinlaan 2 B-1050 Brussel Belgium Labfor Microelectronics and Technology Applied Physics Department (TW/TONA) Vrije Universiteit Brussel Pleinlaan 2 B-1050 Brussel Belgium Institut d'Electronique Fondamentale (IEF) CNRS UA22 Université Paris-Sud Bat. 220 91405 Orsay France
In this paper we report on the progress which has been made in the fabrication and use of 2-D optical logic planes consisting of silicon hybrid electrically assisted thermo-optic resonators (HEATORS).1
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