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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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文献类型

6 篇 专利

馆藏范围

6 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

机构

5 篇 卡尔蔡司smt有限责...
1 篇 卡尔蔡司smt股份公...

作者

4 篇 克里斯琴.肯普特
4 篇 简.霍恩
4 篇 沃尔夫冈.法洛特-...
2 篇 沃尔夫冈·法洛特-...
2 篇 简·霍恩
2 篇 克里斯琴·肯普特

语言

6 篇 中文

检索条件"作者=沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特"

共 6 条记录，以下是1-10 订阅

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详细简洁

排序：

微光刻投射曝光设备的照明系统

微光刻投射曝光设备的照明系统

引用

作者：简.霍恩克里斯琴.肯普特沃尔夫冈.法洛特-伯格哈特德国上科亨

微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动器倾斜的镜。此外，照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置，该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70)，以... 详细信息

标准号: CN103034075B

微光刻投射曝光设备的照明系统表现了布置为多镜阵列且能够经由至少一个驱动器倾斜的镜。此外，照明系统表现了用于该镜的驱动电子装置，该驱动电子装置表现了具有第一分辨率的粗数模转换器(68)、具有第二分辨率的精数模转换器(70)，以及加法器(72)，第二分辨率高于第一分辨率，通过两个数模转换器(68、70)输出的输出量能够利用该加法器(72)相加以产生总量。该总量至少能够间接施加于该镜的至少一个驱动器。