检索结果-内蒙古大学图书馆

中国空间科学学会空间材料专业委员会2011学术交流会

作者：闫永杰张辉殷杰黄政仕刘学建中国科学院上海硅酸盐研究所中国科学院研究生院

利用Mo或BC作为烧结助剂,系统研究了ZrB-SiC材料的常压烧结和抗氧化性能。本文主要考察了Mo,BC含量对材料抗氧化性能的影响。研究发现Mo烧结助剂通过形成M0-Zr-B固溶相提高了材料的烧结致密化,而BC烧结助剂不仅通过除去粉体表面的氧杂... 详细信息

利用Mo或BC作为烧结助剂,系统研究了ZrB-SiC材料的常压烧结和抗氧化性能。本文主要考察了Mo,BC含量对材料抗氧化性能的影响。研究发现Mo烧结助剂通过形成M0-Zr-B固溶相提高了材料的烧结致密化,而BC烧结助剂不仅通过除去粉体表面的氧杂质提高烧结致密化,而且通过降低碳化物残余提高了材料的抗氧化性能。通过研究1500℃氧化30min后残余强度和氧化层结构发现,当BC含量为4wt%,SiC含量在15wt%时材料表现出最优异的抗氧化性能。

关键词： ZrB2-SiC 常压烧结力学性能显微结构

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激光源的质量检测装置及其质量检测方法

激光源的质量检测装置及其质量检测方法

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作者：黄政仕 201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

本公开提供一种激光源的质量检测装置及其质量检测方法，该质量检测装置用于检测该激光源是否为异常光源，该装置设于激光源的光束出口端，该装置包括：反射镜组，位于该激光源的出光范围内，接收来自该激光源的全部光束，该反射镜组包... 详细信息

标准号: CN104280210A

本公开提供一种激光源的质量检测装置及其质量检测方法，该质量检测装置用于检测该激光源是否为异常光源，该装置设于激光源的光束出口端，该装置包括：反射镜组，位于该激光源的出光范围内，接收来自该激光源的全部光束，该反射镜组包括至少一个反射镜，该激光源的出光在经过该反射镜组的反射后，在该光束出口端投射出与激光源的出光轮廓相同的反射光；及传感器，该光束出口端上限定出正常出光范围，该传感器设置在该正常出光范围的外周，当反射光超出该正常出光范围时，该传感器能够接收到该反射光，从而判断出激光源为异常光源。本公开能够及早发现光源的异常，从而提早预警，达到高效益的质量控制，降低人力耗损。

关键词：激光反射镜组光束出口反射光传感器光源质量检测装置质量检测方法反射镜质量控制外周高效益预警超出检测发现

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一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法

一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法

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作者：叶昱均黄政仕方赞源任东韩开 201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

本发明涉及一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法，该检测装置包括：供发射光束的一发射单元、供接收反射光束的一接收单元、一控制单元、以及一影像侦测单元，所述控制单元分别连接控制所述发射单元、所述接收单元和所述影像侦测单元，... 详细信息

标准号: CN105738379A

本发明涉及一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法，该检测装置包括：供发射光束的一发射单元、供接收反射光束的一接收单元、一控制单元、以及一影像侦测单元，所述控制单元分别连接控制所述发射单元、所述接收单元和所述影像侦测单元，所述控制单元接收所述发射单元、所述接收单元和所述影像侦测单元传送的信号，通过接收到的信号逻辑判断所述多晶硅薄膜的图像缺陷。提高多晶硅薄膜的检测准确度，减少人眼主观判断的错误率，相对于传统的裂片检测有效地缩短检测时间。

关键词：多晶硅薄膜发射单元接收单元影像侦测检测检测装置准确度单元传送发射光束反射光束连接控制图像缺陷信号逻辑主观判断传统的错误率有效地裂片人眼

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一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法

一种多晶硅薄膜的检测装置及检测方法

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作者：叶昱均黄政仕方赞源任东韩开 201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

标准号: CN105738379B

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一种多晶硅制作方法

一种多晶硅制作方法

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作者：叶昱均黄德伦黄政仕 201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

一种多晶硅制作方法，包括：S11.用固态激光器发射激光来照射非晶硅层的下表面，以对所述非晶硅层进行预热；以及S12.用准分子激光器发射激光来照射所述非晶硅层的上表面，以将所述非晶硅层晶化成多晶硅，其中所述步骤S11先于所述步骤S1... 详细信息

标准号: CN104282539A

一种多晶硅制作方法，包括：S11.用固态激光器发射激光来照射非晶硅层的下表面，以对所述非晶硅层进行预热；以及S12.用准分子激光器发射激光来照射所述非晶硅层的上表面，以将所述非晶硅层晶化成多晶硅，其中所述步骤S11先于所述步骤S12一预定时间执行或同时执行。本申请不但能够大大缩短非晶硅熔化而晶化成多晶硅的时间，从而有效提高多晶硅的产量，而且，由于降低了非晶硅的熔化和晶化时的温度梯度，从而能够有效增加多晶硅的结晶率并改善多晶硅的结晶质量，另外，还可以减少昂贵的准分子激光器的发射次数，从而延长准分子激光器的使用寿命，进一步降低成本。

关键词：多晶硅晶硅层分子激光器晶化熔化发射激光晶硅照射固态激光器发射次数结晶质量温度梯度结晶率上表面预热

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一种多晶硅膜制备方法

一种多晶硅膜制备方法

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作者：方赞源黄政仕叶昱均任东 201508 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

本发明涉及一种多晶硅膜制备方法，属于半导体技术领域。该方法首先利用微透镜组进行单次曝光显影定位晶粒，进而利用准分子激光透过微透镜组聚焦，并使焦点接近定位位置，形成晶粒。利用该方法能在多晶硅膜制备过程中提高多晶硅薄膜晶... 详细信息

标准号: CN106033707A

本发明涉及一种多晶硅膜制备方法，属于半导体技术领域。该方法首先利用微透镜组进行单次曝光显影定位晶粒，进而利用准分子激光透过微透镜组聚焦，并使焦点接近定位位置，形成晶粒。利用该方法能在多晶硅膜制备过程中提高多晶硅薄膜晶体管的载子移动率，提升多晶硅薄膜晶体管的整体性能，且本发明的多晶硅膜制备方法，其实现方式简单，实现成本低廉。

关键词：多晶硅膜多晶硅薄膜晶体管晶粒微透镜组制备半导体技术领域准分子激光单次曝光定位位置制备过程显影聚焦焦点移动

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一种提高多晶硅层均匀性的方法

一种提高多晶硅层均匀性的方法

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作者：任东黄政仕叶昱均方赞源 201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

本发明提供一种提高多晶硅层均匀性的方法，包括：在衬底上形成非晶硅层；对非晶硅层进行干式表面处理，以形成第一氧化硅层；从非晶硅层的表面去除第一氧化硅层；在非晶硅层的表面形成第二氧化硅层；以及通过结晶化处理使非晶硅层形成... 详细信息

标准号: CN104282546A

本发明提供一种提高多晶硅层均匀性的方法，包括：在衬底上形成非晶硅层；对非晶硅层进行干式表面处理，以形成第一氧化硅层；从非晶硅层的表面去除第一氧化硅层；在非晶硅层的表面形成第二氧化硅层；以及通过结晶化处理使非晶硅层形成多晶硅栅极层。根据本发明的方法，对非晶硅层进行干式表面处理，避免了湿式处理臭氧水残留的问题，同时起到清洗、氧化和避免下层伤害的作用，可有效提高结晶化处理后多晶硅层的晶粒大小的均匀性。此外，本发明方法有利于提高生产效率和产能，且操作更安全、维护更便捷。

关键词：晶硅层氧化硅层多晶硅化处理均匀性多晶硅栅极二氧化硅晶粒大小臭氧水衬底湿式下层

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一种晶粒尺寸测量方法及装置、多晶硅薄膜的生产方法

一种晶粒尺寸测量方法及装置、多晶硅薄膜的生产方法

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作者：周成袁志龙杨晓东张春鹏李飞胡岩袁洪光黄政仕苏国玮张宇吕祖彬 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

本发明提供了一种晶粒尺寸测量方法及装置、多晶硅薄膜的生产方法，用以使测量到的晶粒尺寸很好地反映晶粒形状特点，以对工艺生产产生有效的指导，本发明提供的一种晶粒尺寸测量方法，包括：获取结晶体的一个结晶区域的晶粒形貌图，并... 详细信息

标准号: CN107677232B

本发明提供了一种晶粒尺寸测量方法及装置、多晶硅薄膜的生产方法，用以使测量到的晶粒尺寸很好地反映晶粒形状特点，以对工艺生产产生有效的指导，本发明提供的一种晶粒尺寸测量方法，包括：获取结晶体的一个结晶区域的晶粒形貌图，并根据所述晶粒形貌图绘制晶粒界面图；对所述晶粒界面图中的至少一个晶粒进行测量，分别确定各个测量晶粒的横向尺寸和纵向尺寸；根据测量的晶粒横向尺寸和纵向尺寸，确定所述结晶体的晶粒横向尺寸和纵向尺寸。

关键词：晶粒测量结晶体晶粒尺寸测量晶粒横向晶粒界面晶粒形貌多晶硅薄膜工艺生产结晶区域晶粒形状绘制生产

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一种晶粒尺寸测量方法及装置、多晶硅薄膜的生产方法

一种晶粒尺寸测量方法及装置、多晶硅薄膜的生产方法

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作者：周成袁志龙杨晓东张春鹏李飞胡岩袁洪光黄政仕苏国玮张宇吕祖彬 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

标准号: CN107677232A

关键词：晶粒测量结晶体晶粒尺寸测量晶粒横向晶粒界面晶粒形貌多晶硅薄膜工艺生产结晶区域晶粒形状绘制生产

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自拟散寒化瘀汤联合曲普瑞林治疗子宫内膜异位症的效果分析

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中外医药研究 2025年第7期4卷 93-95页

作者：吴晓君黄剑平陆仕辉黄政乐广西中医药大学基础医学院广西壮族自治区南宁530200 广西健天下健康管理有限公司广西壮族自治区南宁530000 广西中医药大学赛恩斯新医药学院广西壮族自治区南宁530000 南宁市宁明县人民医院康复医学科广西壮族自治区南宁530000

目的:分析自拟散寒化瘀汤联合曲普瑞林治疗子宫内膜异位症的效果。方法:以随机数字表法将2023年1—12月南宁市宁明县人民医院收治的112例子宫内膜异位症患者分为对照组和观察组,各56例。对照组给予曲普瑞林治疗,观察组给予自拟散寒化瘀... 详细信息

目的:分析自拟散寒化瘀汤联合曲普瑞林治疗子宫内膜异位症的效果。方法:以随机数字表法将2023年1—12月南宁市宁明县人民医院收治的112例子宫内膜异位症患者分为对照组和观察组,各56例。对照组给予曲普瑞林治疗,观察组给予自拟散寒化瘀汤联合曲普瑞林治疗。对两组患者治疗情况进行比较。结果:治疗后,两组血清癌抗原125、糖链抗原199、抗子宫内膜抗体、血管内皮生长因子、血管内皮生长因子-1、血管内皮生长因子-2水平均降低,观察组低于对照组(P<0.05);治疗后,两组性交痛、盆腔痛评分均降低,观察组低于对照组(P<0.05);两组不良反应总发生率比较,无统计学差异(P>0.05);观察组复发率低于对照组(P=0.015)。结论:自拟散寒化瘀汤联合曲普瑞林治疗子宫内膜异位症可有效改善患者的子宫内膜血流情况,缓解性交痛、盆腔痛,降低复发率。

关键词：子宫内膜异位症自拟散寒化瘀汤曲普瑞林

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