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用于等离子体处理的离子能量分析的屏蔽装置
用于等离子体处理的离子能量分析的屏蔽装置
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作者： D·加恩 p·斯卡林 爱尔兰都柏林
一种用于在等离子体处理系统中获得离子能量分布测量值的装置，所述装置包括衬底、多个离子能量传感器和导电外壳，每个离子能量传感器都具有在衬底中设置的相关控制电路，导电外壳设置在衬底中并围绕每个离子能量传感器和相关控制电路... 详细信息
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用于射频电流谱的非侵入式感测的系统和方法
用于射频电流谱的非侵入式感测的系统和方法
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作者： D·加恩 p·斯卡林 爱尔兰都柏林
一种用于射频电流谱的非侵入式感测的系统，包括等离子体处理室、等离子体发生器、其中具有电阻器的分流连接器，其中分流连接器附接在室和发生器之间的接地回路的开口上。
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分析来自等离子体系统的RF信号
分析来自等离子体系统的RF信号
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作者： p·斯卡林 M·霍普金 爱尔兰都柏林
收集表示在频率范围内的来自等离子体系统的信号和噪声的样本。从样本识别对应于频率值F的第一复频域信号分量，在频率值F处发现局部最大信号。这个第一分量被相位调整可变角度θ至预定相位角并被存储。识别对应于表示F的第N级谐波的频... 详细信息
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使用串行化应用的装置登记
使用串行化应用的装置登记
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作者： O·安格尔斯马克 p.佩尔松 J·佩尔松 p·斯卡林 瑞典斯德哥尔摩
本文中公开了一种用于发起和辅助第二装置向物联网（IoT）环境的登记过程的第一装置的方法（100、400）。所述方法包括：获得（110、410）与第二装置关联的登记功能的表示，其中登记功能与至少一个串行化登记应用关联，所述至少一个串... 详细信息
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使用串行化应用的装置登记
使用串行化应用的装置登记
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作者： O·安格尔斯马克 p.佩尔松 J·佩尔松 p·斯卡林 瑞典斯德哥尔摩
本文中公开了一种用于发起和辅助第二装置向物联网（IoT）环境的登记过程的第一装置的方法（100、400）。所述方法包括：获得（110、410）与第二装置关联的登记功能的表示，其中登记功能与至少一个串行化登记应用关联，所述至少一个串... 详细信息
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用于高速检测来自射频等离子体处理设备的射频信号的装置
用于高速检测来自射频等离子体处理设备的射频信号的装置
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作者： M·霍普金斯 p·斯卡林 J·列侬 T·吉尔摩 爱尔兰都柏林
本发明涉及一种用于监测从等离子体处理系统发出的电磁辐射的感测设备，该感测设备包括(i)用于检测时变射频电场的第一探头，(ii)用于检测时变射频磁场的第二探头，和(iii)用于检测调制光发射的光学探头；并且感测设备进一步包括信号处... 详细信息
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一种用于等离子体处理系统中匹配单元的控制器
一种用于等离子体处理系统中匹配单元的控制器
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作者： D·加恩 J·列侬 I·奥利维耶里 p·斯卡林 p.戴利 爱尔兰都柏林
本发明提供了一种匹配单元的控制器，该控制器是与等离子体处理机的匹配单元相结合来工作的。控制器具有主控制器应用程序，并在匹配单元中充当本地主控制器。控制器从输入和输出传感器中收集数据并将数据提供给智能算法。使用该算法的... 详细信息
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用于分析等离子体处理的装置中的两阶段离子电流测量
用于分析等离子体处理的装置中的两阶段离子电流测量
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作者： D·加恩 J·列侬 p·斯卡林 J·道尔 爱尔兰都柏林
一种操作装置以获得等离子体处理系统中的离子能量分布测量的方法，其包括提供用于放置在等离子体处理系统中并暴露于等离子体的衬底，衬底具有设置在其中的离子能量分析器，所述离子能量分析器用于在等离子体处理期间测量衬底表面的离... 详细信息
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分析来自等离子体系统的RF信号
分析来自等离子体系统的RF信号
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作者： p·斯卡林 M·霍普金 爱尔兰都柏林
收集表示在频率范围内的来自等离子体系统的信号和噪声的样本。从样本识别对应于频率值F的第一复频域信号分量，在频率值F处发现局部最大信号。这个第一分量被相位调整可变角度θ至预定相位角并被存储。识别对应于表示F的第N级谐波的频... 详细信息
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等离子体处理的离子能量分析装置
等离子体处理的离子能量分析装置
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作者： p·斯卡林 J·道尔 J·列侬 D·加恩 T·波格斯扬 爱尔兰都柏林
一种用于在等离子体处理系统中获得离子能量分布(IED)测量值的装置，该装置包括用于放置在等离子体处理系统中并暴露于等离子体的基板、布置在基板中用于在等离子体处理期间测量基板表面处的离子能量分布的离子能量分析仪，分析仪包括... 详细信息
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