检索结果-内蒙古大学图书馆

光学精密工程 2013年第6期21卷 1503-1509页

作者：刘泊郭建英孙永全哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院黑龙江哈尔滨150080

考虑利用白光干涉仪进行表面三维形貌测量时压电陶瓷(PZT)的蠕变效应对微位移驱动器位移精度的影响,提出了一种沿参考镜光轴方向提高该驱动器位移精度的方法。系统研究了该驱动器的位移检测回路、PID闭环控制以及蠕变补偿控制;利用光电... 详细信息

考虑利用白光干涉仪进行表面三维形貌测量时压电陶瓷(PZT)的蠕变效应对微位移驱动器位移精度的影响,提出了一种沿参考镜光轴方向提高该驱动器位移精度的方法。系统研究了该驱动器的位移检测回路、PID闭环控制以及蠕变补偿控制;利用光电位置传感器和光学杠杆调节位移检测回路,将压电陶瓷驱动器微位移反馈至控制系统,建立PID闭环控制。充分考虑了PZT蠕变特性对测量过程的影响,建立了"电压蠕变"补偿模型,实现了基于PID闭环控制与蠕变补偿控制相结合的复合控制方法。利用XL-80激光干涉仪测量压电陶瓷驱动器在PID闭环控制和复合控制二种情况下的微位移,实验结果显示前者位移误差为0.007μm,后者位移误差为0.005μm。结果表明该方法可有效克服压电陶瓷迟滞非线性和蠕变对测量结果的影响,满足表面三维形貌测量的高精度要求。

关键词：压电陶瓷位移驱动器 PID闭环控制电压蠕变补偿

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微机控制压电陶瓷微位移驱动器

微机控制压电陶瓷微位移驱动器

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中国仪器仪表学会精密机械学会精密机械系统与元件设计专委会第二届学术会

作者：张雨东上海光机所

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压电陶瓷纳米分辨位移驱动器

压电陶瓷纳米分辨位移驱动器

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作者：陈凡曹庄琪殷澄 215500 江苏省苏州市常熟市高新技术产业开发区湖山路333号同济科技广场1幢504

本发明公开了一种压电陶瓷纳米分辨位移驱动器，包括固定机架、压电波导、负载平台、光电发射探测模块和电源控制模块，压电波导包括压电陶瓷层和其两侧的顶侧金属膜和底侧金属膜，固定机架与顶侧金属膜连接，负载平台与底侧金属膜连接... 详细信息

标准号: CN108322085A

本发明公开了一种压电陶瓷纳米分辨位移驱动器，包括固定机架、压电波导、负载平台、光电发射探测模块和电源控制模块，压电波导包括压电陶瓷层和其两侧的顶侧金属膜和底侧金属膜，固定机架与顶侧金属膜连接，负载平台与底侧金属膜连接，光电发射探测模块包括光发射器、感光成像元件和计算模块，光发射器从顶侧金属膜的一侧向压电波导发射聚焦光并确保激发压电波导中的一个超高阶导模，感光成像元件用于接收包含衰减全反射吸收黑线的反射光，计算模块根据黑线的移动距离确定压电陶瓷层厚度变化量，电源控制模块根据压电陶瓷层厚度变化量控制输出通过顶侧金属膜和底侧金属膜为压电陶瓷层供电。该驱动器结构简单便携，可以1nm分辨精度进行位移驱动。

关键词：金属膜压电陶瓷层波导顶侧压电电源控制模块感光成像元件厚度变化量黑线负载平台固定机架光电发射光发射器计算模块探测模块驱动器结构衰减全反射位移驱动器纳米分辨位移驱动压电陶瓷反射光聚焦光便携导模分辨供电输出发射激发吸收

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一种压电驱动式软体位移驱动器

一种压电驱动式软体位移驱动器

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作者：吴越杨志刚董景石沈燕虎焦晓阳 130012 吉林省长春市前进大街2699号

本实用新型涉及一种压电驱动式软体位移驱动器，包括：第一篏位结构、第一压电振子、伸缩结构、第二压电振子、第二篏位结构和液体，各篏位结构与伸缩结构由柱形的软体隔膜构成，其内部充满液体，压电振子布置于篏位结构与伸缩结构之间... 详细信息

标准号: CN203984273U

本实用新型涉及一种压电驱动式软体位移驱动器，包括：第一篏位结构、第一压电振子、伸缩结构、第二压电振子、第二篏位结构和液体，各篏位结构与伸缩结构由柱形的软体隔膜构成，其内部充满液体，压电振子布置于篏位结构与伸缩结构之间，当第一压电振子在电压作用下发生弯曲回复变形时，第一篏位机构上的厚度减少区发生往复变形，篏位结构的摩擦力发生周期性变化，结合伸缩结构的伸缩变形，形成整机向第一篏位结构方向的运动，当第二压电振子发生弯曲回复变形时，则形成整机向第二篏位结构方向的运动，通过使用压电材料构成软体驱动器，解决了目前软体驱动器所采用功能材料无工业化规模生产的问题。

关键词：压电振子伸缩结构软体驱动器变形结构方向整机回复内部充满液体工业化规模位移驱动器周期性变化电压作用功能材料伸缩变形压电材料压电驱动往复柱形隔膜

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压电陶瓷纳米分辨位移驱动器

压电陶瓷纳米分辨位移驱动器

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作者：陈凡曹庄琪殷澄 215500 江苏省苏州市常熟市高新技术产业开发区湖山路333号同济科技广场1幢504

本实用新型公开了一种压电陶瓷纳米分辨位移驱动器，包括固定机架、压电波导、负载平台、光电发射探测模块和电源控制模块，压电波导包括压电陶瓷层和其两侧的顶侧金属膜和底侧金属膜，固定机架与顶侧金属膜连接，负载平台与底侧金属膜... 详细信息

标准号: CN207939416U

本实用新型公开了一种压电陶瓷纳米分辨位移驱动器，包括固定机架、压电波导、负载平台、光电发射探测模块和电源控制模块，压电波导包括压电陶瓷层和其两侧的顶侧金属膜和底侧金属膜，固定机架与顶侧金属膜连接，负载平台与底侧金属膜连接，光电发射探测模块包括光发射器、感光成像元件和计算模块，光发射器从顶侧金属膜的一侧向压电波导发射聚焦光并确保激发压电波导中的一个超高阶导模，感光成像元件用于接收包含衰减全反射吸收黑线的反射光，计算模块根据黑线的移动距离确定压电陶瓷层厚度变化量，电源控制模块根据压电陶瓷层厚度变化量控制输出通过顶侧金属膜和底侧金属膜为压电陶瓷层供电。该驱动器结构简单便携，可以1nm分辨精度进行位移驱动。

关键词：金属膜压电陶瓷层波导顶侧压电电源控制模块感光成像元件厚度变化量黑线负载平台固定机架光电发射光发射器计算模块探测模块本实用新型驱动器结构衰减全反射位移驱动器纳米分辨位移驱动压电陶瓷反射光聚焦光便携导模分辨供电输出发射激发吸收

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一种压电驱动式软体位移驱动器

一种压电驱动式软体位移驱动器

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作者：吴越杨志刚董景石沈燕虎焦晓阳 130012 吉林省长春市前进大街2699号

本发明涉及一种压电驱动式软体位移驱动器，包括：第一箝位结构、第一压电振子、伸缩结构、第二压电振子、第二箝位结构和液体，各箝位结构与伸缩结构由柱形的软体隔膜构成，其内部充满液体，压电振子布置于箝位结构与伸缩结构之间，当... 详细信息

标准号: CN103997254B

本发明涉及一种压电驱动式软体位移驱动器，包括：第一箝位结构、第一压电振子、伸缩结构、第二压电振子、第二箝位结构和液体，各箝位结构与伸缩结构由柱形的软体隔膜构成，其内部充满液体，压电振子布置于箝位结构与伸缩结构之间，当第一压电振子在电压作用下发生弯曲回复变形时，第一箝位机构上的厚度减少区发生往复变形，箝位结构的摩擦力发生周期性变化，结合伸缩结构的伸缩变形，形成整机向第一箝位结构方向的运动，当第二压电振子发生弯曲回复变形时，则形成整机向第二箝位结构方向的运动，通过使用压电材料构成软体驱动器，解决了目前软体驱动器所采用功能材料无工业化规模生产的问题。

关键词：压电振子伸缩结构软体驱动器变形结构方向整机回复内部充满液体工业化规模位移驱动器周期性变化电压作用功能材料伸缩变形压电材料压电驱动箝位机构往复柱形隔膜

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一种压电驱动式软体位移驱动器

一种压电驱动式软体位移驱动器

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作者：吴越杨志刚董景石沈燕虎焦晓阳 130012 吉林省长春市前进大街2699号

本发明涉及一种压电驱动式软体位移驱动器，包括：第一篏位结构、第一压电振子、伸缩结构、第二压电振子、第二篏位结构和液体，各篏位结构与伸缩结构由柱形的软体隔膜构成，其内部充满液体，压电振子布置于篏位结构与伸缩结构之间，当... 详细信息

标准号: CN103997254A

本发明涉及一种压电驱动式软体位移驱动器，包括：第一篏位结构、第一压电振子、伸缩结构、第二压电振子、第二篏位结构和液体，各篏位结构与伸缩结构由柱形的软体隔膜构成，其内部充满液体，压电振子布置于篏位结构与伸缩结构之间，当第一压电振子在电压作用下发生弯曲回复变形时，第一篏位机构上的厚度减少区发生往复变形，篏位结构的摩擦力发生周期性变化，结合伸缩结构的伸缩变形，形成整机向第一篏位结构方向的运动，当第二压电振子发生弯曲回复变形时，则形成整机向第二篏位结构方向的运动，通过使用压电材料构成软体驱动器，解决了目前软体驱动器所采用功能材料无工业化规模生产的问题。

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压电陶瓷精密控制系统的自适应模糊控制器研究

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压电与声光 2015年第5期37卷 806-809,817页

作者：刘建秀张杨张段芹郑州轻工业学院机电工程学院河南郑州450002

针对压电陶瓷等非线性系统,建立压电陶瓷微精密位移系统模型,并将模糊控制器替换传统的比例、积分和微分(PID)控制器,实现对PID参数的在线自整定。对模糊控制器的控制变量及论域等级等进行了研究及制定,并对其进行MATLAB仿真。实验结果... 详细信息

针对压电陶瓷等非线性系统,建立压电陶瓷微精密位移系统模型,并将模糊控制器替换传统的比例、积分和微分(PID)控制器,实现对PID参数的在线自整定。对模糊控制器的控制变量及论域等级等进行了研究及制定,并对其进行MATLAB仿真。实验结果表明,模糊逻辑控制器比传统PID控制器的响应速度快,超调量小,且控制策略简单易行。

关键词：压电陶瓷模糊控制微定位系统仿真模型位移驱动器

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高准确度、高稳定性、宽范围回转体自动定心系统的研究

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仪器仪表学报 1999年第5期20卷 534-536页

作者：赵维谦谭久彬孙涛车仁生哈尔滨工业大学仪器仪表及测控技术系哈尔滨150001

本文介绍了利用新型微位移驱动器、位移传感器、X—Y弹性工作台等组成的定心系统。该系统利用传感器测得的信号,通过模型处理可同时获得x、y两方向的偏移分量进行偏心调整。准确度分析和实验表明:在200×200μm的调整范围内,该系统... 详细信息

本文介绍了利用新型微位移驱动器、位移传感器、X—Y弹性工作台等组成的定心系统。该系统利用传感器测得的信号,通过模型处理可同时获得x、y两方向的偏移分量进行偏心调整。准确度分析和实验表明:在200×200μm的调整范围内,该系统驱动分辨力优于0.022μm,定心准确度优于0.05μm,定心稳定性优于0.

关键词：自动定心弹性工作台位移驱动器回转体

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光学精密平移器

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光电工程 1992年第1期19卷 1-7页

作者：凌宁官春林陈东红中国科学院光电技术研究所成都610209

本文介绍了一种在平移过程中倾斜误差远小于秒级的光学精密平移器(以下简称精平移器)的工作原理及应用范围,介绍了该器件的作用原理以及附加的位移平衡装置的作用。对各项性能指标的检测方法及其检测结果也进行了阐述。

关键词：光学平移器位移驱动器传感器

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