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传感技术学报 2003年第2期16卷 203-206页

作者：尹春雷李庆军刘淑琴山东科技大学磁悬浮技术研究所济南250031 济南第四建筑集团有限公司济南250031

探讨了非接触式光电位移传感器PSD新的应用方法 ,发射光源和PSD接收光靶相对固定安装 ,被悬浮体悬浮在两者之间 ,其位移变化由球体遮挡光源光斑的大小而检测。讨论了由实时模拟计算芯片AD5 38构成的光电传感器前置放大电路的基本结构和... 详细信息

探讨了非接触式光电位移传感器PSD新的应用方法 ,发射光源和PSD接收光靶相对固定安装 ,被悬浮体悬浮在两者之间 ,其位移变化由球体遮挡光源光斑的大小而检测。讨论了由实时模拟计算芯片AD5 38构成的光电传感器前置放大电路的基本结构和工作原理。并在磁悬浮装置中进行了实验 ,结果表明 ,传感器的精度和快速性均达到了磁悬浮系统的要求。

关键词：位置敏感传感器 PSD 磁悬浮应用 AD538

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位置敏感传感器的标定装置和标定方法

位置敏感传感器的标定装置和标定方法

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作者：黄立华鲍建飞杨宝喜曾爱军任冰强彭雪峰陈贝特黄惠杰 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱

一种位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置的构成包括照明单元、双光楔单元、指向敏感光路单元、位置敏感传感器、数据采集与控制单元和CCD光束监测单元。本发明具有结构简单，操作方便，标定方法准确可靠，可以快速标定位置敏... 详细信息

标准号: CN102519510B

一种位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置的构成包括照明单元、双光楔单元、指向敏感光路单元、位置敏感传感器、数据采集与控制单元和CCD光束监测单元。本发明具有结构简单，操作方便，标定方法准确可靠，可以快速标定位置敏感传感器的响应范围，线性度，精度和动态响应误差等。

关键词：位置敏感传感器标定数据采集与控制标定装置动态响应光路单元响应范围照明单元准确可靠线性度双光监测

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位置敏感传感器的标定装置和标定方法

位置敏感传感器的标定装置和标定方法

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作者：黄立华鲍建飞杨宝喜曾爱军任冰强彭雪峰陈贝特黄惠杰 201800 上海市嘉定区800-211邮政信箱

标准号: CN102519510A

关键词：位置敏感传感器标定数据采集与控制标定装置动态响应光路单元响应范围照明单元准确可靠线性度双光监测

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用位置敏感传感器进行位移测试的技术研究

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测试技术学报 2002年第2期16卷 127-131页

作者：任树梅蒋圣平郝晓剑华北工学院电子工程系山西太原030051

目的　研究位置敏感传感器在位移测试中的优化应用 .方法　从暗电流和背景光的角度进行了分析 ,简化了电路和光路 .结果　利用该方法 ,设计了一套位移测试系统 .结论　所设计的系统正确可用 ,弥补了用位置敏感传感器作位移测试常见的不足 .

关键词：位置敏感传感器位移测试暗电流背景光 PSD 工作原理

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光源对位置敏感传感器定位精度的影响

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湖北汽车工业学院学报 2010年第2期24卷 37-40页

作者：李康宣荣喜张鹤鸣胡辉勇舒斌宋建军西安电子科技大学微电子学院陕西西安710071

介绍了位置敏感传感器的定位原理,研究了光源对其探测精度的影响。利用有限元分析软件FlexPDE对PSD数学模型进行模拟仿真,结果表明:光斑的半径与光斑所落的位置是影响定位精度的主要因素。

关键词：位置敏感传感器光斑有限元分析

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基于一维位置敏感传感器的引导线缝位置识别装置

基于一维位置敏感传感器的引导线缝位置识别装置

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作者：周冠雄魏燕定许俊龙曹振波曹洪才陈波扬周豪杨德亮吕存养郭吉丰 310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

本实用新型公开了一种基于一维位置敏感传感器的引导线缝位置识别装置。包括圆筒针织布剖布机械装置；还包括光源产生装置、引导线缝信号识别单元以和信号处理单元；其中光源产生装置水平放置在圆筒布内，剖布刀片的正上方，光源产生装... 详细信息

标准号: CN201459488U

本实用新型公开了一种基于一维位置敏感传感器的引导线缝位置识别装置。包括圆筒针织布剖布机械装置；还包括光源产生装置、引导线缝信号识别单元以和信号处理单元；其中光源产生装置水平放置在圆筒布内，剖布刀片的正上方，光源产生装置发出的光束正对布料上的引导线缝；引导线缝信号识别单元放置在圆筒布的外部，并且也水平放置使光源发出的光正对一维位置敏感传感器的表面，信号处理单元与主控制器连接。本实用新型利用一维位置敏感传感器的光电效应，检测精度高，并且能够在较短的时间内检测到引导线缝，计算出引导线缝的位置，做到快速响应性跟良好的精确性。将多块PSD接插在固定插座上，识别视角范围宽广，无死区。处理电路跟程序流程简单。

关键词：位置敏感传感器光源产生装置引导信号处理单元信号识别快速响应性程序流程处理电路固定插座光电效应机械装置视角范围位置识别主控制器针织布正上方刀片检测死区布料光源连接外部

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基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统

基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统

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作者：张鸣朱煜刘召胡金春徐登峰杨开明尹文生穆海华 100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室

一种基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统，针对光刻机硅片台、掩膜台的定位而发明。该系统主要包括半导体激光器、光纤准直器、光纤、光纤分路器、滤光片、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到... 详细信息

标准号: CN102410836A

一种基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统，针对光刻机硅片台、掩膜台的定位而发明。该系统主要包括半导体激光器、光纤准直器、光纤、光纤分路器、滤光片、三个PSD传感器及信号处理系统。半导体激光器发射的激光照射到光纤准直器上，后经光纤分路器分三路分别传输，经滤光片滤除背景光后由PSD传感器接收，激光光斑在三个PSD传感器上的位置经信号处理系统处理得到空间六自由度物体的位姿。该定位系统采用非接触式测量，避免了线缆对平台运动精度的影响，同时具有定位精度高、响应快、结构简单及成本低等特点。

关键词：传感器半导体激光器信号处理系统光纤分路器光纤准直器六自由度滤光片结构简单及成本位置敏感传感器物体定位系统定位精度定位系统非接触式激光光斑激光照射平台运动背景光光刻机硅片线缆掩膜光纤发射响应

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一种基于共振腔增强的位置敏感传感器

一种基于共振腔增强的位置敏感传感器

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作者：李建军张令宇 100124 北京市朝阳区平乐园100号

一种基于共振腔的位置敏感传感器，属于半导体光电子领域。从上而下包括上电极、增透膜、上布拉格反射镜、谐振腔、下布拉格反射镜、N型衬底层、下公共电极。其中上布拉格反射镜由单层厚度分别为1/4谐振腔谐振波长的低折射率材料层和高... 详细信息

标准号: CN112259625B

一种基于共振腔的位置敏感传感器，属于半导体光电子领域。从上而下包括上电极、增透膜、上布拉格反射镜、谐振腔、下布拉格反射镜、N型衬底层、下公共电极。其中上布拉格反射镜由单层厚度分别为1/4谐振腔谐振波长的低折射率材料层和高折射率材料层交替组成，下布拉格反射镜由单层厚度分别为1/4谐振腔谐振波长的低折射率材料层和高折射率材料层交替组成。本发明通过上布拉格反射镜、谐振腔以及下布拉格反射镜形成的共振增强吸收结构，实现原材料消耗相对较少、抗干扰能力更强、响应速度更快的位置敏感传感器。

关键词：布拉格反射镜谐振腔低折射率材料层高折射率材料层位置敏感传感器谐振波长单层半导体光电子抗干扰能力原材料消耗从上而下公共电极共振增强吸收结构衬底层共振腔增透膜电极响应

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基于位置敏感传感器的运动参数测量系统的标定方法、测量系统

基于位置敏感传感器的运动参数测量系统的标定方法、测量系统

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作者：张雪静曹峰梅肖亮 100081 北京市海淀区中关村南大街5号

一种基于位置敏感传感器的运动参数测量系统的标定方法，包括如下步骤，1)确定位置敏感传感器的有效探测区域；2)在位置敏感传感器的近平面和远平面分别选取若干对相对于中心旋转对称点作为取样点；其中，所述近平面和远平面分别指位置... 详细信息

标准号: CN102901844B

一种基于位置敏感传感器的运动参数测量系统的标定方法，包括如下步骤，1)确定位置敏感传感器的有效探测区域；2)在位置敏感传感器的近平面和远平面分别选取若干对相对于中心旋转对称点作为取样点；其中，所述近平面和远平面分别指位置敏感传感器有效探测区域沿轴向的最远端和最近端的平面；3)将标定用光源依次设置于每一取样点位置，记录每一取样点的位置坐标以及设置于该位置的光源在位置敏感传感器上的输出坐标，并建立二者之间的对应关系，形成标定数据库。本发明的标定方法自动化程度高，标定后可使用系统对不同纵深位置上进行精确的三维测量。本发明同时还提供一种基于位置敏感传感器的运动参数测量系统。

关键词：位置敏感传感器标定取样点有效探测区域测量系统运动参数光源自动化程度三维测量位置坐标旋转对称纵深位置轴向数据库

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基于二维位置敏感传感器的空间六自由度物体定位系统

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作者：张鸣朱煜刘召胡金春徐登峰杨开明尹文生穆海华 100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室

标准号: CN102410836B

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