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文字说明：

T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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27 篇 专利
3 篇 学位论文
1 篇 会议

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31 篇 电子文献
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学科分类号

4 篇 工学
- 2 篇 材料科学与工程（可...
- 2 篇 化学工程与技术
- 1 篇 机械工程
- 1 篇 电子科学与技术（可...
2 篇 理学
- 1 篇 物理学
- 1 篇 化学

主题

4 篇 光刻蚀技术
2 篇 tio2纳米管
2 篇 阳极氧化
2 篇 微纳多级结构
1 篇 微阵列电极
1 篇 诱导
1 篇 聚甲基丙烯酸甲脂...
1 篇 间充质干细胞
1 篇 生物质谱
1 篇 复合导电光刻胶
1 篇 电化学传感
1 篇 间充质干细胞诱导
1 篇 聚甲基丙烯酸甲脂...
1 篇 激光加工
1 篇 生物相容性

机构

6 篇 四川农业大学
5 篇 中国计量学院
4 篇 西南交通大学
4 篇 江南大学
3 篇 华南理工大学
2 篇 上海航天电子通讯...
2 篇 东华大学
1 篇 复旦大学
1 篇 广州钰芯智能科技...
1 篇 华东师范大学
1 篇 武汉大学
1 篇 北京工业大学

作者

6 篇 吴贺君
6 篇 王淑瑶
6 篇 陈淑娟
6 篇 何利
6 篇 叶劲松
6 篇 刘耀文
6 篇 李美良
4 篇 吴倩
3 篇 李宗涛
3 篇 时菲菲
3 篇 丁鑫锐
3 篇 王雁茹
3 篇 陈丘
3 篇 刘晓亚
3 篇 赵春柳
3 篇 王小明
3 篇 汤勇
3 篇 邓文军
3 篇 万珍平
2 篇 凃程旭

语言

31 篇 中文

检索条件"主题词=光刻蚀技术"

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排序：

微流控动水注浆可视化试验系统与试验方法

微流控动水注浆可视化试验系统与试验方法

引用

作者：翁磊吴志军刘泉声马梁储昭飞张皓量 430072 湖北省武汉市武昌区珞珈山街道八一路299号

本申请公开了微流控动水注浆可视化试验系统与试验方法。试验系统包括浆液注入泵、水流注入泵、裂隙芯片、显微装置、拍照装置、浆液管路、水流管路、出液管路、传感器和数据采集装置；浆液注入泵和水流注入泵为相互独立控制结构，通过... 详细信息

标准号: CN115791781A

本申请公开了微流控动水注浆可视化试验系统与试验方法。试验系统包括浆液注入泵、水流注入泵、裂隙芯片、显微装置、拍照装置、浆液管路、水流管路、出液管路、传感器和数据采集装置；浆液注入泵和水流注入泵为相互独立控制结构，通过设置不同的注浆压力和动水流量值，模拟不同动水注浆工况。本发明的裂隙芯片由聚二甲基硅氧烷PDMS材料制成，利用光刻蚀技术可制作具有一定几何性状(深度、宽度及粗糙度)的裂隙网路结构，实现多工况下裂隙动水注浆试验研究。拍照装置搭载于显微装置上，可对裂隙芯片动水注浆全过程微观图像进行微米级空间尺度、毫秒级时间尺度的实时观测，为研究动水注浆流动扩散及封堵微观机制提供高时空分辨率试验平台。

关键词：裂隙动水注浆注入泵拍照装置试验系统显微装置芯片聚二甲基硅氧烷PDMS 高时空分辨率数据采集装置光刻蚀技术出液管路独立控制几何性状浆液管路空间尺度时间尺度实时观测试验平台试验研究水流管路网路结构微观机制微观图像注浆压力传感器粗糙度多工况可视化微流控微米级封堵扩散试验流动制作申请研究

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一种多金属氧酸盐巨型表面活性剂及其制备方法和应用

一种多金属氧酸盐巨型表面活性剂及其制备方法和应用

引用

作者：刘浩李向前 201620 上海市松江区松江新城人民北路2999号

本发明提供了一种多金属氧酸盐巨型表面活性剂及其制备方法和应用，属于功能材料技术领域。本发明提供的多金属氧酸盐巨型表面活性剂以多金属氧酸盐(POM)为头部，疏水性的聚苯乙烯(PS)为尾部，相比于已经报道的以有机部分如聚倍半硅氧烷... 详细信息

标准号: CN114213669A

本发明提供了一种多金属氧酸盐巨型表面活性剂及其制备方法和应用，属于功能材料技术领域。本发明提供的多金属氧酸盐巨型表面活性剂以多金属氧酸盐(POM)为头部，疏水性的聚苯乙烯(PS)为尾部，相比于已经报道的以有机部分如聚倍半硅氧烷(POSS)，富勒烯(C60)为头部的巨型表面活性剂，本发明设计合成的巨型表面活性剂的头部与尾部之间具有更大的相互作用斥力，该相互作用斥力使其在超薄膜状态下发生的相分离尺寸为10nm左右。同时，所述多金属氧酸盐巨型表面活性剂在发生相分离之后，其与硅基底有很高的刻蚀对比度，可以通过光刻蚀技术对其进行刻蚀，从而能够应用于半导体行业中单个传感器的制造。

关键词：表面活性剂多金属氧酸盐相分离斥力刻蚀聚苯乙烯制备方法和应用功能材料技术聚倍半硅氧烷半导体行业单个传感器光刻蚀技术设计合成状态下发超薄膜富勒烯疏水性硅基应用制造

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一种多金属氧酸盐巨型表面活性剂及其制备方法和应用

一种多金属氧酸盐巨型表面活性剂及其制备方法和应用

引用

作者：刘浩李向前 201620 上海市松江区松江新城人民北路2999号

标准号: CN114213669B

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一种太赫兹级折叠波导行波管的电子束孔成形装置及方法

一种太赫兹级折叠波导行波管的电子束孔成形装置及方法

引用

作者：周义符容王立春 201109 上海市闵行区中春路1777号

本发明公开了一种太赫兹级折叠波导行波管的电子束孔成形装置及方法，采用光刻蚀技术在固丝部上形成限位槽，通过阶段性的槽宽渐变实现成孔丝的限位及防摆动，保证电子束孔的位置精度以及高平行度；通过重力环将成孔丝绷直，且成孔丝无... 详细信息

标准号: CN111146051B

本发明公开了一种太赫兹级折叠波导行波管的电子束孔成形装置及方法，采用光刻蚀技术在固丝部上形成限位槽，通过阶段性的槽宽渐变实现成孔丝的限位及防摆动，保证电子束孔的位置精度以及高平行度；通过重力环将成孔丝绷直，且成孔丝无弹性形变，保证电子束孔的高直线度；在基板表面通过光刻胶形成高度限制台阶，辅以微电铸、光刻等半导体工艺最终形成电子束孔，保证电子束孔具有高的尺寸精度。

关键词：电子束孔成孔半导体工艺光刻蚀技术成形装置弹性形变高度限制基板表面防摆动光刻胶平行度微电铸限位槽行波管直线度重力环折叠保证渐变绷直波导槽宽固丝光刻丝无限位

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一种纳米金修饰的多通道ITO阵列电极芯片及其在电化学免疫传感器中的应用

一种纳米金修饰的多通道ITO阵列电极芯片及其在电化学免疫传感器...

引用

作者：奚亚男胡淑锦 510000 广东省广州市南沙区进港大道8号1104房

本发明提供了一种纳米金修饰的多通道ITO阵列电极芯片及其在电化学免疫传感器中的应用。本发明利用光刻蚀技术并结合三电极系统，制备多通道ITO电极，再采用电沉积方法修饰纳米金粒子，获得多通道ITO阵列电极芯片。本发明的多通道ITO阵... 详细信息

标准号: CN112345610A

本发明提供了一种纳米金修饰的多通道ITO阵列电极芯片及其在电化学免疫传感器中的应用。本发明利用光刻蚀技术并结合三电极系统，制备多通道ITO电极，再采用电沉积方法修饰纳米金粒子，获得多通道ITO阵列电极芯片。本发明的多通道ITO阵列电极芯片可应用于电化学免疫传感器，具体可用于抗坏血酸、多巴胺等生物小分子和亚硝酸盐等物质的快速检测，可实现多组分物质的同时测定。

关键词：多通道阵列电极芯片电化学免疫传感器多组分物质光刻蚀技术纳米金粒子纳米金修饰三电极系统生物小分子抗坏血酸快速检测亚硝酸盐电沉积多巴胺可用修饰制备应用

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光刻微阵列电极制备及其电化学传感应用研究

光刻微阵列电极制备及其电化学传感应用研究

引用

作者：吴倩江南大学

学位级别：硕士

电化学生物传感器由识别元件、电极和信号放大装置构成。其中,电极作为换能装置,对电化学传感器的性能具有重要影响。然而,传统的电极材料为二维平面结构,比表面积小,表面粗糙度低,不利于高性能传感器的制备。目前,解决这一问题的常用... 详细信息

电化学生物传感器由识别元件、电极和信号放大装置构成。其中,电极作为换能装置,对电化学传感器的性能具有重要影响。然而,传统的电极材料为二维平面结构,比表面积小,表面粗糙度低,不利于高性能传感器的制备。目前,解决这一问题的常用办法为在电极表面构建三维结构的传感涂层或直接构建具有微纳结构的电极材料。制备三维传感涂层的方法往往存在重现性差、工艺复杂及与基材附着力差等问题,不易实现工业化生产和应用普及。相对而言,构建微纳结构电极材料的方式更具有重现性及普及性,应用前景更大。毋庸置疑,微纳结构的选择是实现既定目标的基础。在多种微纳结构中,微阵列结构凭借其可控性强、制备方法多样化、批次差异性小等诸多优点受到研究者们的广泛关注。其制备方法通常有光刻蚀法、电泳沉积法、水热法等,其中,光刻蚀技术具有更好的工业基础,产业链完备,具有实现商品化的巨大潜力,是目前最有效的制备方法。因此,本文以光刻胶为载体,基于光刻蚀技术设计制备了一系列具有微纳结构的微阵列电极,并采用后续喷金（两步法）或掺杂导电填料（一步法）的方式赋予其作为电极元件的导电性。三维微纳结构的引入,大大增加了电极材料的比表面积与粗糙度,成功构建了具有高电化学活性的电极材料/传感模型。具体研究内容分为以下几个部分:1、光刻微阵列电极制备高长径比三维立体电极及其应用首先选用化学增幅型光刻胶SU-8 2000系列作为单一光刻胶体系,在通过正交实验明确曝光能量等影响因素的最佳参数的基础上设计制备了一系列具有不同直径、不同长径比的三维微阵列结构,对其微观形貌进行表征,证明了三维微阵列结构的成功制备。由于电极材料本身对导电性的要求较高,而聚合物层为电绝缘材料,需采用真空溅射喷金法后续引入导电纳米金层,对金/微阵列的电化学性能进行表征,结果表明:具有三维几何立体结构的金/微阵列电极具有超高的电化学响应电流,在比表面积提升至平面电极三倍的条件下,响应电流可增大至13倍（优化条件下）,展现了三维结构在构建电极材料中的固有优势。最后,为了验证该电极材料的实际应用性,以原位电化学还原铜纳米粒子的方法在其表面构筑了简单的过氧化氢无酶传感模型,该传感器展现出对于过氧化氢超高的灵敏度(310.6μA mM-1 cm-2,R2=0.999),且具有良好的传感性能。2、石墨烯/SU-8复合导电光刻胶的制备及传感应用众所周知,电极材料的导电性是其重要性质之一。上一章中采用的SU-8 2000单一光刻胶体系为电绝缘性,在制备电极材料时需进行二次喷金处理,增加了工艺步骤及对使用设备的要求。复合材料的兴起恰好解决了这一问题,为一步法直接制备导电微纳结构提供了新的思路。因此,本章选用将导电填料（石墨烯）掺入化学增幅型光刻胶SU-8 2000的方法制备具有导电性的复合导电光刻胶,研究了石墨烯含量对体系导电性及分散性的影响,发现当石墨烯含量越高时体系的导电性越好,但分散性变差,取两者相对平衡的复合光刻胶（4wt%）进行性能研究,结果表明复合光刻胶在具有良好导电性的同时仍然保留了光刻胶的图案化功能,分辨率可达10μm。采用具有导电微纳结构的电极元件作为换能元件构建无酶传感模型（方法同上）,该传感器展现了良好的传感性能,验证了一步法制备导电图案/电极材料的可行性。3、AgNW/GR/SU-8复合导电光刻胶制备及其传感应用当体系中仅含有片层结构的导电填料时,填料间相互堆叠形成导电网络的效率较低。研究表明,适当引入少量的一维填料可以促进导电网络的形成,这是由于一维填料能够在二维填料间作为连接搭桥的“桥梁”,使体系间连接更加紧密,得到导电性更好的复合材料,有利于制备具有更高电化学活性的电极材料。因此,本章以银纳米线（AgNW）和石墨烯（GR）作为共同填料掺入SU-8光刻胶中,制备了一维/二维填料协同作用的复合光刻胶体系,研究了导电填料含量对体系的影响。通过对其导电性和分散性的表征,发现当石墨烯为3wt%,银纳米线为0.75wt%时复合体系的导电性和分散性达到平衡,且导电性相对GR/SU-8体系有大幅度提高,证明了一维线性材料在二维片层结构中的“桥梁”作用。对其进行性能研究,结果表明该体系同样具备光刻胶的图案化功能,分辨率可达15μm。采用具有微纳结构的电极材料作为换能元件构建无酶传感模型（方法同上）,该传感器具有较GR/SU-8体系更高的灵敏度及良好的稳定性、重复性、重现性,验证了一步法制备混合导电体系制备高性能电极材料及导电图案的可行性。

关键词：复合导电光刻胶光刻蚀技术微阵列电极电化学传感

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一种太赫兹级折叠波导行波管的电子束孔成形装置及方法

一种太赫兹级折叠波导行波管的电子束孔成形装置及方法

引用

作者：周义符容王立春 201109 上海市闵行区中春路1777号

标准号: CN111146051A

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一种纳米金属合金钞

一种纳米金属合金钞

引用

作者：不公告发明人 213149 江苏省常州市武进区滆湖农场河头村委潘家村13号

本发明公开了一种纳米金属合金钞，包括置有：是将双金属合金{贵金属和非贵金属}纳米晶粒材料/或者双金属合金{非贵金属和非贵金属}纳米颗粒粉体，采纳现代电子显微技术等微观表征和操纵技术；可结合光刻蚀技术或电子束刻蚀技术都能与... 详细信息

标准号: CN111407049A

本发明公开了一种纳米金属合金钞，包括置有：是将双金属合金{贵金属和非贵金属}纳米晶粒材料/或者双金属合金{非贵金属和非贵金属}纳米颗粒粉体，采纳现代电子显微技术等微观表征和操纵技术；可结合光刻蚀技术或电子束刻蚀技术都能与纳米粒子自组装技术结合使用；使用高级计算机设计/制造技术和现有工厂化生产线的设备和超精密电子装置；应用高级的计算机设计/制造系统、目标设计技术、计算机模拟技术和组装技术等，高速标准机制成型而得到的超强度、智能、抗腐蚀双金属合金纳米材质的纳米金属合金钞的主体，内置《纳米致密膜条芯片》结合《纳米材料储存智能识别+量子数据信息智能密钥》等制造而成整体的成套件产品。

关键词：双金属合金非贵金属纳米金属合金电子束刻蚀技术计算机模拟技术电子显微技术工厂化生产线纳米晶粒材料纳米颗粒粉体高级计算机光刻蚀技术计算机设计贵金属电子装置高速标准技术结合量子数据目标设计纳米材料纳米材质纳米粒子微观表征信息智能制造系统智能识别超精密成套件抗腐蚀致密膜自组装密钥内置成型制造组装储存芯片智能应用

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一种三维微纳结构导电电极元件的制备方法

一种三维微纳结构导电电极元件的制备方法

引用

作者：李小杰吴倩魏玮刘仁刘晓亚 214122 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号

本发明公开了一种三维微纳结构电极元件的制备方法，属于光刻蚀技术领域及电化学传感领域。该制备方法主要包括以下内容：将复合导电光刻胶涂布于基材表面，利用光刻蚀技术制备具有三维微纳结构电极元件，所述复合导电光刻胶的主要成分... 详细信息

标准号: CN110333274A

本发明公开了一种三维微纳结构电极元件的制备方法，属于光刻蚀技术领域及电化学传感领域。该制备方法主要包括以下内容：将复合导电光刻胶涂布于基材表面，利用光刻蚀技术制备具有三维微纳结构电极元件，所述复合导电光刻胶的主要成分包括光刻胶混合体系、石墨烯GR、银纳米线AgNW。不仅保留了光刻胶的图案化功能，还具有更为优良的导电导热性，能够实现导电微纳结构的可控制备，且制备方法简单，成本低廉。

关键词：制备微纳结构光刻胶导电光刻蚀技术电极元件三维复合导电导热性光刻胶涂布电化学传感领域混合体系基材表面银纳米线可控制石墨烯图案化保留

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具有表面微结构可降解形状记忆高分子血管支架的制备方法

具有表面微结构可降解形状记忆高分子血管支架的制备方法

引用

作者：周绍兵卢柳璇刘典龚韬赵坤 611756 四川省成都市高新西区西部园区西南交通大学科学技术发展研究院

本发明公开了一种具有表面微结构可降解形状记忆高分子血管支架的制备方法，选用可降解的形状记忆高分子材料作为血管支架的基底材料；利用光刻蚀技术制得表面具有微图形的硅片模板；接着将熔融状态的形状记忆大分子单体材料浇注在模板... 详细信息

标准号: CN106110398B

本发明公开了一种具有表面微结构可降解形状记忆高分子血管支架的制备方法，选用可降解的形状记忆高分子材料作为血管支架的基底材料；利用光刻蚀技术制得表面具有微图形的硅片模板；接着将熔融状态的形状记忆大分子单体材料浇注在模板上，在一定的外界刺激下预聚单体交联，进而得到具有形状记忆效应的表面具有微图形的聚合物片，最后将该聚合物微图案基底通过卷曲方式制备成管状，获得目标产物具有诱导仿生微图形表面的形状记忆高分子血管支架。本发明采用了可降解的形状记忆高分子材料通过图案化的材料来控制细胞的生长行为，进而仿生形成血管结构，促进新生血管的生成。

关键词：血管支架可降解微图形形状记忆高分子材料形状记忆高分子制备形状记忆效应表面微结构大分子单体光刻蚀技术材料浇注基底材料聚合物片目标产物熔融状态外界刺激新生血管形状记忆血管结构聚合物图案化微图案卷曲硅片基底交联预聚诱导细胞生长

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