检索结果-内蒙古大学图书馆

制程设备与表面贴装技术国内SMT业界好戏连台

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世界产品与技术 2001年第7期 39-41页

作者：天风

2001年5月11日到6月8日,在短短不到一个月的时间里,国内SMT业界举办的大型活动一个接着一个.

关键词：表面贴装技术制程设备集成电路

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半导体加工工艺和半导体制程设备

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文渊（中学版） 2019年第10期 256-257页

作者：张旭光中芯国际集成电路(天津)有限公司天津 300110

自从我国实行改革并对外开放之后,社会各行各业都取得了卓越的进步.尤为显著的是社会经济及文化,在当今形势下都取得了很大程度的发展.本文在新时代的经济文化背景下,对半导体的加工技术和设备的若干方面进行了细致的分析和探究,希望能... 详细信息

自从我国实行改革并对外开放之后,社会各行各业都取得了卓越的进步.尤为显著的是社会经济及文化,在当今形势下都取得了很大程度的发展.本文在新时代的经济文化背景下,对半导体的加工技术和设备的若干方面进行了细致的分析和探究,希望能够在此过程中,了解当前半导体行业的发展形势,为其提供有效的建议并对未来的发展提供方向.本文主要对半导体的有关内容进行了分析,对半导体制作工艺及其设备进行了深入的探讨和研究.

关键词：半导体加工工艺制程设备

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Manz发布业界产出量最快的湿制程设备加快cSi生产制程整合

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电子工业专用设备 2012年第5期41卷 61-62页

高科技产业整合解决方案供应商Manz将参展SNEC2012第六届国际太阳能产业及光伏工程（上海）展览会暨论坛（展位：E3馆，310），届时将展示其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备：IPSGCEI4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂... 详细信息

高科技产业整合解决方案供应商Manz将参展SNEC2012第六届国际太阳能产业及光伏工程（上海）展览会暨论坛（展位：E3馆，310），届时将展示其最新的晶体硅太阳能电池湿制程设备：IPSGCEI4800。该设备主要用于去除晶片背部及边缘的高掺杂层，进而产生化学边缘隔离（CEI），还能去除之前扩散过程中在晶片正面生成的磷硅玻璃（PSG）。

关键词：制程设备产业整合 cSi 产出量晶体硅太阳能电池生产太阳能产业扩散过程

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半导体工艺制程设备及气体置换方法

半导体工艺制程设备及气体置换方法

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作者：刘强杨平 200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室

本发明提出了一种半导体工艺制程设备及气体置换方法，该设备包括：晶圆传输区域，其外壁的前端面开设一用于连通晶圆盒的第一窗口，气体交换区域，用于防止晶圆盒内非工艺气体进入晶圆传输区域，并置换出晶圆盒内的非工艺气体，其固定... 详细信息

标准号: CN116631921A

本发明提出了一种半导体工艺制程设备及气体置换方法，该设备包括：晶圆传输区域，其外壁的前端面开设一用于连通晶圆盒的第一窗口，气体交换区域，用于防止晶圆盒内非工艺气体进入晶圆传输区域，并置换出晶圆盒内的非工艺气体，其固定于晶圆传输区域的内壁上；气体交换区域横跨第一窗口，围成气体交换区域的外壁上，开设第二窗口，第二窗口位于第一窗口的后侧；气体交换区域的外壁上开设用于气体排气口、用于通入惰性气体的气体进气口；前封板和后封板，前封板用于密封第一窗口，后封板用于密封第二窗口，均位于气体交换区域内；气缸一、气缸二和气缸三。本发明可防止晶圆盒内非工艺气体进入晶圆传输区域，并能置换晶圆盒内的非工艺气体。

关键词：气体交换晶圆盒传输区域工艺气体晶圆气缸后封板前封板外壁密封置换半导体工艺气体进气口气体排气口惰性气体气体置换制程设备前端面内壁连通横跨

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石英舟用于半导体器件制程设备

石英舟用于半导体器件制程设备

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作者：郑涛李建斌蔡彬陈佳思 324000 浙江省衢州市柯城区航埠镇通航一路3号1幢、2幢、3幢

本发明公开了石英舟用于半导体器件制程设备，包括支撑结构、一对调节装置和多根槽棒，一对调节装置固定连接于支撑结构两侧，多个槽棒传动连接于一对调节装置；调节装置包括固定连接的限位组件一和限位组件二，限位组件一与支撑结构固... 详细信息

标准号: CN117976587A

本发明公开了石英舟用于半导体器件制程设备，包括支撑结构、一对调节装置和多根槽棒，一对调节装置固定连接于支撑结构两侧，多个槽棒传动连接于一对调节装置；调节装置包括固定连接的限位组件一和限位组件二，限位组件一与支撑结构固定连接；限位组件一包括内弧和外弧，内弧和外弧之间形成有下部滑动轨道；限位组件二包括内环和外环，外环与外弧固定连接，外环和内环间固定连接有多个分道块，使得内环和外环之间形成多个上部滑动轨道，内环和内弧上均滑动连接多个止动组件；槽棒端部贯穿对应的下部滑动轨道和上部滑动轨道，以使得槽棒沿下部滑动轨道或上部滑动轨道移动，止动组件跟随槽棒移动，对槽棒抵接，以此形成多个不同规格的晶圆放置空间。

关键词：滑动轨道限位组件槽棒调节装置内环支撑结构内弧外弧止动组件半导体器件传动连接放置空间滑动连接制程设备分道块石英舟移动抵接根槽晶圆贯穿

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一种机台及晶圆制程设备

一种机台及晶圆制程设备

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作者：林宏祥 230000 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

本申请公开了一种机台及晶圆制程设备，机台包括本体和调节部。本体用于对晶圆进行承托；调节部设置于所述本体，所述调节部利用真空吸力对制程中的晶圆的水平度进行调节。本申请中，利用调节部的调节可有效改善因抽气装置对等离子体气... 详细信息

标准号: CN115602516A

本申请公开了一种机台及晶圆制程设备，机台包括本体和调节部。本体用于对晶圆进行承托；调节部设置于所述本体，所述调节部利用真空吸力对制程中的晶圆的水平度进行调节。本申请中，利用调节部的调节可有效改善因抽气装置对等离子体气流的抽气效率不同，而导致等离子体在机台上分布不均的现象，从而有效解决晶圆的水平度不佳的问题。

关键词：晶圆机台水平度等离子体等离子体气流抽气效率抽气装置有效解决真空吸力制程设备承托在机制程申请

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半导体Cu制程设备零部件表面双层附着物的清洗方法

半导体Cu制程设备零部件表面双层附着物的清洗方法

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作者：王阳阳许义杰杨科陶近翁陶岳雨 200120 上海市浦东新区新元南路600号3幢201室

本发明提供了一种半导体Cu制程设备零部件表面双层附着物的清洗方法，将待清洗部件放置于清洗容器中：加入比例为20％～30％的强碱，再加入比例为70％～80％的90～100℃的热水，溶液覆盖部件即可，热水与强碱形成高温碱液并与零部件表... 详细信息

标准号: CN114351154A

本发明提供了一种半导体Cu制程设备零部件表面双层附着物的清洗方法，将待清洗部件放置于清洗容器中：加入比例为20％～30％的强碱，再加入比例为70％～80％的90～100℃的热水，溶液覆盖部件即可，热水与强碱形成高温碱液并与零部件表面第一层附作物反应，能有效将表面双层附着物与零部件脱离，浸泡10min～30min，使其充分反应至表面附着物完全去除，后用弱酸液浸泡3～5s，再用纯水清洗烘干。本发明的清洗方法，能有效快速去除部件表面的双层附着物，不损伤部件基材，提高部件的清洗效率，增加部件的使用寿命及使用效果，且方法简单，易于实施。

关键词：附着物强碱零部件表面浸泡清洗表面附着物部件表面部件基材纯水清洗覆盖部件高温碱液快速去除清洗部件清洗容器清洗效率使用寿命增加部件制程设备第一层附作物弱酸液烘干去除半导体零部件损伤脱离

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一种液晶显示屏的制程设备及其制程工艺

一种液晶显示屏的制程设备及其制程工艺

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作者：沈晓锋张海中沈晓慧 518000 广东省深圳市龙华区福城街道茜坑社区福庭工业区8号501

本申请涉及一种液晶显示屏的制程设备及其制程工艺，其包括支撑装置，支撑装置包括筒体、网板和支撑板，筒体为矩形筒状，网板一侧壁与筒体内壁垂直固定连接，且网板与筒体的下表面平行，支撑板一侧壁与网板远离筒体的侧壁固定连接，支... 详细信息

标准号: CN112051679A

本申请涉及一种液晶显示屏的制程设备及其制程工艺，其包括支撑装置，支撑装置包括筒体、网板和支撑板，筒体为矩形筒状，网板一侧壁与筒体内壁垂直固定连接，且网板与筒体的下表面平行，支撑板一侧壁与网板远离筒体的侧壁固定连接，支撑板剩余一侧壁与筒体侧壁固定连接，且支撑板从远离网板的一侧到靠近网板的侧壁逐渐向下倾斜；支撑板上表面设置有用于传送素玻璃的传送组件；传送组件的传送末端设置有用于对素玻璃进行喷淋的喷淋组件；网板上表面设置有用于对素玻璃进行支撑传送的转动组件，本申请具有提高液晶显示屏成品质量的效果。

关键词：网板支撑板筒体素玻璃液晶显示屏传送组件支撑装置传送侧壁垂直固定连接支撑板上表面矩形筒状喷淋组件筒体侧壁筒体内壁向下倾斜制程设备转动组件上表面下表面喷淋制程申请平行支撑

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一种电润湿显示器件液面下精密对位与贴合的制程设备和方法

一种电润湿显示器件液面下精密对位与贴合的制程设备和方法

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作者：唐彪周蕤郭媛媛周国富 510631 广东省广州市大学城华南师范大学理五栋彩色动态电子纸显示技术研究所

本发明公开了一种电润湿显示器件液面下精密对位与贴合的制程设备和方法，所述制程设备和方法适用于电润湿显示制程，所述设备包括用于放置下基板的水槽、用于输送上基板的传送带、用于吸附上基板的平板式吸附头、用于上基板、下基板进... 详细信息

标准号: CN104267494B

本发明公开了一种电润湿显示器件液面下精密对位与贴合的制程设备和方法，所述制程设备和方法适用于电润湿显示制程，所述设备包括用于放置下基板的水槽、用于输送上基板的传送带、用于吸附上基板的平板式吸附头、用于上基板、下基板进行定位的定位CCD摄像机和照明系统，所述平板式吸附头的下表面为工作面，所述工作面上设有阵列式吸附孔且所述吸附孔连通到真空管，所述平板式吸附头的工作面周沿设有一环形的压合边，所述压合边将上述的吸附孔环绕在其圈内。该种液面下精密对位与贴合的制程设备在应用时具有生产效率高、应用方便等现有技术所不具备的优点。

关键词：制程设备平板式上基板吸附孔吸附头精密对位电润湿下基板贴合真空管水槽传送带生产效率显示器件照明系统下表面压合边阵列式吸附压合液面制程种液周沿连通应用环绕

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一种液面下精密对位与贴合的制程设备和方法

一种液面下精密对位与贴合的制程设备和方法

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作者：唐彪周蕤郭媛媛周国富 510631 广东省广州市大学城华南师范大学理五栋彩色动态电子纸显示技术研究所

本发明公开了一种液面下精密对位与贴合的制程设备和方法，所述制程设备和方法适用于电润湿显示制程，所述设备包括用于放置下基板的水槽、用于输送上基板的传送带、用于吸附上基板的平板式吸附头、用于上基板、下基板进行定位的定位CC... 详细信息

标准号: CN104267494A

本发明公开了一种液面下精密对位与贴合的制程设备和方法，所述制程设备和方法适用于电润湿显示制程，所述设备包括用于放置下基板的水槽、用于输送上基板的传送带、用于吸附上基板的平板式吸附头、用于上基板、下基板进行定位的定位CCD摄像机和照明系统，所述平板式吸附头的下表面为工作面，所述工作面上设有阵列式吸附孔且所述吸附孔连通到真空管，所述平板式吸附头的工作面周沿设有一环形的压合边，所述压合边将上述的吸附孔环绕在其圈内。该种液面下精密对位与贴合的制程设备在应用时具有生产效率高、应用方便等现有技术所不具备的优点。

关键词：基板吸附制程设备平板式吸附孔对位贴合压合液面精密真空管水槽传送带照明系统阵列式制程连通摄像机

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