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电子束检测样品及检测方法
电子束检测样品及检测方法
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作者： 李丰阳 黄仁德 方桂芹 223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
一种电子束检测样品及检测方法，检测方法包括提供晶圆，所述晶圆表面形成有半导体器件；在所述半导体器件表面覆盖氧化层；电子束照射所述半导体器件，利用逸出的二次电子来反应被检测的所述半导体器件表面的形貌特征，在所述半导体器... 详细信息
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薄膜沉积设备和薄膜沉积方法
薄膜沉积设备和薄膜沉积方法
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作者： 韩亚朋 骆金龙 430014 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号未来科技城海外人才大楼A座18楼242室
本公开实施例公开了一种薄膜沉积设备和薄膜沉积方法，所述薄膜沉积设备包括：处理腔室，包括腔体和位于腔体内的容置空间；遮蔽组件，位于容置空间内，用于遮蔽腔体的腔壁，并在容置空间内形成子空间；承载台，位于子空间内，用于承载... 详细信息
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改善SONOS器件失效的方法
改善SONOS器件失效的方法
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作者： 曹俊 吴兵 陆涵蔚 201203 上海市浦东新区自由贸易试验区祖冲之路1399号
本发明提供一种改善SONOS器件失效的方法，所述方法包括：提供一半导体结构，所述半导体结构包括衬底，形成于所述衬底表面的ONO层，及形成于所述ONO层表面的多晶硅栅极；于所述半导体结构表面形成侧墙介质层；利用第一刻蚀工艺刻蚀所... 详细信息
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优化光刻工艺窗口的方法
优化光刻工艺窗口的方法
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作者： 段成明 510000 广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
本发明提供了一种半导体结构表面位置的测量方法及优化光刻工艺窗口的方法，应用与半导体技术领域。具体的，在本发明提供的半导体结构表面位置的测量方法中，其提出一种通过改变表面水平传感系统的探测激光束波长的方式，来提高半导体... 详细信息
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一种半导体结构形成方法
一种半导体结构形成方法
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作者： 宋化龙 林静 何永根 201203 上海市浦东新区张江路18号
一种半导体结构形成方法包括：提供衬底，所述衬底正面形成有半导体结构；采用酸性溶液清洗所述衬底背面的含金属离子或原子的残留；清洗后，对所述衬底的背面进行氧化处理，修复酸洗造成的缺陷。本发明在采用酸性溶液清洗所述衬底背面... 详细信息
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