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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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70 篇 专利
5 篇 学位论文
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13 篇 工学
- 7 篇 机械工程
- 4 篇 电子科学与技术（可...
- 1 篇 电气工程
- 1 篇 控制科学与工程
- 1 篇 交通运输工程
2 篇 理学
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- 1 篇 生物学

主题

14 篇 声表面波气体传感...
2 篇 灵敏度
2 篇 压电
2 篇 响应机理
2 篇 异常响应
1 篇 舰船科学技术
1 篇 微结构气体传感器
1 篇 传递矩阵法
1 篇 声表面波传感器
1 篇 传感器阵列
1 篇 目次
1 篇 h2s
1 篇 振荡器
1 篇 电子鼻
1 篇 数据融合
1 篇 聚合物敏感膜
1 篇 2010
1 篇 氮化硼薄膜
1 篇 声波速度
1 篇 质量负载

机构

13 篇 中国科学院微电子...
12 篇 电子科技大学
6 篇 淮南联合大学
6 篇 浙江大学
4 篇 广西电网有限责任...
3 篇 华中科技大学
3 篇 中国电子科技集团...
3 篇 北京华龙通科技有...
3 篇 中国电子科技集团...
3 篇 南京大学
3 篇 中国科学院声学研...
3 篇 天津理工大学
3 篇 天津七一二通信广...
2 篇 中国科学院大学
2 篇 华南理工大学
2 篇 深圳大学
2 篇 中国科学技术大学
1 篇 医科大学
1 篇 大唐环境产业集团...
1 篇 新疆求是信息科技...

作者

12 篇 蒋亚东
12 篇 杜晓松
11 篇 李冬梅
10 篇 谢常青
10 篇 刘明
7 篇 周文
7 篇 胡佳
7 篇 侯成诚
7 篇 汪幸
6 篇 严敏
6 篇 闫学锋
6 篇 朱小萍
6 篇 谢光忠
6 篇 陈星
6 篇 王平
6 篇 张冯江
4 篇 唐小峰
4 篇 胡炜
4 篇 周洪立
4 篇 罗传胜

语言

84 篇 中文

检索条件"主题词=声表面波气体传感器"

共 84 条记录，以下是41-50 订阅

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详细简洁

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声表面波气体传感器及其制作方法

声表面波气体传感器及其制作方法

引用

作者：李冬梅周文刘明谢常青侯成诚汪幸闫学锋 100029 北京市朝阳区北土城西路3号

本实施例公开了一种声表面波气体传感器及其制作方法，该声表面波气体传感器用于探测NO2气体的浓度，该方法包括：提供基底，所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器；在所述基底表面上形成感光层... 详细信息

标准号: CN102507733A

本实施例公开了一种声表面波气体传感器及其制作方法，该声表面波气体传感器用于探测NO₂气体的浓度，该方法包括：提供基底，所述基底包括本体层和位于所述本体层表面上的输入叉指换能器和输出叉指换能器；在所述基底表面上形成感光层，在感光层表面内形成敏感膜区图形；以具有敏感膜区图形的感光层为掩膜，在所述基底表面上形成具有In₂O₃与Ag的复合膜；去除所述感光层材料，得到敏感膜，所述敏感膜位于所述输入叉指换能器和输出叉指换能器之间的本体层表面上。本发明实施例的传感器在常温下灵敏度高，反应快速，且能准确测量NO2气体的浓度。

关键词：换能器敏感膜本体层感光声表面波气体传感器基底表面基底感光层表面准确测量复合膜灵敏度传感器掩膜探测

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基于多效应气敏机制的SAW室温工业气体检测方法研究

基于多效应气敏机制的SAW室温工业气体检测方法研究

引用

作者：刘雪莉中国科学院大学

学位级别：博士

工业气体如硫化氢(H2S)、二氧化氮(NO2)等有毒气体及氢气(H2)等易燃易爆气体均存在非常大的安全隐患。因此，为了对工业气体的泄漏或者爆炸等安全事故进行防范，研制快速检测和实时预警的气体传感器极为必要。与传统气体传感技术相比，... 详细信息

工业气体如硫化氢(H2S)、二氧化氮(NO2)等有毒气体及氢气(H2)等易燃易爆气体均存在非常大的安全隐患。因此，为了对工业气体的泄漏或者爆炸等安全事故进行防范，研制快速检测和实时预警的气体传感器极为必要。与传统气体传感技术相比，声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)气体传感器具有体积小、响应快、灵敏度高、成本低等技术优势，在工业毒害气体监测领域具有重要的研究与应用价值。　　本文主要从SAW多效应气敏机制、气体传感器件及系统的优化设计及室温工业气体检测方法等三个方面开展了相关研究工作:　　首先，本文从Auld的微扰理论出发，开展了基于聚合物粘弹效应与质量负载效应耦合的SAW气敏机制和声电耦合效应与质量负载效应耦合的SAW气敏机制的理论分析。早期SAW气体传感器采用的有机薄膜材料的响应可由单一的质量负载效应解释，在薄膜厚度低于1％波长范围内，其声速变化与膜厚为线性关系。而聚合物材料与金属及金属氧化物材料的气敏机制通常为多效应耦合的结果。聚合物气敏材料在气敏过程中的产生明显声衰减及声速的非线性变化，究其原因是聚合物的粘弹行为与质量负载效应共同作用的结果。金属及金属氧化物材料则由于其电导率变化产生对SAW电场的扰动，进而引起SAW的传播衰减与声速变化，其中声速的变化为薄膜声电耦合效应与质量负载效应耦合导致。　　其次，本文提出了面向工业气体检测的SAW传感器件及传感系统设计，包括低损耗SAW延迟线器件、高稳定性差分鉴相电路及传感系统结构优化设计。基于经典的耦合模(COM)理论设计了低损耗且带宽内相位线性变化的SAW延迟线器件。并基于仿真模型，实验制作了中心频率为200MHz、以35°Y切石英为基底的SAW延迟线，器件具有约12dB的低损耗，与仿真结果一致性较好。所研制的高稳定性差分鉴相电路以SAW器件为相位控制元，结合信号激励与鉴相电路完成传感系统的构建，有效的解决了SAW器件损耗过高导致传统振荡电路失效难题，其基线噪声约为±20μV。　　本文基于所研制的SAW气体传感系统，结合三乙醇胺(TEA)气敏薄膜，提出一种室温检测硫化氢方法。室温下，TEA与H2S分子之间的范德华力和氢键作用使其具有很高的吸附效率，将环氧乙烷与氨水反应合成的TEA滴涂于所研制SAW器件的声波传播路径上，构建H2S传感器。实验结果表明，该方法在室温下具有快速响应（4ppm H2S下7s）、高灵敏度(0.152mv/ppm)和低检测下限(0.15ppm)的特点。此外，实验考察了TEA膜厚和环境温度对传感器响应的影响，从而实现传感器的性能优化。　　此外，利用钯氢配位键原理，以钯铜纳米线(Pd/Cu NWs)为气敏薄膜，研制了一种秒级响应的新型SAW氢气传感器。Pd/Cu纳米线由于其较大的比表面积大幅提高响应速度和恢复速度。用优化的电化学沉积方法制备了Pd/Cu纳米线，通过滴涂法沉积在SAW器件表面，构建了SAW氢气传感器。对所研制的SAW氢气传感器进行了实验研究，在室温下获得了1.5kHz/％的灵敏度和4s内的响应速度。此外，还对其气敏机制进行了实验研究和理论分析。　　最后，本文将PbS胶体量子点(CQDs)集成到SAW器件上，以提高室温下NO2的检测性能。将PbS CQDs直接旋涂到SAW延迟线上，然后用Pb(NO3)2进行配体交换处理。当暴露于10ppm的NO2气体时，沉积未经处理的PbS CQDs的传感器显示出487s和302s的响应和恢复时间，以及2.2kHz的负频移，这主要是由于NO2气体在致密CQD膜表面的吸收引起的质量负载效应导致，而其声电耦合效应可忽略不计。而经Pb(NO3)2处理的传感器的响应和恢复时间分别为45s和58s，并产生较大的正频移9.8kHz。此外，经Pb(NO3)2处理的二氧化氮传感器在室温下表现出ppb水平的高灵敏度和良好的选择性。

关键词：工业气体气体检测声表面波气体传感器气敏机制

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一种气体检测系统

一种气体检测系统

引用

作者：张颖蒋瞻旭 100070 北京市丰台区丰管路22号院12幢308室

本发明公开一种气体检测系统，包括：气体采集模块，用于通过进气口采集待检测气体；声表面波气体传感器阵列模块，包括若干并列排布的SAW传感器，用于检测所述待检测气体；气泵，用于为待检测气体在所述气体检测系统中流动提供动力；... 详细信息

标准号: CN114047252A

本发明公开一种气体检测系统，包括：气体采集模块，用于通过进气口采集待检测气体；声表面波气体传感器阵列模块，包括若干并列排布的SAW传感器，用于检测所述待检测气体；气泵，用于为待检测气体在所述气体检测系统中流动提供动力；振荡器，用于产生所述声表面波气体传感器阵列模块工作所需的信号；主板模块，用于通过引脚分别与各功能单元电气连接，控制所述各功能单元协同工作；供电模块，用于提供所述各功能单元工作所需的电能。本发明提供的气体采集过滤系统，简易、操作难度小且具备灵敏度高、功耗低、体积小、响应时间短等优点。

关键词：功能单元声表面波气体传感器气体检测系统检测阵列模块进气口气体采集模块并列排布电气连接供电模块过滤系统气体采集主板模块灵敏度体积小振荡器功耗气泵引脚简易采集协同响应流动

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一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法

一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法

引用

作者：李冬梅陈鑫梁圣法詹爽谢常青刘明 100083 北京市朝阳区北土城西路3号

本发明公开了一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，包括：选择一压电基片，在该压电基片表面涂敷光刻胶，对该压电基片表面进行光刻，露出该压电基片表面的敏感膜区域；采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域的... 详细信息

标准号: CN102735753A

本发明公开了一种声表面波气体传感器多层敏感膜的制备方法，包括：选择一压电基片，在该压电基片表面涂敷光刻胶，对该压电基片表面进行光刻，露出该压电基片表面的敏感膜区域；采用MPS溶液和PAH溶液对覆盖有光刻胶并露出敏感膜区域的该压电基片进行处理；将处理后的该压电基片依次浸入PSS、PPy、PSS和PANI溶液中，在该压电基片上生长一层PPy/PSS/PANI复合敏感膜，重复该浸入步骤并控制重复次数，在该压电基片上得到不同层数不同厚度的PPy/PSS/PANI复合敏感膜；以及去除光刻胶并封装。本发明实现了在室温下对NH₃和NO₂气体的检测，且灵敏度高，成本低，简单实用。

关键词：压电基片敏感膜压电基片表面光刻胶声表面波气体传感器复合敏感膜的制备露出覆盖有灵敏度层数光刻涂敷封装生长检测

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一种提高声表面波气体传感器响应稳定性的装置

一种提高声表面波气体传感器响应稳定性的装置

引用

作者：杜晓松肖华胡佳蒋亚东 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

本发明公开了一种提高声表面波气体传感器响应稳定性的装置，系在声表面波气体传感器的基板上安放一个金属罩而形成气室，金属罩的宽度比基板的宽度窄，而金属罩中空部分的宽度比电极的宽度大，使得电极和敏感薄膜位于金属气室的中空部... 详细信息

标准号: CN102012399B

本发明公开了一种提高声表面波气体传感器响应稳定性的装置，系在声表面波气体传感器的基板上安放一个金属罩而形成气室，金属罩的宽度比基板的宽度窄，而金属罩中空部分的宽度比电极的宽度大，使得电极和敏感薄膜位于金属气室的中空部分，从而在泵入外界气体时基板起到了隔离作用，使得只有基板上面的敏感薄膜吸附气体而基板背后的粘接剂不能和气体接触，从而避免了粘接剂吸气后由于溶胀效应而导致的应力，进而解决了由该应力所引起的声表面波气体传感器响应不稳的问题。此外，金属气室还具有电磁屏蔽的功能，可避免多个声表面波气体传感器的相互干扰。本发明的方案实现了气室的最小化，有助于缩短传感器的响应时间。

关键词：声表面波气体传感器基板气室金属敏感薄膜电极粘接剂中空电磁屏蔽隔离作用气体接触外界气体吸附气体响应时间吸气最小化响应传感器溶胀时基干扰

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一种制作声表面波气体传感器双层敏感膜的方法

一种制作声表面波气体传感器双层敏感膜的方法

引用

作者：李冬梅汪幸刘明周文侯成诚闫学锋谢常青叶甜春霍宗亮张满红 100029 北京市朝阳区北土城西路3号

本发明公开了一种制作声表面波气体传感器双层敏感膜的方法，该方法首先通过电子束蒸发制作三氧化钨WO3敏感膜，然后在乙醇溶液中均匀分散二氧化锡SnO2粉末形成SnO2溶液，再通过滴涂法将该SnO2溶液滴涂在制作的WO3敏感膜上，形成WO3/SnO... 详细信息

标准号: CN102655397A

本发明公开了一种制作声表面波气体传感器双层敏感膜的方法，该方法首先通过电子束蒸发制作三氧化钨WO₃敏感膜，然后在乙醇溶液中均匀分散二氧化锡SnO₂粉末形成SnO₂溶液，再通过滴涂法将该SnO₂溶液滴涂在制作的WO₃敏感膜上，形成WO₃/SnO₂双层敏感膜。本发明将分散好的SnO₂溶液滴涂在WO₃薄膜上，形成的WO₃/SnO₂双层敏感膜，该WO₃/SnO₂双层敏感膜与纯的SnO₂或者WO₃传感器相比，选择性、灵敏度和检测质量均有一定的提高。

关键词：敏感膜电子束声表面波气体传感器二氧化锡三氧化钨乙醇溶液灵敏度传感器薄膜蒸发检测

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覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器响应机理分析

覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器响应机理分析

引用

第十二届全国敏感元件与传感器学术会议

作者：谢晓王文刘明华何世堂中国科学院声学研究所北京100190

本文采用Martin理论和摄动法分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器的响应机理.以针对有机磷毒剂具有良好选择性的FPOL膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响,从而获得... 详细信息

本文采用Martin理论和摄动法分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器的响应机理.以针对有机磷毒剂具有良好选择性的FPOL膜材料为例,分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响,从而获得传感器响应与敏感膜膜厚及传感器工作频率的关系,以此提取出优化的敏感膜膜厚和传感器工作频率,特别是分析了影响传感器气体响应的关键因素,为高性能声表面波气体传感器的优化设计奠定理论基础.

关键词：声表面波气体传感器水平剪切聚合物敏感膜响应机理优化设计

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一种声表面波气体传感器及其制造方法

一种声表面波气体传感器及其制造方法

引用

作者：李冬梅侯成诚闫学峰周文汪幸刘明谢常青叶甜春 100029 北京市朝阳区北土城西路3号

本发明公开了一种声表面波气体传感器及其制造方法，所述声表面波气体传感器包括：基底、同时设置在所述基底上的阵列式插指换能器和外围电路；其中，所述基底部分镀有压电薄膜；所述阵列式插指换能器设置于所述压电薄膜之上；所述阵列... 详细信息

标准号: CN102778503A

本发明公开了一种声表面波气体传感器及其制造方法，所述声表面波气体传感器包括：基底、同时设置在所述基底上的阵列式插指换能器和外围电路；其中，所述基底部分镀有压电薄膜；所述阵列式插指换能器设置于所述压电薄膜之上；所述阵列式插指换能器中除两端的插指换能器之外均覆盖有保护膜；所述阵列式插指换能器中两端的插指换能器分别连接所述外围电路构成回路；所述外围电路设置于未镀有所述压电薄膜的基底部分。通过本发明实施例，可以实现将表面波器件及其外围电路同时设置于同一基片上。

关键词：换能器阵列式压电薄膜电路外围声表面波气体传感器基底底部表面波器件保护膜覆盖有镀有连接

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一种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器

一种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器

引用

作者：刘勇莫家庆 830000 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市碱泉街16号白云尚都4-1-1803

本发明提供了一种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器，该传感器属于声表面波技术领域的一种新型气体传感器结构。这种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器采用单端谐振器结构，以气敏半导体金属氧化物与空气柱构成的... 详细信息

标准号: CN102841138A

本发明提供了一种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器，该传感器属于声表面波技术领域的一种新型气体传感器结构。这种基于二维声子晶体反射栅的声表面波气体传感器采用单端谐振器结构，以气敏半导体金属氧化物与空气柱构成的二维声子晶体作为谐振器两端的反射栅，其声子晶体反射栅兼具气敏和反射双重功能，而且二维空气柱声子晶体气体传感器结构具有表面积大、灵敏度高等特点；此外二维声子晶体反射栅相比传统的一维金属条反射栅，不仅反射效率更高，同时也减小了反射栅的尺寸，非常有利于获得高集成度的声表面波气体传感器件。

关键词：反射栅声表面波气体传感器空气柱气体传感器结构传感器结构金属氧化物气敏半导体谐振器结构谐振反射效率双重功能新型气体集成度灵敏度传感器单端气敏金属

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一种快速响应的声表面波气体传感器及其制备方法

一种快速响应的声表面波气体传感器及其制备方法

引用

作者：谢光忠蒋亚东杜晓松王然孙萍 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

本发明公开了一种快速响应的声表面波气体传感器，其特征在于：①包括N个结构相同的传感器单元和一个时钟控制电路模块，N为偶数且大于或者等于2；②每个传感器单元都由设置在同一基片上的加热器、两个发射叉指电极和两个接收叉指电极... 详细信息

标准号: CN101852770B

本发明公开了一种快速响应的声表面波气体传感器，其特征在于：①包括N个结构相同的传感器单元和一个时钟控制电路模块，N为偶数且大于或者等于2；②每个传感器单元都由设置在同一基片上的加热器、两个发射叉指电极和两个接收叉指电极构成，所述加热器的电极片是延长的迂折形延长线型结构，发射叉指电极和接收叉指电极对称地设置在加热器的左右两侧，叉指电极的电极片分别穿插在加热器的呈迂折状的电极片内，各自独立且不与加热器接触；③所述时钟控制电路模块对应接口分别和N个传感器单元的加热器连接并控制每个传感器单元的工作状态。

关键词：加热器叉指电极传感器单元电极片时钟控制电路声表面波气体传感器快速响应线型结构发射穿插对称大于两侧连接接触

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