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检索条件"主题词=声表面波气体传感器"
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集成有加热器的声表面波气体传感器阵列及其制备方法
集成有加热器的声表面波气体传感器阵列及其制备方法
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作者： 杜晓松 熊丽霞 刘子骥 蒋亚东 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
本发明公开了一种集成有加热器的声表面波气体传感器阵列及其制备方法，由设置在硅基板上的多个相同的传感器单元构成阵列结构，所述传感器单元包括硅基板，硅基板正面沉积有压电薄膜，压电薄膜上设置有叉指电极形成两组声通道，其中一... 详细信息
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一种声表面波气体传感器基片
一种声表面波气体传感器基片
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作者： 杨保和 郝银召 李明吉 王芳 李翠平 300384 天津市西青区宾水西道391号
本发明公开了一种声表面波气体传感器基片。可用于制作声表面波气体传感器。具有高频、高Q、很好的频率稳定性的特点。不同孔径的多孔类金刚石做为敏感膜有一定选择性，可以保护叉指换能器并有效的避免水蒸气的干扰，组成传感器阵列，... 详细信息
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声表面波气体传感器工艺及频率温度补偿方法研究
声表面波气体传感器工艺及频率温度补偿方法研究
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作者： 刘明华 中国科学院研究生院
学位级别：硕士
为了应对生物化学武器等恐怖威胁,各种突发性生产,环境等事故,迫切需要一种能现场快速检测有毒气体的高灵敏度检测手段。声表面波气体传感器以其高灵敏度,体积小、重量轻,易于集成化等特点,是实现现场快速检测的最有效手段之一。声表面... 详细信息
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基于声表面波技术的烟气中二氧化硫气体检测装置
基于声表面波技术的烟气中二氧化硫气体检测装置
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作者： 曹宇 100097 北京市海淀区紫竹院路120号
本实用新型涉及一种基于声表面波技术的烟气中二氧化硫气体检测装置。该装置包括：一个或多个声表面波气体传感器，其包括气敏薄膜、声表面波芯片和射频天线；以及主控制器模块，其外置于烟气管道出口侧，包括低功耗微控制器、功率放大... 详细信息
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声表面波气体传感器的制造方法
声表面波气体传感器的制造方法
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作者： 李强 李冬梅 潘峰 100084 北京市100084-82信箱
本发明公开了属于传感器制造技术的一种声表面波气体传感器的制造方法。该方法为在要生长敏感膜的气体传感器图形上蒸镀一层活泼金属(Al，Mg，Zn，Sn等)，再经过光刻及湿法刻蚀，将需要自组装敏感膜的金(Ag或Pt)膜裸露出来，换能器IDT... 详细信息
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一种提高声表面波气体传感器响应稳定性的装置
一种提高声表面波气体传感器响应稳定性的装置
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作者： 杜晓松 肖华 胡佳 蒋亚东 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
本发明公开了一种提高声表面波气体传感器响应稳定性的装置，系在声表面波气体传感器的基板上安放一个金属罩而形成气室，金属罩的宽度比基板的宽度窄，而金属罩中空部分的宽度比电极的宽度大，使得电极和敏感薄膜位于金属气室的中空部... 详细信息
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一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器
一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器
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作者： 张可珺 陈鸣 唱凯 贾双荣 李发科 400042 重庆市渝中区大坪长江支路10号
本实用新型公开了一种多重薄膜结构的声表面波气体传感器，包括压电基片，所述压电基片上设有输入叉指换能器和输出叉指换能器，所述压电基片上输入叉指换能器和输出叉指换能器之间构成声表面波传播通道，在声表面波传播通道上覆盖有气... 详细信息
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一种具有湿度补偿功能的双通道声表面波气体传感器
一种具有湿度补偿功能的双通道声表面波气体传感器
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作者： 杜晓松 蒋亚东 胡佳 谢光忠 刘忠祥 610054 四川省成都市建设北路二段四号
本发明公开了一种具有湿度补偿功能的双通道声表面波气体传感器，包括压电基板和两对叉指电极，其中叉指电极设置在压电基板上，构成平行的声表面波测量通道和参考通道，其特征在于，在测量通道上涂敷有敏感薄膜，在参考通道上涂敷有湿... 详细信息
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一种提高声表面波气体传感器温度稳定性的方法
一种提高声表面波气体传感器温度稳定性的方法
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作者： 杜晓松 胡佳 蒋亚东 谢光忠 应智花 610054 四川省成都市建设北路二段四号
本发明公开了一种提高声表面波气体传感器温度稳定性的方法，所述声表面波气体传感器是由声表面波器件和敏感薄膜所构成的气敏元件，声表面波器件包括压电基片、电极和波导层构成，所述敏感薄膜设置在声表面波器件表面，其特征在于，通... 详细信息
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声表面波气体传感器异常响应的理论研究
声表面波气体传感器异常响应的理论研究
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中国声学学会2010年全国会员代表大会暨学术会议
作者： 范理 周凤梅 高会栋 王成 张淑仪 张辉 王翔邦 南京大学声学研究所，近代声学实验室，南京，210093 中国电子科技集团55研究所，南京，210016
本文基于W03/Zn0/Si三层模型，用传递矩阵法模拟W03敏感层电导率变化所引起的传感器中心频率的变化情况，即电导率灵敏度，证明在吸附被测气体后，表面电导率的上升会引起中心频率下降，而表面电导率的下降则会引起中心频率的上升，即... 详细信息
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