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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

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范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
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15 篇 专利

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15 篇 电子文献
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机构

3 篇 上海华力微电子有...
3 篇 大赢数控设备有限...
2 篇 上海华力集成电路...
1 篇 北京中拓机械有限...
1 篇 深圳市博辉特科技...
1 篇 清华大学
1 篇 山西开成检测有限...

作者

6 篇 罗会才
6 篇 韩金龙
6 篇 杨少辰
3 篇 段淑卿
3 篇 高金德
2 篇 杨领叶
2 篇 丁德建
2 篇 陈强
2 篇 曹茂庆
1 篇 孙梁
1 篇 孙勇
1 篇 田建明
1 篇 徐杰
1 篇 武城
1 篇 伊文君
1 篇 董占民
1 篇 孙红三
1 篇 贾侦华
1 篇 刘鸿飞
1 篇 卢彦豪

语言

15 篇 中文

检索条件"主题词=定位测试结构"

共 15 条记录，以下是1-10 订阅

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详细简洁

排序：

定位测试结构失效位置和原因的方法

定位测试结构失效位置和原因的方法

引用

作者：曹茂庆杨领叶丁德建段淑卿高金德 201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

本发明涉及定位测试结构失效位置的方法，涉及半导体集成电路失效分析技术，首先获得测试结构的失效模型，然后将测试结构中的器件结构中的PN结开启，利用显微镜定位到存在PN结导通区域的测试结构组，而可快速定位到目标区域，最后根据... 详细信息

标准号: CN112305407B

本发明涉及定位测试结构失效位置的方法，涉及半导体集成电路失效分析技术，首先获得测试结构的失效模型，然后将测试结构中的器件结构中的PN结开启，利用显微镜定位到存在PN结导通区域的测试结构组，而可快速定位到目标区域，最后根据失效模型向器件的失效模型对应的端子施加测试信号，获得对应端子的测试信号的异常发光点，并将倍率逐渐放大，进而锁定到失效位置，如此通过PN结开启可快速定位到目标区域，然后通过切换测试条件而快速锁定到失效位置，且可避免现有技术中的因背景噪声信号较大，会淹没失效点信号，而无法定位的问题。

关键词：测试结构失效模型失效位置测试信号快速定位目标区域半导体集成电路背景噪声信号定位测试结构测试条件导通区域快速锁定器件结构失效分析发光点失效点显微镜放大锁定淹没施加

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定位测试结构的断路失效点的方法

定位测试结构的断路失效点的方法

引用

作者：武城段淑卿高金德 201203 上海市浦东新区高斯路568号

本发明公开了一种定位测试结构的断路失效点的方法，包括：步骤一、提供形成有测试结构的样品；测试结构的第一和第二金属层图形通过各通孔形成一个串联电阻结构，串联电阻结构的两端的第二金属层图形组成第一和第二测试端；将各测试端... 详细信息

标准号: CN116153797A

本发明公开了一种定位测试结构的断路失效点的方法，包括：步骤一、提供形成有测试结构的样品；测试结构的第一和第二金属层图形通过各通孔形成一个串联电阻结构，串联电阻结构的两端的第二金属层图形组成第一和第二测试端；将各测试端顶部的金属扩散阻挡层去除以使各测试端露出；步骤二、对样品进行第一次主动电压衬度测试以显现出断路点并在断路点的邻近位置上做第一划痕标记；步骤三、在样品上的第一划痕标记处形成镀膜标记；步骤四、对样品进行第二次主动电压衬度测试以显现出断路点并以镀膜标记的位置为参考位置定位出断路点的相对位置。本发明能通过主动电压衬度测试实现对断路点的精确定位，适用于对面积较大的测试结构的断路点定位。

关键词：断路点测试结构测试端衬度第二金属层串联电阻划痕标记测试镀膜金属扩散阻挡层定位测试结构参考位置邻近位置图形组成失效点断路通孔去除

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定位测试结构失效位置和原因的方法

定位测试结构失效位置和原因的方法

引用

作者：曹茂庆杨领叶丁德建段淑卿高金德 201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

标准号: CN112305407A

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一种同时定位测试结构

一种同时定位测试结构

引用

作者：孙勇 518000 广东省深圳市龙华新区油松路昊创工业厂区3#厂房

本实用新型公开了一种同时定位测试结构，包括大底板，所述大底板的上端固定连接有三轴气缸，所述三轴气缸的输出轴固定连接有固定板，所述固定板的侧壁设有第一衬套，所述第一衬套上安装有第一导轴，所述第一导轴的侧壁固定连接有连接... 详细信息

标准号: CN208653503U

本实用新型公开了一种同时定位测试结构，包括大底板，所述大底板的上端固定连接有三轴气缸，所述三轴气缸的输出轴固定连接有固定板，所述固定板的侧壁设有第一衬套，所述第一衬套上安装有第一导轴，所述第一导轴的侧壁固定连接有连接板，所述连接板的上端固定连接有定位板，所述大底板的上端固定连接有第二导轴，所述第二导轴通过第二衬套安装有升降板，所述升降板的左侧固定连接有连接块，所述连接块上转动连接有深沟球轴承。本实用新型以简单的结构就可以实现两个方向的目标工序，易于组装，制作成本低，在结构上有很大的优越性。

关键词：导轴上端固定大底板本实用新型三轴气缸固定板连接板升降板侧壁衬套定位测试结构深沟球轴承衬套安装目标工序转动连接定位板输出轴组装制作

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矿用烟雾传感器检测装置

矿用烟雾传感器检测装置

引用

作者：王志平王志丽 041000 山西省临汾市尧都区贾得乡程村北大街与西街交汇处往西50米路北(一照多址)

本发明公开了矿用烟雾传感器检测装置，涉及传感器检测技术领域，包括制烟单元、烟敏检测室和烟敏检测主机；烟敏检测主机设置在烟敏检测室的顶部位置，其特征在于，制烟单元包括燃烧烟箱、开设在燃烧烟箱一侧的通风口、插接在通风口上... 详细信息

标准号: CN117191655A

本发明公开了矿用烟雾传感器检测装置，涉及传感器检测技术领域，包括制烟单元、烟敏检测室和烟敏检测主机；烟敏检测主机设置在烟敏检测室的顶部位置，其特征在于，制烟单元包括燃烧烟箱、开设在燃烧烟箱一侧的通风口、插接在通风口上的插板和设置在燃烧烟箱内的烟饼；还包括送烟单元、烟气温度模拟单元、至少六通的分烟器及定位测试结构；送烟单元设置在燃烧烟箱上；烟气温度模拟单元设置在送烟单元的出烟端处。本发明解决了因无法模拟出不同工况下烟雾传感器的烟感反应，这样造就了烟敏检测数据的单样性；解决了无有效的测试结构可实现批量且针对性的烟敏识别处理，这样降低烟雾传感器的检测效率低的问题。

关键词：烟雾传感器送烟单元烟箱燃烧温度模拟单元通风口检测主机检测室烟气制烟定位测试结构传感器检测测试结构顶部位置检测数据检测装置出烟端分烟器插板插接六通烟饼烟感检测

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测试结构的断路定位方法

测试结构的断路定位方法

引用

作者：陈强 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

本发明提供了一种测试结构的断路定位方法，包括：首先进行步骤一：提供一测试结构，所述测试结构包括阴极端以及阳极端；然后进行步骤二：将所述阴极端接地，并分别对所述阴极端和所述阳极端进行电压衬度检查，如果所述阴极端的电压衬... 详细信息

标准号: CN104076268B

本发明提供了一种测试结构的断路定位方法，包括：首先进行步骤一：提供一测试结构，所述测试结构包括阴极端以及阳极端；然后进行步骤二：将所述阴极端接地，并分别对所述阴极端和所述阳极端进行电压衬度检查，如果所述阴极端的电压衬度为亮，所述阳极端的电压衬度为暗，则进行步骤三：对所述阴极端和阳极端之间所述测试结构分段制备剖面，分别对所述测试结构的分段剖面进行电压衬度检查，根据所述测试结构的分段剖面的电压衬度，判断所述测试结构的断路位置。该方法可以精确、快速地定位测试结构中断路位置。

关键词：测试结构阴极端阳极端衬度分段电压衬度检查定位测试结构阴极断路位置接地阳极断路制备中断

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测试结构的断路定位方法

测试结构的断路定位方法

引用

作者：陈强 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号

标准号: CN104076268A

关键词：测试结构衬度电压分段断路定位测试结构阴极定位方法接地阳极检查中断

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LED晶圆显微定位测试装置

LED晶圆显微定位测试装置

引用

作者：董占民肖尧孙红三贾侦华孙梁伊文君田建明徐杰刘鸿飞郭金源 100084 北京市海淀区清华园

本实用新型涉及LED晶圆检测用装置。特别是与定位测试结构有关，采用一体化紧凑结构，是一种完成微晶片测试定位、探针调整、光电检测等工作的LED晶圆显微定位测试装置。本实用新型包括基座1，上方放置一平动组件，平动组件包括动力源2... 详细信息

标准号: CN201508323U

本实用新型涉及LED晶圆检测用装置。特别是与定位测试结构有关，采用一体化紧凑结构，是一种完成微晶片测试定位、探针调整、光电检测等工作的LED晶圆显微定位测试装置。本实用新型包括基座1，上方放置一平动组件，平动组件包括动力源20、固定座21、第一滑座22、第二滑座23、滚子滑轨构成24，平动组件藉由第一滑座22与基座1相连，动力源20通过固定座21固定，并放置于第一滑座22的顶面，第二滑座23置于第一滑座22顶面，且第一滑座22、第二滑座23之间设置滚子滑轨24，第二滑座23端部设置通孔231，在通孔处有缺口232，通孔231内放置CCD摄像机、CCD摄像机由CCD，镜头31、光源32。本实用新型的优点在于结构紧凑，操作方便，人机交互好，一CCD摄像头即完成定位监视功能。本实用新型是放置于检测机上，供测试LED晶圆检测用。

关键词：滑座晶圆通孔动力源固定座顶面滚子滑轨检测摄像机定位测试结构摄像头测试定位定位测试光电检测紧凑结构人机交互有缺口探针微晶显微光源监视一体化镜头固定

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发光二极管测试机台的自动化装置

发光二极管测试机台的自动化装置

引用

作者：韩金龙罗会才杨少辰 518103 广东省深圳市宝安区福永街道新和社区福园一路华发工业园A11幢

本发明公开了一种发光二极管测试机台的自动化装置，包括一组进料结构、一定位测试结构及一组出料结构所组成，进料结构包括圆形振动盘及与其相连的平形振动盘、进料爪组及带料爪组，带料爪组下方为绝缘垫座，定位测试结构包括置于带料... 详细信息

标准号: CN100582691C

本发明公开了一种发光二极管测试机台的自动化装置，包括一组进料结构、一定位测试结构及一组出料结构所组成，进料结构包括圆形振动盘及与其相连的平形振动盘、进料爪组及带料爪组，带料爪组下方为绝缘垫座，定位测试结构包括置于带料爪组对面的定位爪组，一测试组置于定位爪组正下方，包括测试发光二极管极性的极性探针座、旋转座及测试发光二极管亮度及光波长的框脚探针座，出料结构包括传动齿轮及与其相配合的履带，数个出料座卡持于履带上，且在各出料座后方均设置有气动推杆，所述绝缘垫座上设置有至少一块磁铁，所述磁铁至少有一块位于框脚探针座正对面。该发明能够保证发光二极管与框脚二极管或极性二极管的探针相接触，提高了点亮率。

关键词：探针爪组测试发光二极管发光二极管出料结构定位爪组进料结构绝缘垫座振动盘磁铁出料履带定位测试结构极性二极管自动化装置二极管测试机台测试结构传动齿轮气动推杆光波测试组点亮率旋转座接触

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显微摄影即时定位测试结构

显微摄影即时定位测试结构

引用

作者：卢彦豪台湾省台中市进德路40巷16弄1号

一种显微摄影即时定位测试结构，它包含一光特性分析模组，其下方设一分析模组固定座，及相邻处设CCD(影像感知原件)摄影机，其系含有一显微镜头、镜头固定座、CCD焦距微调座、CCD角度固定件，而其下方则设有CCDx－y微调座，及一CCD固... 详细信息

标准号: CN2784903Y

一种显微摄影即时定位测试结构，它包含一光特性分析模组，其下方设一分析模组固定座，及相邻处设CCD(影像感知原件)摄影机，其系含有一显微镜头、镜头固定座、CCD焦距微调座、CCD角度固定件，而其下方则设有CCDx－y微调座，及一CCD固定基座，而另一相对应处，设一CCD摄影机光源，并含有一光远固定座第一件、第二件及第三件，藉此，组装成整组系统结构，并设于检测机本体上，可供测试LED、LCD及其他晶圆之使用。组装紧凑，操作使用方便，测试的精确度高。

关键词：固定座摄影机定位测试结构分析模组固定基座焦距微调特性分析系统结构固定件检测机光远晶圆模组显微一相显微镜感知光源微调原件影像镜头摄影

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