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文字说明：

T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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42 篇 专利
2 篇 学位论文
2 篇 会议
1 篇 期刊文献

馆藏范围

47 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

5 篇 工学
- 2 篇 机械工程
- 1 篇 光学工程
- 1 篇 仪器科学与技术
- 1 篇 电气工程
- 1 篇 石油与天然气工程

主题

5 篇 微型气室
2 篇 阳极键合
1 篇 二氧化碳
1 篇 微型化红外气体传...
1 篇 原子钟
1 篇 相干布居俘获
1 篇 天然气水合物
1 篇 de算法
1 篇 ch4气体传感系统
1 篇 小型无人机
1 篇 性能测试
1 篇 原子磁力仪
1 篇 tdlas技术
1 篇 芯片级原子钟
1 篇 红外光源
1 篇 传感信号处理电路
1 篇 封装
1 篇 cpt信号

机构

5 篇 大连理工大学
5 篇 中国工程物理研究...
4 篇 电子科技大学
3 篇 国网安徽省电力有...
3 篇 北京大学
2 篇 国家电网有限公司
2 篇 云南省热带作物科...
2 篇 中北大学
2 篇 深圳市润普科技有...
2 篇 中国计量科学研究...
2 篇 有研工程技术研究...
2 篇 山西大学
1 篇 中国航空工业集团...
1 篇 广州大学
1 篇 上海雪伦医药科技...
1 篇 中国电子科技集团...
1 篇 兰州空间技术物理...
1 篇 富士特有限公司
1 篇 福建讯诺科技有限...
1 篇 天津市华泰鑫盛金...

作者

5 篇 朱明智
5 篇 陈珂
5 篇 汪宝旭
4 篇 郭珉
3 篇 杨飞
3 篇 邱勇
3 篇 舒强
3 篇 吴文凯
3 篇 邓东阁
3 篇 郭等柱
3 篇 苏娟
3 篇 汪中
3 篇 马凤翔
2 篇 赵跃
2 篇 潘奕捷
2 篇 李辰溪
2 篇 蒋亚东
2 篇 董磊
2 篇 明安杰
2 篇 苏瑞峰

语言

47 篇 中文

检索条件"主题词=微型气室"

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详细简洁

排序：

采用微型气室的CH4气体传感系统研制

采用微型气室的CH4气体传感系统研制

引用

作者：张梦茹吉林大学

学位级别：硕士

天然气水合物又称为可燃冰,拥有绿色无污染的优点,是一种环保的能源。随着全球能源危机的恶化,能源研究的重点正在从陆地转移到海洋。可燃冰的储量非常多,如果能合理开发和利用海洋可燃冰,我们对传统能源的需求量将降低,传统能源带来的... 详细信息

天然气水合物又称为可燃冰,拥有绿色无污染的优点,是一种环保的能源。随着全球能源危机的恶化,能源研究的重点正在从陆地转移到海洋。可燃冰的储量非常多,如果能合理开发和利用海洋可燃冰,我们对传统能源的需求量将降低,传统能源带来的环境问题也随之得到解决。但是,由于大部分天然气水合物都储存在海底表面附近的低温高压等恶劣环境中,因此实现水中天然气水合物的准确定位以避免不必要的消耗是很重要的。要想开采可燃冰,首先需要对其矿点进行定位,定位方法就是检测溶解在海水中的甲烷,因为可燃冰的主要成分是甲烷,根据对甲烷的检测和浓度分析,可以实现对可燃冰矿点的定位。因此,开发适合海洋环境的高精度CH4气体传感系统,是检测和开采可燃冰的重要手段,是十分重要且紧迫的研究。目前,国外领先的研究机构正在开发各种商业设备,以有效获取溶于水的CH4浓度信息。但是,由于天然气水合物在海水中的分布不规则,因此水下检测设备的检测限必须低。因此,为了满足实际应用的要求,本文从可调谐半导体激光吸收光谱（TDLAS）技术的研究入手,研制了一种基于微型气室（MPGC）的CH4检测装置,适用于海洋作业环境,针对海水中CH4气体浓度检测,可以做到高精度。本文的重要研究内容有以下几点:（1）气室是TDLAS系统的核心,故气室的设计是提高系统检测性能的关键。采用DE优化算法对气室进行智能寻优设计。介绍了差分进化（DE）算法的原理,构建了DE算法的适应度函数。基于DE算法,使用python软件编译DE流程,使用智能优化算法获取设计的气室最佳参数。然后介绍所研制的气室物理结构,模拟仿真激光光斑,比较采用DE算法设计的气室与常用的七环形气室的光斑结果。结果表明,基于DE算法设计的气室结构更紧凑,性能更好。另外,验证气室有效光程,证明了DE算法的计算结果,气室具有良好的线性度和低噪声。基于DE算法设计的气室体积足够小,可降低气样样本的体积需求,满足系统实时检测要求。此外,气室长光程可降低系统的检测下限。可见,基于DE算法设计的小体积、长光程气室可满足系统的实际应用要求,有很好的应用前景。（2）介绍了海水CH4检测系统的研发过程,对相关设计进行了详细的分析。根据实现的不同功能,系统分为三个部分:光路、电路和气路。光路结构优化设计和配气方法的研究是实现系统稳定、准确检测的关键。针对光路结构的优化设计,设计了一种紧凑的光学结构,不仅提高了光路的传输效率,同时使得系统结构稳定性增强,为实现系统的精确检测奠定了基础。电路部分介绍了电学系统的组成和温控电路的设计。气路部分首先引入气液分离技术,将微溶于水的气体与水分离,然后进行检测,避免了海水中杂质引起的误差,提高了海水中溶解CH4气体检测结果的准确性,实现海水中CH4气体浓度的准确检测。随后,为了研究适配于系统的配气方法,提出了脉冲式配气的方法,以解决脱气效率不稳定引起的压力不稳定的问题,结合连续进气方案,用于应对野外海水开发环境。最后,对CH4传感系统进行系统集成,形成具有水下检测能力的海水CH4检测系统。（3）验证所开发的CH4传感系统的性能。首先,选择CH4吸收谱线,优化参数。然后对系统进行动态性能验证和检测限分析验证,验证结果显示,系统对不同浓度的CH4有不同的响应,证实了所设计的CH4传感系统具有良好的动态响应和实用应用能力。利用基于微型气室设计的CH4传感系统,在1000 ppmv CH4背景下,长时间测量CH4浓度,得到最大CH4灵敏度为0.76 ppmv,平均时间为82 s,证实了所设计的CH4传感系统的稳定性。（4）介绍用于海水检测的最终CH4传感系统的海洋试验和集成概况。基于适用于海水环境的CH4传感系统,检测海水中固定垂直分布的监测点的溶解CH4浓度,成功得到检测数据。基于所开发的温度控制系统和CH4吸收谱线的选择,研究实现CH4的高精度检测,完成了对系统检出限、准确度、稳定性测试和测试结果分析等一系列工作。

关键词：天然气水合物 TDLAS技术 DE算法微型气室 CH4气体传感系统

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基于阳极键合工艺的芯片级原子钟85Rb微型气室封装

基于阳极键合工艺的芯片级原子钟85Rb微型气室封装

引用

2009全国时间频率学术会议

作者：苏娟邓科何凯旋汪中郭等柱北京大学信息科学技术学院纳米器件物理与化学教育部重点实验室北京大学量子电子学研究所北京大学信息科学技术学院

微型气室的制作是微型原子钟和微型磁力计等器件研制中不可或缺的关键技术。本课题组基于阳极键合技术,在打孔硅片的一面先键合了Pyrex玻璃,通过叠氮化钡和氯化铷的化学反应将生成的金属铷和缓冲气体充入硅片小孔中,然后在硅片另外一面... 详细信息

微型气室的制作是微型原子钟和微型磁力计等器件研制中不可或缺的关键技术。本课题组基于阳极键合技术,在打孔硅片的一面先键合了Pyrex玻璃,通过叠氮化钡和氯化铷的化学反应将生成的金属铷和缓冲气体充入硅片小孔中,然后在硅片另外一面键合Pyrex玻璃进行密封,从而实现了几个mm3体积的微型85Rb原子气室封装。测得了该气室的CPT信号,线宽为1.7kHz,吸收对比度约为1.5%,能够满足芯片级原子钟的实验要求。

关键词：阳极键合微型气室芯片级原子钟 CPT信号

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基于阳极键合工艺的微型气室封装

基于阳极键合工艺的微型气室封装

引用

第十四届全国质谱分析和检漏会议·第九届全国真空计量测试年会

作者：焦洁苏娟郭等柱张耿民汪中北京大学信息科学技术学院

微型气室的制作是微型原子钟和微磁力计等器件研制中不可或缺的关键技术。国际上只有为数不多的一些研究机构在从事这方面研究工作,国内目前还没有相关研究报道。我们课题组承担了863项目的相关课题,在微型气室的制作方面开展了探索性... 详细信息

微型气室的制作是微型原子钟和微磁力计等器件研制中不可或缺的关键技术。国际上只有为数不多的一些研究机构在从事这方面研究工作,国内目前还没有相关研究报道。我们课题组承担了863项目的相关课题,在微型气室的制作方面开展了探索性研究。基于阳极键合技术,我们设计了专用的真空封装设备,在打孔硅片的一面先键合了Pyrex玻璃,充气后再在另外一面键合Pyrex玻璃,从而实现了3.5mm体积的微型气室封装。氦质谱检漏结果显示,总漏率小于2.0×10Pam/s。据此估算,微型气室的寿命长于41天,能够满足现阶段的实验要求。

关键词：阳极键合封装微型气室原子钟

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基于MEMS微型气室的原级温度计及其测量方法

基于MEMS微型气室的原级温度计及其测量方法

引用

作者：潘奕捷贾朔蒋志远刘小赤屈继峰 100029 北京市朝阳区北三环东路18号

本申请涉及一种基于MEMS微型气室的原级温度计及其测量方法。基于MEMS微型气室的原级温度计包括激光输出模块、微型气室、反射结构、光电探测模块以及温度计算模块。激光输出模块用于控制输出入射光。微型气室设置于入射光的光路上。硅... 详细信息

标准号: CN113091944B

本申请涉及一种基于MEMS微型气室的原级温度计及其测量方法。基于MEMS微型气室的原级温度计包括激光输出模块、微型气室、反射结构、光电探测模块以及温度计算模块。激光输出模块用于控制输出入射光。微型气室设置于入射光的光路上。硅结构设置于第一层玻璃与第二层玻璃之间。入射光入射至第一层玻璃，并经过通孔入射至第二层玻璃。反射结构设置于第二层玻璃远离硅结构的表面，用于将经第二层玻璃的入射光进行反射，形成反射光。光电探测模块设置于反射光的光路上，用于对反射光进行探测，并将反射光的光信号转换成电信号。温度计算模块与光电探测模块电连接，用于获取电信号，并根据电信号计算温度。

关键词：微型气室玻璃反射光光电探测模块入射光激光输出模块温度计算模块反射结构温度计第一层硅结构入射电信号计算光信号转换电连接通孔反射探测测量申请

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基于MEMS工艺的碱金属原子微型气室的制备方法

基于MEMS工艺的碱金属原子微型气室的制备方法

引用

作者：王锦曦闫树斌 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

本发明一种基于MEMS工艺的纯碱金属原子微型气室的制备方法，包括RCA清洗、光刻、刻蚀低温阳极键合、划片阶段。可制造出高精度、低应力、高纯度的MEMS原子气室，（1）避免了玻璃‑硅‑玻璃常规原子气室不同质造成原子退极化驰豫引起的噪... 详细信息

标准号: CN110759314A

本发明一种基于MEMS工艺的纯碱金属原子微型气室的制备方法，包括RCA清洗、光刻、刻蚀低温阳极键合、划片阶段。可制造出高精度、低应力、高纯度的MEMS原子气室，（1）避免了玻璃‑硅‑玻璃常规原子气室不同质造成原子退极化驰豫引起的噪声问题。（2）阳极键合克服了不同质粘合层原子成键结合力弱造成气密性不佳的问题。（3）克服了因表面平整度不佳而造成的键合失败或气密性不高的问题。（4）克服了碱金属外溢导致的密度较低的问题。（5）低温键合可以避免器件性能的衰减或损坏，减小或消除高温键合引入的残余应力和翘曲变形。（6）解决了单腔室原子气室在制备时容易留下残余反应物从而影响后续光通过的问题，相比双腔式原子气室体积尺寸更微型化。

关键词：原子气室阳极键合气密性制备碱金属微型化玻璃表面平整度残余反应物纯碱残余应力低温键合高温键合金属原子器件性能翘曲变形微型气室噪声问题低应力高纯度结合力双腔式退极化粘合层成键驰豫单腔光刻划片减小键合刻蚀衰减引入失败制造

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一种具有微型气室义乳

一种具有微型气室义乳

引用

作者：吕小淑 201600 上海市松江区新桥镇申港路398号3幢三楼

本实用新型公开了一种具有微型气室义乳，包括顶端设置的模拟乳头、以模拟乳头为中心形成有一定弧度的乳房表面和向乳房表面的弧度同向弯曲的乳房底面；乳房表面的边缘处与乳房底面的边缘处相连，形成义乳主体；义乳主体内部为具有微型... 详细信息

标准号: CN208892862U

本实用新型公开了一种具有微型气室义乳，包括顶端设置的模拟乳头、以模拟乳头为中心形成有一定弧度的乳房表面和向乳房表面的弧度同向弯曲的乳房底面；乳房表面的边缘处与乳房底面的边缘处相连，形成义乳主体；义乳主体内部为具有微型气室的一体式填充结构。本实用新型具有质量轻、透气性强、弹性好、亲肤感良好、易于固定佩戴的优点，使用便捷，结构简单，用户体验好。

关键词：乳房表面义乳本实用新型模拟乳头微型气室边缘处顶端设置乳房底面同向弯曲用户体验主体内部透气性乳房亲肤填充佩戴

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一种微型气室

一种微型气室

引用

作者：魏博方正勇 250001 山东省济南市高新区新泺大街786号1006-02房间

本实用新型公开了一种微型气室，包括气室，所述气室内设置有输入准直器；所述输入准直器后端设置有带通滤光片；所述气室内设置有改变光线传播路径的反射单元；所述气室内还设置有输出准直器。对于环境气体检测特别是空间小环境恶劣的... 详细信息

标准号: CN219065260U

本实用新型公开了一种微型气室，包括气室，所述气室内设置有输入准直器；所述输入准直器后端设置有带通滤光片；所述气室内设置有改变光线传播路径的反射单元；所述气室内还设置有输出准直器。对于环境气体检测特别是空间小环境恶劣的场所十分适用；检测气室结构简单，方便耐用，所用器件均为成熟光学器件，便于探测系统的集成化、工业化放大。

关键词：输入准直器室内环境气体检测本实用新型带通滤光片输出准直器反射单元光线传播光学器件探测系统微型气室集成化检测气室结构气室放大成熟

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一种基于低温热键合的芯片原子钟微型气室的制备方法

一种基于低温热键合的芯片原子钟微型气室的制备方法

引用

作者：张彦军闫树斌李云超张志东 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

本发明属光学领域和微纳系统领域，具体为一种基于低温热键合的芯片原子钟微型气室的制备方法。一种基于低温热键合的芯片原子钟微型气室的制备方法，包括气室键合层基底的制作、半封闭气室的制作、碱金属原子的注入、缓冲气体的注入与... 详细信息

标准号: CN107298427A

本发明属光学领域和微纳系统领域，具体为一种基于低温热键合的芯片原子钟微型气室的制备方法。一种基于低温热键合的芯片原子钟微型气室的制备方法，包括气室键合层基底的制作、半封闭气室的制作、碱金属原子的注入、缓冲气体的注入与气室的密封四个阶段。本发明与现有的技术相比，（1）避免了“玻璃‑硅‑玻璃”常规原子气室不同质造成原子退极化驰豫引起的噪声问题。（2）克服了不同质粘合层原子成键结合力弱造成气密性不佳的问题。（3）防止了常规阳极键合的温度过高（温度>300℃）使碱金属原子大量气化外溢导致碱金属原子密度低的问题。

关键词：碱金属原子气室微型气室热键合原子钟制备芯片玻璃常规阳极光学领域缓冲气体温度过高系统领域原子气室噪声问题半封闭键合层结合力气密性退极化粘合层成键驰豫基底键合气化制作密封

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基于MEMS微型气室的原级温度计及其测量方法

基于MEMS微型气室的原级温度计及其测量方法

引用

作者：潘奕捷贾朔蒋志远刘小赤屈继峰 100029 北京市朝阳区北三环东路18号

标准号: CN113091944A

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一种微型原子气室封装工艺方法

一种微型原子气室封装工艺方法

引用

作者：郭等柱苏娟汪中陈徐宗张耿民赵兴钰 100871 北京市海淀区中关村颐和园路5号

一种微型原子气室封装工艺方法，包括：样品室、压力杆、样片、样品台、加热丝与测温探头、真空泵连接口、充气进口、直流高压电源、电压表、电阻和其它测控装置，包括步骤1材料的选取，步骤2材料的加工，步骤3样片的清洗，步骤4第一面... 详细信息

标准号: CN101439843B

一种微型原子气室封装工艺方法，包括：样品室、压力杆、样片、样品台、加热丝与测温探头、真空泵连接口、充气进口、直流高压电源、电压表、电阻和其它测控装置，包括步骤1材料的选取，步骤2材料的加工，步骤3样片的清洗，步骤4第一面键合，步骤5第二面键合，步骤6样品检测，将采用原位化学反应法生成的金属铷封闭在微型气室中的方法。本发明的有益效果具体如下：本发明涉及的专用设备是基于阳极键合技术原理的，采用了相对廉价的机械泵-分子泵抽气机组的普通高真空系统，同时用惰性气体对真空系统反复充气“清洗”以及对样片局部进行高温烘烤除气等措施来尽可能地减轻残余气体和吸附气体的影响，特别是减轻铷的氧化问题。

关键词：样片真空系统面键合原位化学反应直流高压电源材料的选取残余气体测控装置测温探头充气进口惰性气体封装工艺高温烘烤技术原理微型气室吸附气体阳极键合氧化问题样品检测原子气室专用设备抽气机电压表分子泵机械泵加热丝连接口样品室样品台真空泵除气电阻充气廉价金属封闭

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