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检索条件"主题词=电容式加速度传感器"
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一种电容式加速度传感器
一种电容式加速度传感器
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作者： 陈超 王涛 马淑敏 周泓希 蒋亚东 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
本实用新型涉及一种测量加速度的装置，具体涉及一种电容式加速度传感器，其结构由四根悬臂梁支撑的质量块和框架组成。框架主要起到支撑、保护的作用，质量块、悬臂梁组成了加速度传感器的敏感结构。本实用新型的特点是在中心质量块上... 详细信息
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一种三轴MEMS电容式加速度传感器
一种三轴MEMS电容式加速度传感器
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作者： 张晓桐 张松 王大宇 050081 河北省石家庄市桥西区中山西路589号电子战部
本实用新型公开了一种三轴MEMS电容式加速度传感器，属于微机电系统技术领域。其包括用于检测x方向上加速度的上层结构、用于检测z方向上加速度的中层结构和用于检测y方向上加速度的下层结构；上层结构和下层结构均构成梳齿型倍增电容... 详细信息
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一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器
一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器
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作者： 张晓桐 张松 董自强 王大宇 050081 河北省石家庄市中山西路589号中国电子科技集团公司第五十四研究所电子战部
本实用新型公开了一种螺旋梁结构MEMS电容式加速度传感器，属于微机电系统技术领域。其包括上级板层、上级板电极引出点、上级板防撞框架、上级板键合环、上级板金环、上级板防撞凸点组、质量层、质量层电极引出点、质量层上键合环、质... 详细信息
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一种三轴电容式加速度传感器
一种三轴电容式加速度传感器
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作者： 崔贺伟 陈强中 361000 福建省厦门市海沧区新阳工业区阳光南路8号
一种三轴电容式加速度传感器，包括上盖、底座、传感芯片和串口插座，所述的底座由三个面组成，底座的内部设有架子，所述的传感芯片有三个，分别安装在底座内的架子上，所述的三个传感芯片之间相互垂直，所述的串口插座固定在底座的侧... 详细信息
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一种电容式加速度传感器
一种电容式加速度传感器
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作者： 崔贺伟 陈强中 361000 福建省厦门市海沧区新阳工业区阳光南路8号
一种电容式加速度传感器，包括底座、芯片、排线和上盖，芯片固定在底座上，排线一端连接芯片，上盖固定在底座上，所述的芯片由硅元件和混合信号器ASIC组成，采用MEMS电容式加速度传感器芯片，内部含有由立体微加工工艺制成的硅元件和... 详细信息
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微机械梳状电容式加速度传感器
微机械梳状电容式加速度传感器
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作者： 熊幸果 陆德仁 王渭源 200050 上海市长宁路865号
本实用新型提出了一种以玻璃为衬底的单晶硅体微机械加工梳状电容式加速度传感器。本实用新型采用硅-玻璃键合结构,利用单晶硅深反应离子刻蚀(DRIE)技术进行叉指成型刻蚀,可增加器件厚度至上百微米,大幅度增加器件静态电容,便于信号检... 详细信息
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差动电容式加速度传感器极板调零装置
差动电容式加速度传感器极板调零装置
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作者： 王雷 高峰 王南 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路29号中国地震局工程力学研究所
本实用新型涉及一种差动电容式加速度传感器极板调零装置，在壳体中央部位固定有磁钢，空腔的壳体内设有传感器磁路框架，其顶部有上、下可动极板，壳体内右侧装有下端开有凹槽的驱动板，可调偏心轮安装于凹槽内，并通过固定压板安装在... 详细信息
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MEMS电容式加速度传感器输出补偿电路
MEMS电容式加速度传感器输出补偿电路
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作者： 芶勇基 姚松明 610213 四川省成都市天府新区华阳街道天府大道南段888号
本实用新型中公开了一种MEMS电容式加速度传感器输出补偿电路，包括温度补偿电路，所述温度补偿电路用于传感器输出信号的补偿；所述温度补偿电路包括差分运放芯片A2，所述差分运放芯片A2上连接有两路信号处理电路，所述两路信号处理电... 详细信息
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微重力加速度级电容式加速度传感器
微重力加速度级电容式加速度传感器
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作者： 周再发 黄庆安 茅盘松 210096 江苏省南京市四牌楼2号
本发明公开了一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，由支撑边缘，由电容动极板及电容定极板构成的电容器和质量块组成，在支撑边缘和电容器上均设在锚区，设在支撑边缘上的锚区通过悬臂梁与设在电容器上的锚区相连，... 详细信息
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一种MEMS电容式加速度传感器电-机械冲击下的试验方法
一种MEMS电容式加速度传感器电-机械冲击下的试验方法
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作者： 高成 王怡豪 黄姣英 陈炳印 100191 北京市海淀区学院路37号
本发明提供一种微机电系统(MEMS：Micro‑Electro‑mechanical System)电容式加速度传感器电‑机械冲击下的试验方法。它主要针对MEMS电容式加速度传感器的电‑机械冲击试验的使用需求，提出其目的、试验要求、程序、失效判据，属于试验方... 详细信息
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