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检索条件"主题词=电容式加速度传感器"
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一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器
一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器
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作者： 井后升 225100 江苏省扬州市邗江区槐泗镇酒甸村管安庄组1号
本发明涉及加速度传感器技术领域，且公开了一种用于微电子机械的微重力加速度级电容式加速度传感器，包括上盒体和下盒体，上盒体靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有上包边，下盒体靠近盒口一端位置的外盒壁上固定连接有下包边，上... 详细信息
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湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器
湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器
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作者： 熊斌 朱建军 车录锋 王跃林 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明涉及一种湿法制造的微机械电容式加速度传感器，属于微电子机械系统领域。其特征在于，最为关键的是利用补偿条结构牺牲方法和(110)单晶硅在各向异性腐蚀液中选择性腐蚀特性，采用硅各向异性湿法腐蚀在(110)单晶硅上制造出所需要... 详细信息
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弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法
弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法
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作者： 车录锋 周晓峰 王跃林 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：基于具有双器件层... 详细信息
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一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法
一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法
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作者： 石云波 刘俊 冯恒振 秦丽 唐军 马宗敏 曹慧亮 连树仁 孙亚楠 韩兴宇 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
本发明涉及MEMS电容式加速度传感器，具体是一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有MEMS电容式加速度传感器在高过载条件下无法实现稳定输出、无法实现高精度与抗高过载的动态平衡的问题。一种抗高过载低... 详细信息
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一种带自标定振动台的电容式加速度传感器
一种带自标定振动台的电容式加速度传感器
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作者： 王耀田 董林玺 王高峰 王路文 汶飞 赵文生 310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街
本发明涉及一种带自标定振动台的电容式加速度传感器。本发明把校准用振动台同传感器本身设计为一体，当传感器在现场工作前，可以实时的通过振动台对其敏感方向校准，以确认其敏感方向的工作性能，同时还设计了交叉轴驱动结构，实时测... 详细信息
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弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法
弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法
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作者： 车录锋 周晓峰 王跃林 200050 上海市长宁区长宁路865号
本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括：第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层；其中，第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔；所述中间结构层包括：基于具有双器件层... 详细信息
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一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法
一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法
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作者： 石云波 刘俊 冯恒振 秦丽 唐军 马宗敏 曹慧亮 连树仁 孙亚楠 韩兴宇 030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
本发明涉及MEMS电容式加速度传感器，具体是一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有MEMS电容式加速度传感器在高过载条件下无法实现稳定输出、无法实现高精度与抗高过载的动态平衡的问题。一种抗高过载低... 详细信息
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一种含有自检测功能的面内电容式加速度传感器及其制造方法
一种含有自检测功能的面内电容式加速度传感器及其制造方法
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作者： 周志健 朱二辉 陈磊 杨力建 邝国华 201800 上海市嘉定区菊园新区环城路2222号1幢J237室
本发明提供了一种含有自检测功能的面内电容式加速度传感器，至少具有一个面内加速度敏感方向，基于预制空腔SOI晶圆，预制空腔SOI晶圆依次设置有衬底、绝缘层、器件层，以及位于衬底的空腔，器件层、绝缘层设置有释放槽，通过释放槽释... 详细信息
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MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子的退化分析方法
MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子的退化分析方法
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作者： 黄洪钟 刘俊作 李彦锋 米金华 刘宇 郝晓红 曾颖 张庭瑜 魏钰金 611731 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
本发明提供了一种MEMS梳齿电容式加速度传感器品质因子的退化分析方法，包括建立在热弹性阻尼影响下加速度传感器品质因子的退化模型；建立因腔体内部材料释气以及腔体的泄漏共同影响下腔体内部压强随时间的变化关系；建立腔体内稀薄气... 详细信息
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一种变间距的电容式加速度传感器及其制备方法
一种变间距的电容式加速度传感器及其制备方法
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作者： 蔡春华 李予宸 谈俊燕 齐本胜 华迪 213022 江苏省常州市晋陵北路200号
本发明公开了一种变间距的电容式加速度传感器及其制备方法，具体是一种基于MEMS微加工技术的变间距的电容式加速度传感器，利用惯性质量块在外加加速度的作用下与检测电极间的间隙发生改变从而引起等效电容的变化来测定加速度。该发明... 详细信息
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