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文字说明：

T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

检索规则说明：

AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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106 篇 专利
2 篇 期刊文献
2 篇 学位论文

馆藏范围

110 篇 电子文献
0 种 纸本馆藏

日期分布

学科分类号

4 篇 工学
- 2 篇 机械工程
- 2 篇 动力工程及工程热...
- 1 篇 信息与通信工程
- 1 篇 矿业工程

主题

4 篇 电荷传感器
1 篇 谐振器
1 篇 标定
1 篇 花岗岩
1 篇 在线测量
1 篇 高分辨率
1 篇 复合输入设备
1 篇 煤量
1 篇 电荷感应信号
1 篇 微杠杆
1 篇 燃烧器
1 篇 宽动态范围
1 篇 三点弯曲
1 篇 人机交互界面
1 篇 锅炉运行
1 篇 微处理器
1 篇 mems

机构

8 篇 浙江大学
7 篇 南京大学
5 篇 亿明达股份有限公...
4 篇 华能国际电力股份...
4 篇 辽宁工程技术大学
3 篇 东南大学
3 篇 山东农业大学
3 篇 辽宁大学
2 篇 南京弗诺特测控科...
2 篇 恩智浦有限公司
2 篇 中国科学院空间科...
2 篇 华中师范大学
2 篇 加利福尼亚大学
2 篇 财团法人工业技术...
2 篇 山东科技大学
2 篇 康奈尔大学
2 篇 江苏省无线电科学...
2 篇 伊利诺斯工具制品...
2 篇 天津永久焊接材料...
2 篇 辽宁智震科技有限...

作者

9 篇 张丽敏
8 篇 赵久烜
7 篇 王舒凡
7 篇 谢金
5 篇 k.l.冈德森
5 篇 j.g.曼德尔
5 篇 b.博亚诺夫
5 篇 潘一山
4 篇 孙飞
4 篇 闫锋
3 篇 堵根旺
3 篇 c.陈
3 篇 丁弘
3 篇 李国臻
3 篇 赵扬锋
3 篇 侯加林
3 篇 赵旭
3 篇 张进
3 篇 唐凯
3 篇 王伟

语言

110 篇 中文

检索条件"主题词=电荷传感器"

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排序：

MEMS谐振式电荷传感器

MEMS谐振式电荷传感器

引用

作者：赵久烜浙江大学

学位级别：硕士

本论文提出了一种带有柔性微杠杆的MEMS谐振式电荷传感器,包括理论分析、仿真优化、加工和实验验证。传感器基于DETF (Double-ended Tuning Fork)谐振器,谐振器工作在反向谐振模态,通过电容进行驱动和感应,在室温和40 mTorr的真空度下,... 详细信息

本论文提出了一种带有柔性微杠杆的MEMS谐振式电荷传感器,包括理论分析、仿真优化、加工和实验验证。传感器基于DETF (Double-ended Tuning Fork)谐振器,谐振器工作在反向谐振模态,通过电容进行驱动和感应,在室温和40 mTorr的真空度下,测得谐振频率为139 kHz, Q值大于4900。引入柔性微杠杆的目的在于放大输入力,从而增大电荷传感器的灵敏度,通过理论和有限元仿真分析,得到柔性微杠杆的放大倍数大于8。电荷输入极板与微杠杆的输入端偶合成电容,当在电荷输入极板施加电荷时,电容极板间产生静电力,经过微杠杆的放大和变向后压在DETF的梁上,导致梁刚度的减小,从而引起谐振频率的下降。电荷的输入量与谐振频率的变化量之间呈二次方关系,灵敏度为1.3×10-3 Hz/fC2,分辨率为21fC。试验结果证明,引入的两柔性微杠杆在没有引入电路噪声的情况下,有效地提高了传感器的灵敏度,同时,本论文还对谐振器的静电刚度软化和非线性进行了实验测试和分析。为了同时实现电荷传感器的高分辨率和宽动态范围,本论文首次提出了采用静电式驱动器作为灵敏度调节机构的设计方案,对不同的电荷输入量,采用不同的灵敏度,既可以把初始灵敏度设计的很高,实现高分辨率,又可以在高输入电荷量的情况下,采用低灵敏度,避免因电荷量过高而引起非线性,甚至器件的损坏。通过实验测试,电荷传感器的最高灵敏度为1.03×10-2 Hz/fC2,分辨率达到了1fC以下,当在驱动器上施加40 V的直流电压时,可调电容的变化量为9.7fF,传感器的灵敏度被调节了91.6%。本论文共分六章,各章内容分述如下：论文第一章介绍了MEMS谐振器的定义、分类和应用等概况,详细推导了静电式谐振器的力学模型和等效电路模型,同时也介绍了静电式谐振器的常见类型和性能参数；之后总结了电荷传感器的研究现状,以及MEMS谐振式电荷传感器的优势和研究意义；最后系统地总结了本论文的工作。论文的第二章提出了器件的创新结构设计,对器件进行了详细的理论分析,包括微杠杆的放大倍数、谐振器的计算分析和传感器的响应等。之后通过有限元方法对器件的关键参数进行了仿真优化,确定了器件的具体参数。论文的第三章介绍了器件的微加工过程,本论文中的器件都是基于SOI (Silicon-on-Insulator)工艺,采用了两种不同的方法释放可动结构,即背部释放和前部释放。论文的第四章介绍了器件的测试方法,搭建了器件测试所需要的真空环境,并对器件进行了全面的测试,包括谐振器的性能,谐振器的静电刚度软化现象,非线性以及传感器的灵敏度等,并对测试结果进行了分析。论文的第五章提出了一种可以同时实现高分辨率和宽动态范围的电荷传感器,首次引入了灵敏度调节机构,解决了高分辨率和宽动态范围之间的矛盾,并对器件进行了加工和实验验证。论文的第六章对本论文的工作进行了全面的总结,进一步阐明了本论文的创新点和取得的成果,同时也对本论文的不足之处与未来的工作进行了展望。

关键词： MEMS 谐振器电荷传感器微杠杆高分辨率宽动态范围

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岩体电荷传感器标定及花岗岩三点弯曲应用试验研究

岩体电荷传感器标定及花岗岩三点弯曲应用试验研究

引用

作者：邱兆云辽宁工程技术大学

学位级别：硕士

岩体破坏过程电荷感应信号监测是预防井下动力灾害的重要方法。电荷感应信号具有非接触性、抗干扰能力强等优点,但目前还没有形成专门的电荷感应信号危险性指标对工程应用进行具体指导。本文对力电基本理论、电荷传感器工作原理及标定... 详细信息

岩体破坏过程电荷感应信号监测是预防井下动力灾害的重要方法。电荷感应信号具有非接触性、抗干扰能力强等优点,但目前还没有形成专门的电荷感应信号危险性指标对工程应用进行具体指导。本文对力电基本理论、电荷传感器工作原理及标定、非破裂因素对电荷感应信号影响和花岗岩三点弯曲应用试验进行研究,得到以下结果:(1)岩体破裂释放电荷感应信号是在加载过程中束缚态电荷畸变变成自由态电子逸出、岩体产生压电效应和摩擦起电共同作用的结果;岩体破裂释放电荷感应信号产生的电场属于涡旋电场,并对其进行简化得到电偶极子各向同性模型。(2)采用接触式标定试验和非接触式标定试验,试验结果表明:这两种标定方式可以对电荷传感器进行标定;对两种标定原理进行分析发现,非接触标定结果偏大;接触式标定试验发现,电荷传感器监测得到的信号受电荷极性影响,标定结果为45mV/pC;非接触式试验发现,当电荷敏感元件半径为10mm,敏感元件距离被测物体5mm时,标定结果为80mV/pC,传感器灵敏度为9。(3)煤岩破裂过程释放的电荷感应信号处于自然放电8.5s后幅值降低10%,电荷感应信号监测可以及时、准确的监测到煤岩破裂释放的电荷感应信号;电荷感应信号受距离影响较大,并建立了一维和二维数学公式,通过试验验证发现该公式可以反映距离对电荷感应信号的影响规律;通过对带电粒子运动速度的研究发现带电粒子运动速度越快,电荷感应信号特征值波动越大,信号频带越宽。(4)加载速度越快,岩样越容易破裂,位移越小,峰值载荷越低;跨度越大,岩样越容易破裂,峰值载荷越低。加载速度越大,花岗岩受压破裂释放的电荷感应信号峰值、均方根和标准偏差越小;跨度越大,花岗岩破裂释放的电荷感应信号脉冲数越少,累计电荷量越少。花岗岩受压破坏产生的电荷感应信号较受拉破裂释放的信号更加丰富;花岗岩在受压面和受拉面破裂释放电荷感应信号累计电荷量电性相反。电荷传感器标定方法的提出及电荷感应信号门槛值的设定为预测防治井下动力灾害提供基础。

关键词：电荷传感器电荷感应信号标定花岗岩三点弯曲

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一种基于奇异点的高灵敏度电荷传感器及其使用方法

一种基于奇异点的高灵敏度电荷传感器及其使用方法

引用

作者：张曼娜黄庆安王立峰 211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

本发明公开了一种基于奇异点的高灵敏度电荷传感器及其使用方法，包括：耦合谐振器，其置于衬底之上且包括两个呈并排放置的谐振器，其中一个为增益谐振器，另外一个为损耗谐振器，该两个谐振器通过耦合梁串联，并且具有相同的质量、相... 详细信息

标准号: CN114910714B

本发明公开了一种基于奇异点的高灵敏度电荷传感器及其使用方法，包括：耦合谐振器，其置于衬底之上且包括两个呈并排放置的谐振器，其中一个为增益谐振器，另外一个为损耗谐振器，该两个谐振器通过耦合梁串联，并且具有相同的质量、相同的刚度、大小相等但方向相反的阻尼；外部反馈控制电路，其用于调节阻尼使增益谐振器和损耗谐振器的阻尼大小相等方向相反。电荷引入的扰动使得基于奇异点的耦合谐振器由一个谐振频率分裂为两个谐振频率，通过检测两个谐振频率的分裂量即可实现对电荷的检测。

关键词：谐振器谐振频率损耗谐振器耦合谐振器大小相等方向相反电荷奇异点反馈控制电路电荷传感器并排放置高灵敏度耦合梁分裂扰动检测衬底串联引入外部

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一种基于奇异点的高灵敏度电荷传感器及其使用方法

一种基于奇异点的高灵敏度电荷传感器及其使用方法

引用

作者：张曼娜黄庆安王立峰 211189 江苏省南京市江宁区东南大学路2号

标准号: CN114910714A

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一种煤岩钻孔电荷传感器自适应居中定位装置及使用方法

一种煤岩钻孔电荷传感器自适应居中定位装置及使用方法

引用

作者：罗浩徐晓政胡树伟王伟刘乐马祥 110000 辽宁省沈阳市皇姑区崇山中路66号

本发明公开了一种煤岩钻孔电荷传感器自适应居中定位装置及使用方法，包括煤岩电荷传感器、煤岩电荷监测仪、筒状安装架和三个径向伸缩居中定位机构，煤岩电荷传感器设置在筒状安装架内部，三个径向伸缩居中定位机构沿筒状安装架的圆周... 详细信息

标准号: CN116067251A

本发明公开了一种煤岩钻孔电荷传感器自适应居中定位装置及使用方法，包括煤岩电荷传感器、煤岩电荷监测仪、筒状安装架和三个径向伸缩居中定位机构，煤岩电荷传感器设置在筒状安装架内部，三个径向伸缩居中定位机构沿筒状安装架的圆周方向均匀设置，煤岩电荷监测仪通过导线与煤岩电荷传感器连接。本发明在使用后定位板可回缩变径，方便退出卸压孔，工程实用价值显著。本发明可实现煤岩电荷传感器在卸压孔内自动居中布置不接触煤岩体，同时不阻挡电荷传感器感应电荷的运移通道。本发明可有效提高煤岩电荷监测质量和钻孔径向范围监测的均匀性，提高测试数值的精确度，为生产提供安全保障。

关键词：电荷传感器煤岩电荷监测居中定位安装架筒状径向伸缩卸压孔安全保障感应电荷后定位板居中布置均匀设置煤岩钻孔不接触均匀性煤岩体自适应变径钻孔阻挡测试监测退出生产

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一种环形电荷传感器

一种环形电荷传感器

引用

作者：张进张风涛赵旭高扬 118300 辽宁省丹东市东港市大东港区

本发明提供一种环形电荷传感器，本设计可以快速的对环形电荷传感器主体进行拆装，可以适应不同尺寸的环形电荷传感器主体使用，通过两个风扇可以在环形电荷传感器主体工作时吹风降温保护，其包括安装盒和环形电荷传感器主体，安装盒的... 详细信息

标准号: CN116625487A

本发明提供一种环形电荷传感器，本设计可以快速的对环形电荷传感器主体进行拆装，可以适应不同尺寸的环形电荷传感器主体使用，通过两个风扇可以在环形电荷传感器主体工作时吹风降温保护，其包括安装盒和环形电荷传感器主体，安装盒的两侧均设置有两个螺丝安装片，安装盒的正面开设有两个条形孔，两个条形孔内均滑动安装有条形杆，两个条形杆的外侧均设置有夹持单元，两个夹持单元均与环形电荷传感器主体相适配，安装盒内转动安装有双向螺杆，双向螺杆的两端螺纹方向相反，双向螺杆的两端与两个条形杆螺纹连接，安装盒上安装有弹性挤压机构，弹性挤压机构与环形电荷传感器主体相抵触。

关键词：电荷传感器安装盒双向螺杆条形杆弹性挤压机构夹持单元条形孔吹风降温方向相反滑动安装两端螺纹螺丝安装螺纹连接转动安装风扇拆装适配抵触

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一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器及其方法

一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器及其方法

引用

作者：谢金赵久烜 310027 浙江省杭州市西湖区玉古路38号

本发明公开了一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器及其方法。它包括锚点、双端固定音叉谐振单元、驱动电极、感应电极、两个柔性杠杆、电荷输入端，双端固定音叉谐振单元的一端与锚点相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠... 详细信息

标准号: CN103954305A

本发明公开了一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器及其方法。它包括锚点、双端固定音叉谐振单元、驱动电极、感应电极、两个柔性杠杆、电荷输入端，双端固定音叉谐振单元的一端与锚点相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠杆包括相互连接的柔性杠杆支点、柔性杠杆输入端、柔性杠杆输出端，双端固定音叉谐振单元与驱动电极、感应电极相耦合，柔性杠杆与电荷输入端相耦合。采用双端固定音叉作为谐振单元，谐振时的能量损失小；通过柔性杠杆放大由输入电荷引起的静电力，增大谐振频率的改变量，得到较高的分辨率，能够测得微小的电荷量；器件的结构简单，可以在室温环境下工作，易于实现批量生产。

关键词：柔性杠杆固定音叉谐振单元双端电荷感应电极驱动电极耦合输入端锚点电荷传感器能量损失室温环境谐振频率谐振电荷量分辨率静电力输出端谐振式放大连接

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一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器及其方法

一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器及其方法

引用

作者：谢金赵久烜 310027 浙江省杭州市西湖区玉古路38号

标准号: CN103954305B

关键词：柔性杠杆双端固定谐振单元音叉电荷输入感应电极驱动电极两个锚点电荷传感器能量损失室温环境输入电荷相互连接谐振频率相连谐振耦合电荷量分辨率改变量静电力输出端输入端相耦合谐振式一种放大增大公开工作

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一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器

一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器

引用

作者：谢金赵久烜 310027 浙江省杭州市浙大路38号

本实用新型公开了一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器。它包括锚点、双端固定音叉谐振单元、驱动电极、感应电极、两个柔性杠杆、电荷输入端，双端固定音叉谐振单元的一端与锚点相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠杆包... 详细信息

标准号: CN203929902U

本实用新型公开了一种带有柔性杠杆的MEMS谐振式电荷传感器。它包括锚点、双端固定音叉谐振单元、驱动电极、感应电极、两个柔性杠杆、电荷输入端，双端固定音叉谐振单元的一端与锚点相连，另一端与两个柔性杠杆相连，所述的柔性杠杆包括相互连接的柔性杠杆支点、柔性杠杆输入端、柔性杠杆输出端，双端固定音叉谐振单元与驱动电极、感应电极相耦合，柔性杠杆与电荷输入端相耦合。采用双端固定音叉作为谐振单元，谐振时的能量损失小；通过柔性杠杆放大由输入电荷引起的静电力，增大谐振频率的改变量，得到较高的分辨率，能够测得微小的电荷量；器件的结构简单，可以在室温环境下工作，易于实现批量生产。

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一种防高压电荷传感器

一种防高压电荷传感器

引用

作者：沈海强沈海铭周文军 200241 上海市闵行区虹梅南路4999弄15号104室

本实用新型公开了一种防高压电荷传感器，该电荷传感器包括壳体、设置于该壳体第一端用于与输入电缆连接的输入端、设置于该壳体第二端用于固定该电荷传感器的固定端，该输入端设有与该壳体螺接的保护盖，该保护盖上设有供该输入电缆穿... 详细信息

标准号: CN206038780U

本实用新型公开了一种防高压电荷传感器，该电荷传感器包括壳体、设置于该壳体第一端用于与输入电缆连接的输入端、设置于该壳体第二端用于固定该电荷传感器的固定端，该输入端设有与该壳体螺接的保护盖，该保护盖上设有供该输入电缆穿过的通孔，该固定端设有用于固定该电荷传感器的螺纹孔，该壳体内设有传感器本体，该壳体内还设有串联至该传感器本体电源正极输入端、并用于根据输入电压高低控制电路导通或断开的电源模块。

关键词：电荷传感器传感器本体输入电缆保护盖固定端输入端体内电源正极输入端本实用新型壳体第二端壳体第一端电路导通电源模块高低控制高压电荷输入电压壳体螺螺纹孔传感器壳体通孔断开串联穿过

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