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  • 116 篇 专利

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  • 116 篇 电子文献
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  • 10 篇 上海华虹宏力半导...
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  • 2 篇 精工爱普生株式会...
  • 2 篇 清华大学
  • 2 篇 大连海事大学

作者

  • 6 篇 吴立群
  • 6 篇 王洪成
  • 6 篇 周毅
  • 6 篇 于大全
  • 6 篇 张俐楠
  • 4 篇 川端克彦
  • 4 篇 李越
  • 4 篇 刘善善
  • 4 篇 郑伟
  • 4 篇 程从秀
  • 3 篇 加藤史仁
  • 3 篇 项敏
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  • 3 篇 高桥敏幸
  • 3 篇 周波
  • 3 篇 李耀超
  • 3 篇 笠井隆
  • 3 篇 闫志国
  • 3 篇 温万昱
  • 3 篇 朱黎敏

语言

  • 116 篇 中文
检索条件"主题词=硅基板表面"
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用于织构化硅基板表面的工艺、结构化基板和包括结构化基板的光伏装置
用于织构化硅基板表面的工艺、结构化基板和包括结构化基板的光伏...
收藏 引用
作者: N.哈布卡 P.布尔津 P.罗卡伊卡巴洛卡斯 法国皮托
本发明涉及用于织构化硅基板表面的方法,包括将所述表面暴露于MDECR等离子体的步骤,该MDECR等离子体由氩气在矩阵分布式电子回旋共振等离子体源中产生,其中等离子体功率在1.5W/cm2至6.5W/cm2的范围内,基板的偏压在100V至300V的范围内。
来源: 评论
用于织构化硅基板表面的工艺、结构化基板和包括结构化基板的光伏装置
用于织构化硅基板表面的工艺、结构化基板和包括结构化基板的光伏...
收藏 引用
作者: N.哈布卡 P.布尔津 P.罗卡伊卡巴洛卡斯 法国皮托
本发明涉及用于织构化硅基板表面的方法,包括将所述表面暴露于MDECR等离子体的步骤,该MDECR等离子体由氩气在矩阵分布式电子回旋共振等离子体源中产生,其中等离子体功率在1.5W/cm2至6.5W/cm2的范围内,基板的偏压在100V至300V的范围内。
来源: 评论
太阳能电池用结晶系硅基板表面处理方法及太阳能电池的制造方法
太阳能电池用结晶系硅基板的表面处理方法及太阳能电池的制造方法
收藏 引用
作者: 金炳埈 韩国京畿道
本发明涉及太阳能电池,更具体地涉及处理结晶系硅基板表面的太阳能电池用结晶系硅基板表面处理方法及太阳能电池的制造方法。本发明所涉及的太阳能电池用结晶系硅基板表面处理方法包括:将在结晶系硅锭处切片的结晶系硅基板用酸性... 详细信息
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太阳能电池用结晶系硅基板表面处理方法及太阳能电池的制造方法
太阳能电池用结晶系硅基板的表面处理方法及太阳能电池的制造方法
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作者: 金炳埈 韩国忠清南道
本发明涉及太阳能电池,更具体地涉及处理结晶系硅基板表面的太阳能电池用结晶系硅基板表面处理方法及太阳能电池的制造方法。本发明所涉及的太阳能电池用结晶系硅基板表面处理方法包括:将在结晶系硅锭处切片的结晶系硅基板用酸性... 详细信息
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硅基板表面剥离方法
硅基板的表面剥离方法
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作者: 柳奉宁 梁畅烈 刘圣国 韩国京畿道
本发明提供一种通过连续的湿法沉积工序和低温工序能够均匀地剥离硅基板表面硅基板表面剥离方法。本发明的硅基板表面剥离方法包括:在硅基板表面形成纳米孔的步骤;通过无电解沉积方式,在形成有纳米孔的硅基板表面形成金属种... 详细信息
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硅基板表面剥离方法
硅基板的表面剥离方法
收藏 引用
作者: 柳奉宁 梁畅烈 刘圣国 韩国京畿道
本发明提供一种通过连续的湿法沉积工序和低温工序能够均匀地剥离硅基板表面硅基板表面剥离方法。本发明的硅基板表面剥离方法包括:在硅基板表面形成纳米孔的步骤;通过无电解沉积方式,在形成有纳米孔的硅基板表面形成金属种... 详细信息
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基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法
基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法
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作者: 张俐楠 程从秀 郑伟 吴立群 王洪成 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道2号大街1号
本发明公开了一种基于激光控制纳米结构硅基表面形态的研究方法:一、分别用不同导热率的材料接触纳米结构的硅基板;二、激光照射纳米结构的硅基板表面;三、观察硅基表面形态,并测量硅基表面凸起的长径比。四、总结硅基表面形态的变... 详细信息
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具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器及其制造方法
具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器及其制造方法
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作者: 万珍平 周波 温万昱 闫志国 张华杰 谭振豪 李耀超 510640 广东省广州市天河区五山路381号
本发明公开了一种具有电流体动力微泵的硅基微通道换热器及其制造方法,硅基微通道换热器由硅基板和具有电流体动力微泵的氮化铝顶板通过键合密封而成,所述的硅基板表面通过反应离子蚀刻法蚀刻出微沟槽,形成冷却液丙酮的流动通道以及... 详细信息
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在太阳能电池制造中用于改善低粘度印刷的湿化学抛光方法
在太阳能电池制造中用于改善低粘度印刷的湿化学抛光方法
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作者: 吉娜维芙·A·所罗门 斯科特·哈林顿 坎恩·伍 保罗·卢斯科托福 邬俊波 史蒂文·爱德华·莫里萨 美国加利福尼亚州
本发明公开了一种制造太阳能电池的方法。所述方法包括在硅基板上形成抛光表面以及在所述抛光表面上以交叉图案形成第一可流动基体,其中所述抛光表面允许所述第一可流动基体形成包含厚度和宽度均匀的特征部的交叉图案。在一个实施例中... 详细信息
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大面阵纳米针结构制备方法及装置
大面阵纳米针结构制备方法及装置
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作者: 汪家道 马原 李轩 100084 北京市海淀区清华园
本发明公开了一种大面阵纳米针结构制备方法及装置,包括:利用张力梯度驱动微、纳米颗粒在液气界面形成大面积自组装结构,并将其转移至硅基板表面。利用氧气反应离子刻蚀技术对大面积自组装结构中的颗粒直径进行调整,以形成非紧密排... 详细信息
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