检索结果-内蒙古大学图书馆

国外传感技术 2003年第6期13卷 210-214页

本文介绍一种适于航天飞行用的新型伺服加速度计。它采用电容工作方式，其特点是灵敏度高，体积小。文中介绍其工作原理、制作方法及试验结果。加速度计工作量程为±0．001g～±lg，在此量程范围内分4段供选择转换。试验结果表... 详细信息

本文介绍一种适于航天飞行用的新型伺服加速度计。它采用电容工作方式，其特点是灵敏度高，体积小。文中介绍其工作原理、制作方法及试验结果。加速度计工作量程为±0．001g～±lg，在此量程范围内分4段供选择转换。试验结果表明，此种新型加速度计的分辨率业已达到10^-6g，最低和最高工作频率分别为0～100Hz和0～3kHz。

关键词：工作原理制作方法分辨率硅微加速度计

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

硅微加速度计产品技术发展概览

引用

海陆空天惯性世界 2025年第2期 151-152页

作者：秦和平胡利不详

国内技术发展现状电容式硅微加速度计MEMS加速度计的研究能追溯到20世纪80年代,1995年科技部设立了“微电子机械系统项目”,使得国内关于MEMS加速度计的探索和研究速度急剧上升。目前,国内关于MEMS加速度计的研究主要集中于高校和科研院... 详细信息

国内技术发展现状电容式硅微加速度计MEMS加速度计的研究能追溯到20世纪80年代,1995年科技部设立了“微电子机械系统项目”,使得国内关于MEMS加速度计的探索和研究速度急剧上升。目前,国内关于MEMS加速度计的研究主要集中于高校和科研院所,如清华大学、哈尔滨工业大学、国防科技大学、浙江大学、东南大学、上海微系统所、河北半导体研究所、北京航天控制仪器研究所等。

关键词： MEMS加速度计微电子机械系统硅微加速度计国防科技大学仪器研究所北京航天技术发展现状哈尔滨工业大学

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

硅微加速度计产品技术发展概览 2

引用

海陆空天惯性世界 2025年第1期 151-152页

作者：秦和平胡利不详

2024年,美国MEI Micro,Inc.公司发布了一款两用导航级低C-SWaP单敏感质量三轴硅微加速度计(见图7、图8、图9):在±10g范围内,速度随机游走(VRW)为3μg/Hz^(1/2),偏差不稳定性为7μg。该加速度计是在其新近开发完成的一种芯片级多轴M... 详细信息

2024年,美国MEI Micro,Inc.公司发布了一款两用导航级低C-SWaP单敏感质量三轴硅微加速度计(见图7、图8、图9):在±10g范围内,速度随机游走(VRW)为3μg/Hz^(1/2),偏差不稳定性为7μg。该加速度计是在其新近开发完成的一种芯片级多轴MEMS惯性传感器工艺平台(3DS MEMS)上推出的首款产品,该工艺平台首次实现了将战术级/导航级多轴加速度计和陀螺仪集成到单个芯片,并能进行MEMS器件晶圆级真空封装,实现6轴运行,拥有从战术级到导航级的性能。

关键词：真空封装 3DS 硅微加速度计 MEMS器件随机游走晶圆级芯片级工艺平台

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

硅微加速度计

引用

导航与控制 2005年第4期12卷 20-20页

作者：邢朝洋赵采凡（审核）

硅微加速度计（硅微机械加速度计）是一种微电子技术和微机械加工技术相结合的惯性仪表。其检测质量可以做到几毫克，硅微加速度计敏感元件采用单晶硅或多晶硅材料制作而成，加工工艺包括体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺和HGA工... 详细信息

硅微加速度计（硅微机械加速度计）是一种微电子技术和微机械加工技术相结合的惯性仪表。其检测质量可以做到几毫克，硅微加速度计敏感元件采用单晶硅或多晶硅材料制作而成，加工工艺包括体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺和HGA工艺等。硅微加速度计按照控制方式可分为开环工作方式和闭环工作方式。按照信号检测方式可分为电阻式、电容式和隧道电流式等。

关键词：硅微加速度计微机械加工工艺微机械加工技术硅微机械加速度计微电子技术惯性仪表检测质量敏感元件控制方式检测方式

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

硅微加速度计的接口检测电路的研究

引用

仪器仪表学报 2000年第2期21卷 170-172页

作者：李万玉阮爱武罗晋生冯培德航空工业总公司第618研究所七室西安710065 西北工业大学自动控制系西安710072 西安交通大学电子与信息学院西安710049

研究了微加速度计的电容变化率为 10 - 7～ 10 - 8时的微弱输出信号的检测技术 ,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上 ,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术 ,以及抑... 详细信息

研究了微加速度计的电容变化率为 10 - 7～ 10 - 8时的微弱输出信号的检测技术 ,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电容变化量的积分电路的基础上 ,进一步采用了可抑制低频噪声和漂移的相关双采样技术 ,以及抑制由开关的电荷注入引起的误差的技术。这些全新的技术思路和措施可望达到检测 10 - 7～ 10 -

关键词：硅微加速度计寄生电容积分电路电荷注入

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

叉指式硅微加速度计的结构设计

引用

清华大学学报（自然科学版） 1998年第11期38卷 38-41页

作者：袁光丁衡高高钟毓董景新清华大学精密仪器与机械学系

为了满足对中等精度的微机械加速度计的需求，讨论了一种硅片溶解法制造的平面叉指式加速度计，其敏感轴平行于检测质量平面。为了分析该种加速度计的分辨率和固有频率，分析了其机械模型和数值解，并且用有限元方法对几种设计尺寸进行... 详细信息

为了满足对中等精度的微机械加速度计的需求，讨论了一种硅片溶解法制造的平面叉指式加速度计，其敏感轴平行于检测质量平面。为了分析该种加速度计的分辨率和固有频率，分析了其机械模型和数值解，并且用有限元方法对几种设计尺寸进行了仿真。着重研究了几个关键尺寸，如检测质量厚度和梁的宽度的改变对分辨率和固有频率的影响，并且给出了此种结构在当前条件下的所能得到的测量分辨率极限。最后，给出了两种尺寸的设计，其大小约为１．５ｍｍ×１．５ｍｍ，检测质量厚１０μｍ和１５μｍ，相对于当地重力加速度，分辨率分别为５×１０－３和３×１０－３。

关键词：加速度计有限元叉指式硅微加速度计

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

硅微加速度计输出信号的检测及处理技术研究

硅微加速度计输出信号的检测及处理技术研究

引用

作者：李万玉西安交通大学

学位级别：博士

该文研究的意义在于,为国内外正在致力研究的硅微加速度计的弱信号检测技术探索设计理论和方法,研究设计过程中的技术难点,并为克服技术难题提出了可能实现的解决方案与途径,研究内容具有普遍意义,不仅适用于硅微加速度计,而且适用于硅... 详细信息

该文研究的意义在于,为国内外正在致力研究的硅微加速度计的弱信号检测技术探索设计理论和方法,研究设计过程中的技术难点,并为克服技术难题提出了可能实现的解决方案与途径,研究内容具有普遍意义,不仅适用于硅微加速度计,而且适用于硅微陀螺仪、硅微压力传感器、硅微执行器等多种微机传感器的微弱信号检测.

关键词：硅微加速度计敏感元件检测电路 VHDL语言检测灵敏度 FPGA技术

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

硅微加速度计的特性及应用研究

硅微加速度计的特性及应用研究

引用

作者：高强业国防科学技术大学

学位级别：硕士

集成电路及MEMS技术的高速发展，极大地促进了硅微惯性传感器的开发与应用。目前在各个领域，硅微惯性传感器正呈现商业化、产业化的应用前景。硅微惯性传感器的主要优点是：微型化、集成化、低成本、低功耗、可靠性高等。但是，目前国... 详细信息

集成电路及MEMS技术的高速发展，极大地促进了硅微惯性传感器的开发与应用。目前在各个领域，硅微惯性传感器正呈现商业化、产业化的应用前景。硅微惯性传感器的主要优点是：微型化、集成化、低成本、低功耗、可靠性高等。但是，目前国内外研制出来的硅微惯性传感器大都精度较低，这在很大程度上限制了硅微惯性传感器的应用。同时，在许多实际应用中，希望通过对加速度的测量来估计速度及位移。鉴此，本论文以美国ADI公司研制的双轴硅微加速度测量器件ADXL202作为主要研究对象，通过它测量运动物体的线加速度，进而运用一定的算法(主要是卡尔曼滤波)滤除噪声并估计出运动物体的速度和位移。其主要内容有： 1．对ADXL202的工作原理、一般特性进行详细地论述，对ADXL202的应用电路设计及校准进行探讨，并详细地阐述了本课题的实验系统，对ADXL202的静态特性和动态特性进行分析和研究； 2．介绍一种建立加速度计状态空间模型的方法，并在此基础上，重点阐述标准卡尔曼滤波算法和Sage & Husa自适应卡尔曼滤波算法及其应用，这是本论文重点论述的内容； 3．巴特沃思(Butterworth)数字滤波器的设计和应用，以及滤波后加速度信号的积分运算，以估计出运动平台的速度及位移。

关键词：硅微加速度计标准卡尔曼滤波器自适应卡尔曼滤波器状态估计巴特沃思滤波器

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

扭摆式硅微加速度计的研究

引用

仪器仪表学报 2000年第1期21卷 32-34页

作者：罗晓章周百令东南大学仪器科学与工程系南京210096

扭摆式硅微加速度计是一种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件 ,在许多领域都有极其广泛的应用 ,是当今微米 /纳米技术发展的一个主要方向。本文论述了结构组成 ,分析了工作机理 ,探讨了提高灵敏度的途径 ,最后给出了制造工艺和测试... 详细信息

扭摆式硅微加速度计是一种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件 ,在许多领域都有极其广泛的应用 ,是当今微米 /纳米技术发展的一个主要方向。本文论述了结构组成 ,分析了工作机理 ,探讨了提高灵敏度的途径 ,最后给出了制造工艺和测试结果。

关键词：扭摆式硅微加速度计惯性器件灵敏度

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

虚拟现实技术在硅微加速度计设计中的应用

引用

吉首大学学报（自然科学版） 2002年第2期23卷 24-27页

作者：谢少荣罗均赵新卢桂章上海大学机械电子工程与自动化学院上海200072 南开大学机器人与信息自动化研究所天津300071

给出了硅微加速度计基于虚拟现实技术的实现步骤 ,并在基于微机实验平台上创建了其虚拟环境 ,通过拟实运行验证了将虚拟现实技术应用于硅微加速度计设计中的可行性及实现步骤的正确性。

关键词：虚拟现实硅微加速度计拟实运行参数优化设计方法微电子工艺虚拟环境

来源：评论

学校读者我要写书评

暂无评论

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：