检索结果-内蒙古大学图书馆

作者：高驰名西安电子科技大学

学位级别：硕士

目前已受到国内外广泛关注的硅微机械加速度计,有许多极具诱惑力的特殊优点,但硅微机械系统普遍存在零位偏移大、启动时间过长、动态性能差的缺点,而由于其体积小,干扰因素多,直接检测其动态性能非常困难。零位偏移是衡量微加速度计动... 详细信息

目前已受到国内外广泛关注的硅微机械加速度计,有许多极具诱惑力的特殊优点,但硅微机械系统普遍存在零位偏移大、启动时间过长、动态性能差的缺点,而由于其体积小,干扰因素多,直接检测其动态性能非常困难。零位偏移是衡量微加速度计动态特性的重要指标,研究微加速度计的动态特性,从理论分析入手,寻找导致其零位偏移的原因,对硅微机械系统的理论与应用有重要的意义。本文结合微电子机械系统(MEMS)中常用的传感器—电容齿梳硅微机械加速度计的研究,分析了导致微机械传感器零位偏移各种可能因素。全文介绍了常用的微结构静电力的计算及微加速度计的检测原理,介绍了微结构中考虑气体可压缩性的气膜阻尼理论,介绍了线微加速度计的静电驱动模型,并跟据某微加速度计的参数仿真、分析出了理想的微加速度计动态响应曲线。建立了加速度计中弹性微梁的有限元模型,计算了折叠梁的等效刚度,利用ANSYS软件对弹性微梁进行了模态分析,提取了弹性微梁的五个非敏感自由度上的固有频率及固有振型,分析了弹性微梁对加速度计零位偏移的影响。建立了考虑加工误差的微加速度计的检测模型,分析了加工误差对加速度计检测零位的影响,分析了检测电路和系统噪声对系统检测零位的影响。建立了考虑气体压膜阻尼的微加速度计机电动力学模型,分析了压膜阻尼对加速度计检测零位的影响。

关键词：硅微机械加速度计零位偏移压膜阻尼

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谐振原理在硅微机械加速度计中的应用

引用

传感器技术 2002年第4期21卷 1-3页

作者：钟莹张国雄李醒飞天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072

将谐振原理应用于硅微机械加速度计中 ,可以改善后者输出信号的质量 ,降低检测难度。随着微机电系统工艺的发展。

关键词：谐振原理硅微机械加速度计微机电系统

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硅微机械加速度计

硅微机械加速度计

引用

作者：陶永康刘云峰董景新 100084 北京市海淀区100084-82信箱

本发明提出一种硅微机械加速度计，包括：敏感装置、第一支撑梁、应力缓冲装置、第二支撑梁、键合锚区和基底，其中，敏感装置通过第一支撑梁与应力缓冲装置相连；应力缓冲装置通过第二支撑梁与键合锚区相连；键合锚区与基底键合连接。... 详细信息

标准号: CN103983807B

本发明提出一种硅微机械加速度计，包括：敏感装置、第一支撑梁、应力缓冲装置、第二支撑梁、键合锚区和基底，其中，敏感装置通过第一支撑梁与应力缓冲装置相连；应力缓冲装置通过第二支撑梁与键合锚区相连；键合锚区与基底键合连接。本发明提出的硅微机械加速度计能够降低传感器零位输出随环境温度和外界应力变化的漂移，提高硅微机械加速度计的综合精度和环境适应性。

关键词：硅微机械加速度计应力缓冲装置键合锚区第二支撑梁第一支撑梁敏感装置漂移环境适应性基底键合零位输出应力变化传感器基底

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基于谐振原理的硅微机械加速度计

引用

微纳电子技术 2003年第7期40卷 271-273页

作者：贾玉斌郝一龙钟莹张嵘北京大学微电子学研究所北京100871 天津大学精仪学院天津300072 清华大学精仪系北京100084

基于力学振动原理 ,导出敏感梁类谐振振动的微分方程 ,给出了振梁型加速度计的设计原理。指出了加速度计谐振梁频率的相对变化量与梁的厚度无关 ;为避免输出非线性频率信号。

关键词：谐振原理硅微机械加速度计类谐振器非线性频率激励振动谐振传感器

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一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

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作者：申强张学优李鹏周玮郝永存常洪龙雷雨秋董勤晓刘宗杰 710072 陕西省西安市友谊西路127号

本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方；所述器件层1由框架式结... 详细信息

标准号: CN112881755A

本发明公开了一种具有高振型稳定性、宽频率响应特征的电容式硅微机械加速度计结构，属于惯性技术和微机电系统(MEMS)领域。该加速度计依次包括基底硅体3、锚点2和器件层1。器件层1通过锚点2悬置于基底硅体3上方；所述器件层1由框架式结构4和弹性梁组5构成；所述框架式结构4为方形外围框架结构4‑2和连接中央横梁4‑1组成的“日”字形结构。该加速度计结构具有易于加工、结构误差免疫工艺误差等特点，八爪构型特征的结构显著提高面内振型稳定性，内框架的弹性梁和锚点约束抑制面外振动，该器件结构能够有效压缩有用振型至一阶模态，将多个有害振型排挤至二阶及以上的高阶模态，有效隔离高阶有害振型对一阶有用振型的影响，显著提升了加速度计结构在高频响应范围的振型稳定性，提高了器件精度。

关键词：振型器件层锚点加速度计结构框架式结构弹性梁基底硅硅微机械加速度计微机电系统高阶模态高频响应工艺误差构型特征惯性技术加速度计结构误差器件结构外围框架响应特征一阶模态有效隔离中央横梁字形结构电容式宽频率内框架八爪二阶高阶一阶排挤压缩加工

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一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

一种高振型稳定性的宽频响硅微机械加速度计

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作者：申强张学优李鹏周玮郝永存常洪龙雷雨秋董勤晓刘宗杰 710072 陕西省西安市友谊西路127号

标准号: CN112881755B

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微机电惯性仪表

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导航与控制 2005年第4期12卷 49-50页

作者：王巍赵采凡（审核）

微机电惯性仪表是指无机械运动的微型集成化惯性仪表，如集成化的光纤陀螺或力传感器，是20世纪80年代以来采用新兴的MEMS技术研制和开发的微小型化惯性仪表。根据所用基体材料的不同，分为硅微惯性仪表和石英谐振类惯性仪表。硅微惯性... 详细信息

微机电惯性仪表是指无机械运动的微型集成化惯性仪表，如集成化的光纤陀螺或力传感器，是20世纪80年代以来采用新兴的MEMS技术研制和开发的微小型化惯性仪表。根据所用基体材料的不同，分为硅微惯性仪表和石英谐振类惯性仪表。硅微惯性仪表包括：硅微机械陀螺仪、硅微机械加速度计及其组成的硅微型惯测组合。

关键词：惯性仪表微机电硅微机械陀螺仪 20世纪80年代硅微机械加速度计机械运动力传感器光纤陀螺微小型化技术研制

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硅微加速度计

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导航与控制 2005年第4期12卷 20-20页

作者：邢朝洋赵采凡（审核）

硅微加速度计（硅微机械加速度计）是一种微电子技术和微机械加工技术相结合的惯性仪表。其检测质量可以做到几毫克，硅微加速度计敏感元件采用单晶硅或多晶硅材料制作而成，加工工艺包括体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺和HGA工... 详细信息

硅微加速度计（硅微机械加速度计）是一种微电子技术和微机械加工技术相结合的惯性仪表。其检测质量可以做到几毫克，硅微加速度计敏感元件采用单晶硅或多晶硅材料制作而成，加工工艺包括体微机械加工工艺、表面微机械加工工艺和HGA工艺等。硅微加速度计按照控制方式可分为开环工作方式和闭环工作方式。按照信号检测方式可分为电阻式、电容式和隧道电流式等。

关键词：硅微加速度计微机械加工工艺微机械加工技术硅微机械加速度计微电子技术惯性仪表检测质量敏感元件控制方式检测方式

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