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T=题名（书名、题名），A=作者（责任者），K=主题词，P=出版物名称，PU=出版社名称，O=机构（作者单位、学位授予单位、专利申请人），L=中图分类号，C=学科分类号，U=全部字段，Y=年（出版发行年、学位年度、标准发布年）

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AND代表“并且”；OR代表“或者”；NOT代表“不包含”；(注意必须大写,运算符两边需空一格)

检索范例：

范例一：(K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 AND Y=1982-2016
范例二：P=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT K=Visual AND Y=2011-2016

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70 篇 专利
14 篇 期刊文献
12 篇 学位论文
5 篇 会议

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学科分类号

17 篇 理学
- 16 篇 物理学
- 2 篇 化学
- 1 篇 大气科学
15 篇 工学
- 6 篇 电子科学与技术（可...
- 5 篇 航空宇航科学与技...
- 4 篇 材料科学与工程（可...
- 1 篇 光学工程
- 1 篇 动力工程及工程热...
- 1 篇 计算机科学与技术...
- 1 篇 化学工程与技术
- 1 篇 兵器科学与技术
1 篇 管理学
- 1 篇 管理科学与工程(可...

主题

31 篇 表面波等离子体
4 篇 表面等离子体激元
4 篇 狭缝天线
3 篇 粒子模拟
3 篇 微波放电
3 篇 电子密度
2 篇 均匀性
2 篇 等离子体浸没离子...
2 篇 数值模拟
2 篇 潘宁效应
2 篇 介质波导
2 篇 表面等离激元
2 篇 电子温度
2 篇 平流层飞艇
1 篇 等离子体源
1 篇 等离子体推进
1 篇 分解
1 篇 中性环路放电
1 篇 stark展宽
1 篇 探针测量

机构

33 篇 北京北方华创微电...
8 篇 大连理工大学
7 篇 东京毅力科创株式...
6 篇 华中科技大学
5 篇 上海工程技术大学
4 篇 复旦大学
4 篇 中芯国际集成电路...
4 篇 安徽理工大学
4 篇 韩国基础科学支援...
4 篇 盐城工学院
3 篇 装备学院
3 篇 大连海事大学
2 篇 成都理工大学
2 篇 北京北方微电子基...
2 篇 中国科学院等离子...
2 篇 西北工业大学
2 篇 中国航天空气动力...
2 篇 上海海事大学
2 篇 佛山市思博睿科技...
1 篇 中国航天科工集团...

作者

17 篇 韦刚
12 篇 昌锡江
8 篇 王桂滨
8 篇 刘春明
7 篇 赵晓丽
6 篇 陈兆权
5 篇 池田太郎
5 篇 陈传杰
4 篇 柏锦枝
4 篇 长田勇辉
4 篇 张海洋
4 篇 夏广庆
4 篇 刘铉钟
4 篇 张城龙
4 篇 卫晶
4 篇 胡希伟
4 篇 刘明海
3 篇 李寿哲
3 篇 丰松江
3 篇 徐涛

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101 篇 中文

检索条件"主题词=表面波等离子体"

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表面波等离子体装置

表面波等离子体装置

引用

作者：王桂滨韦刚 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本发明提供一种表面波等离子体装置，包括谐振板，在谐振板的远离反应腔室的一个表面上形成有凹槽，该凹槽中可分离的填充有介质结构，用于调节反应腔室中的等离子体分布均匀性。本发明提供的表面波等离子体装置，其不仅可以提高调节等... 详细信息

标准号: CN110769585B

本发明提供一种表面波等离子体装置，包括谐振板，在谐振板的远离反应腔室的一个表面上形成有凹槽，该凹槽中可分离的填充有介质结构，用于调节反应腔室中的等离子体分布均匀性。本发明提供的表面波等离子体装置，其不仅可以提高调节等离子体分布均匀性的便捷性、灵活性，而且还可以避免腔室颗粒增加、谐振板下表面不平整的问题。

关键词：谐振板表面波等离子体等离子体分布反应腔室均匀性介质结构便捷性可分离下表面腔室填充平整

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表面波等离子体加工设备

表面波等离子体加工设备

引用

作者：赵晓丽 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本发明提供一种表面波等离子体加工设备，其包括反应腔室、设置在反应腔室上方的中心谐振腔、设置在中心谐振腔与反应腔室之间的介质窗、用于向中心谐振腔传输微波的微波传输机构以及微波源机构，其特征在于，还包括边缘增强结构，用于... 详细信息

标准号: CN110911260B

本发明提供一种表面波等离子体加工设备，其包括反应腔室、设置在反应腔室上方的中心谐振腔、设置在中心谐振腔与反应腔室之间的介质窗、用于向中心谐振腔传输微波的微波传输机构以及微波源机构，其特征在于，还包括边缘增强结构，用于增加反应腔室内对应介质窗边缘区域的等离子体密度，以补偿由中心谐振腔产生的等离子体对应介质窗边缘区域与对应介质窗中心区域之间的差异。本发明提供的表面波等离子体加工设备，其可以提高工艺均匀性。

关键词：介质窗谐振腔反应腔室等离子体表面波等离子体边缘区域加工设备工艺均匀性边缘增强传输微波微波传输中心区域反应腔微波源室内

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表面波等离子体加工设备

表面波等离子体加工设备

引用

作者：王桂滨韦刚 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本发明提供一种表面波等离子体加工设备，包括反应腔室和设置在反应腔室顶部的谐振腔，谐振腔的底壁设置有介质窗，还包括介质板，介质板设置于谐振腔的底壁的下方，其中，介质板在谐振腔的底壁上的正投影遮挡至少部分介质窗以及至少部... 详细信息

标准号: CN110797250B

本发明提供一种表面波等离子体加工设备，包括反应腔室和设置在反应腔室顶部的谐振腔，谐振腔的底壁设置有介质窗，还包括介质板，介质板设置于谐振腔的底壁的下方，其中，介质板在谐振腔的底壁上的正投影遮挡至少部分介质窗以及至少部分介质窗以外的区域。本发明提供的表面波等离子体加工设备能够使反应腔室中的等离子体的密度分布更加均匀，从而提高刻蚀均匀性。

关键词：谐振腔反应腔室介质板介质窗底壁表面波等离子体加工设备等离子体刻蚀均匀性密度分布正投影遮挡

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一种表面波等离子体发生装置及半导体工艺设备

一种表面波等离子体发生装置及半导体工艺设备

引用

作者：昌锡江区琼荣韦刚黄亚辉 100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号

本发明提供一种表面波等离子体装置，利用连接腔连接谐振腔和矩形波导，将螺钉探针经由矩形波导和连接腔伸入谐振腔内部，从而将微波能量馈入连接腔和谐振腔，通过在谐振腔的底壁设置多个石英窗口，使得微波在谐振腔内形成的驻波的电场... 详细信息

标准号: CN117794040A

本发明提供一种表面波等离子体装置，利用连接腔连接谐振腔和矩形波导，将螺钉探针经由矩形波导和连接腔伸入谐振腔内部，从而将微波能量馈入连接腔和谐振腔，通过在谐振腔的底壁设置多个石英窗口，使得微波在谐振腔内形成的驻波的电场能够通过各石英窗口耦合进入真空腔室，并在真空腔室内激发等离子体；多个石英窗口可以等效为多个等离子体源，相对于现有的单一等离子体源来说，可以使真空腔室内等离子体大面积均匀化，从而满足大尺寸的晶片加工需求。

关键词：谐振腔石英窗口连接腔等离子体源矩形波导真空腔等离子体表面波等离子体室内等离子体电场和谐振腔晶片加工微波能量真空腔室螺钉耦合均匀化底壁馈入伸入探针驻波微波室内激发

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一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统

一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统

引用

作者：陈传杰彭东宇宋法根沈兆军周锋王如刚 224051 江苏省盐城市盐南高新区新河街道办事处新怡社区新园路20号1幢401室

本发明提供一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统，其主要由微波发生与传输系统、微波功率测量系统、表面波发生器、不规则表面波导管和供气系统组成。微波发生与传输系统由微波功率源、环形器、双向定向耦合器、三销钉... 详细信息

标准号: CN117545163A

本发明提供一种基于不规则表面波导管的大气压表面波等离子体系统，其主要由微波发生与传输系统、微波功率测量系统、表面波发生器、不规则表面波导管和供气系统组成。微波发生与传输系统由微波功率源、环形器、双向定向耦合器、三销钉调配器依次相连。不规则表面波导管包括锥直形管、分叉形管以及两种形状的组合。本发明可以产生气体温度可控的大气压脉冲调制表面波等离子体，采用锥直形管配置射流形貌，采用分叉形管得到多束等离子体射流。这不仅满足不同加工精度的需求，而且能够大大降低微波能耗，提高能量利用效率。

关键词：不规则表面波导管表面波等离子体微波传输系统分叉形直形管形貌表面波发生器等离子体射流能量利用效率三销钉调配器微波功率测量微波功率源供气系统脉冲调制双向定向温度可控依次相连环形器耦合器射流能耗配置加工

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天线机构及表面波等离子体加工设备

天线机构及表面波等离子体加工设备

引用

作者：王乐赵晓丽 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本发明提供一种天线机构及表面波等离子体加工设备，该天线机构包括调整支架及由下而上依次叠置在调整支架上的介质窗、狭缝板和慢波板，狭缝板包括：狭缝本体，叠置在介质窗与慢波板之间；弹性结构，位于介质窗的外侧，且分别与狭缝本... 详细信息

标准号: CN111640642B

本发明提供一种天线机构及表面波等离子体加工设备，该天线机构包括调整支架及由下而上依次叠置在调整支架上的介质窗、狭缝板和慢波板，狭缝板包括：狭缝本体，叠置在介质窗与慢波板之间；弹性结构，位于介质窗的外侧，且分别与狭缝本体和调整支架连接，并且弹性结构能够在介质窗下移时，在慢波板的重力作用下产生弹性变形，以使狭缝本体的下表面与介质窗的上表面保持接触。本发明提供的天线机构，其可以提高微波能量传输的稳定性，从而避免对等离子体的形成产生不良影响。

关键词：介质窗调整支架天线机构慢波板狭缝弹性结构狭缝板叠置表面波等离子体等离子体微波能量传输加工设备重力作用上表面下表面下移

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一种大气压表面波等离子体水处理装置

一种大气压表面波等离子体水处理装置

引用

作者：陈传杰王媛媛孔维宾王如刚 224051 江苏省盐城市希望大道中路1号

本发明公开了一种大气压表面波等离子体水处理装置，包括表面波等离子体发生器、放电腔室和水箱，所述放电腔室包括两个同轴嵌套的介质管，内管和外管之间设置有间隙；内管的一端设置有进气口，另一端设置有出气口；外管上设置有气体或... 详细信息

标准号: CN112694148B

本发明公开了一种大气压表面波等离子体水处理装置，包括表面波等离子体发生器、放电腔室和水箱，所述放电腔室包括两个同轴嵌套的介质管，内管和外管之间设置有间隙；内管的一端设置有进气口，另一端设置有出气口；外管上设置有气体或者液体的入口和气体或者液体的出口；所述进气口与气源连通；所述进气口设置于表面波等离子体发生器的耦合孔内；所述出气口伸入到水箱的液面下。本发明能够有效地克服等离子体处理水溶液过程中微波被水吸收的问题，这极大地提高了微波的能量耦合效率，能够更好地应用于污水净化、活化水制备和杀菌消毒方面。

关键词：进气口表面波等离子体放电腔室一端设置发生器出气口水箱内管外管微波等离子体处理能量耦合效率水处理装置气源连通杀菌消毒同轴嵌套污水净化活化水介质管水吸收有效地耦合孔伸入液面制备应用出口

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表面波等离子体分解四氟化碳的研究

表面波等离子体分解四氟化碳的研究

引用

作者：杨雨桐大连海事大学

学位级别：硕士

随着半导体等现代行业的快速发展,四氟化碳由于其稳定的化学性质而被广泛应用,由于能够强烈的吸收红外辐射和极高的稳定性,使得四氟化碳成为一种全球变暖潜力值和生命周期极高的温室气体。具有低能耗和高效率的等离子体处理法被广泛应... 详细信息

随着半导体等现代行业的快速发展,四氟化碳由于其稳定的化学性质而被广泛应用,由于能够强烈的吸收红外辐射和极高的稳定性,使得四氟化碳成为一种全球变暖潜力值和生命周期极高的温室气体。具有低能耗和高效率的等离子体处理法被广泛应用于四氟化碳分解中,表面波等离子体的大面积、无极放电、放电容器形状多样等优点使其成为处理四氟化碳的良好方法。设计了一套大面积表面波等离子体反应器,在低气压下激发等离子体用于处理四氟化碳,考察了微波功率、气体流量、氧气比例等影响因素对分解率的影响。使用发射光谱对激发的等离子体进行了分析,对反应出气进行了质谱分析,简单描述了四氟化碳分解的反应机理。研究结果表明,单一四氟化碳的分解率随微波功率的升高而升高,适当提高气体流量可使分解率提高。适宜的添加氧气可促进四氟化碳分解,在输入功率700 W、O2/CF4比例1.5时得到99.91%的分解率和93.56%的碳收率,在出气检测中发现了氧气、一氧化碳和二氧化碳。水蒸气的加入可以进一步促进四氟化碳的分解和碳收率的提高。光谱检测发现了 CF、CF2谱带和FI谱线,添加氧气后发现了一些含氧物种的存在,分析了 CF谱带、FI谱线和OI谱线强度受微波功率等因素的影响。整理了相关四氟化碳分解的反应方程式,结合分解率和光谱的变化对分解机理进行了简单的分析。(1)开发了使用大平面表面波等离子体分解四氟化碳的方法,无需氮气、氩气等载气的添加。(2)添加氧气和水蒸气辅助四氟化碳分解,研究了微波功率等因素对分解率和碳收率的影响。(3)使用发射光谱法对激发的等离子体进行了分析。

关键词：四氟化碳表面波等离子体分解

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表面波等离子体设备

表面波等离子体设备

引用

作者：赵晓丽 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本发明提供一种表面波等离子体设备，包括矩形波导、同轴转换单元、谐振腔和反应腔室，矩形波导通过同轴转换单元向谐振腔传输微波能量。该同轴转换单元包括第一渐变结构、同轴结构和第二渐变结构，其中，第一渐变结构设置在矩形波导与... 详细信息

标准号: CN109698107B

本发明提供一种表面波等离子体设备，包括矩形波导、同轴转换单元、谐振腔和反应腔室，矩形波导通过同轴转换单元向谐振腔传输微波能量。该同轴转换单元包括第一渐变结构、同轴结构和第二渐变结构，其中，第一渐变结构设置在矩形波导与同轴结构之间；第二渐变结构设置在同轴结构与谐振腔之间；并且，第一渐变结构、同轴结构和第二渐变结构同轴设置。本发明提供的表面波等离子体加工设备，其可以更容易地实现阻抗匹配，同时减少微波能量损耗，提高耦合效率。

关键词：渐变结构同轴结构矩形波导转换单元谐振腔同轴表面波等离子体传输微波反应腔室加工设备同轴设置微波能量阻抗匹配耦合效率

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表面波等离子体设备

表面波等离子体设备

引用

作者：刘春明赵晋荣 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本发明公开了一种表面波等离子体设备，包括依次相连的微波产生装置、微波传输装置和反应腔室，微波产生装置用于产生形成表面波等离子体的微波，微波传输装置包括波导和微波天线，微波天线包括基片集成波导和金属隔离件，金属隔离件将... 详细信息

标准号: CN109755088B

本发明公开了一种表面波等离子体设备，包括依次相连的微波产生装置、微波传输装置和反应腔室，微波产生装置用于产生形成表面波等离子体的微波，微波传输装置包括波导和微波天线，微波天线包括基片集成波导和金属隔离件，金属隔离件将基片集成波导划分为至少两个子基片集成波导，波导的数量和子基片集成波导的数量相等且二者对应相连，微波产生装置产生的微波经由各个波导和与该波导对应的子基片集成波导耦合至反应腔室的不同区域，并且，通过分别调节耦合至反应腔室不同区域的微波功率，以使得在反应腔室内的不同区域形成均匀的表面波等离子体。可以调节扩散至位于晶片上方的表面波等离子体的密度分布，满足大面积晶片处理均匀性的要求。

关键词：基片集成波导表面波等离子体波导微波产生装置反应腔室微波传输装置金属隔离件微波天线耦合微波处理均匀性大面积晶片密度分布区域形成数量相等微波功率依次相连反应腔晶片扩散室内

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