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作者：柴振蒙峻杨建成焦纪强谢文君魏宁斐朱小荣马向利罗成万亚鹏 730013 甘肃省兰州市城关区南昌路509号

本发明涉及真空泵的使用方法技术领域，提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法，其中装置包括：钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块，钛升华泵内设置有泵芯，泵芯包括并联的灯丝和回路金属棒；电阻检测模块的一端分别与... 详细信息

标准号: CN117627893A

本发明涉及真空泵的使用方法技术领域，提供了一种钛升华泵的泵芯灯丝除气和升华装置及方法，其中装置包括：钛升华泵、电阻检测模块和电流调节模块，钛升华泵内设置有泵芯，泵芯包括并联的灯丝和回路金属棒；电阻检测模块的一端分别与灯丝和回路金属棒连接，另一端与电流调节模块连接，用于检测灯丝与回路金属棒之间的实际电阻，并发送至电流调节模块；电流调节模块与泵芯连接，基于预设电阻与实际电阻进行比对得到比对结果，根据比对结果调节输出电流的电流值，并将输出电流传递至泵芯。本申请提供的装置通过精确调节电流提高除气以及升华效果，能够提高钛升华泵的工作稳定性和效率，使其维持在长期稳定的工作状态。

关键词：泵芯电流调节钛升华泵灯丝金属棒电阻电阻检测模块比对结果输出电流除气工作稳定性长期稳定模块连接升华装置真空泵并联比对预设发送升华传递检测申请

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一种用于极高真空系统的钛升华泵结构及其使用方法

一种用于极高真空系统的钛升华泵结构及其使用方法

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作者：焦纪强蒙峻罗成柴振谢文君杨伟顺万亚鹏刘建龙李长春魏宁斐 730000 甘肃省兰州市南昌路509号

本发明涉及一种用于极高真空系统的钛升华泵结构及其使用方法，包括：泵体，所述泵体的底部形成有接口；泵芯，所述泵芯套设在所述泵体内，所述泵芯的顶端与外部电源连接；若干个钛膜沉积板，若干个所述钛膜沉积板固定安装在所述泵体的... 详细信息

标准号: CN114678252A

本发明涉及一种用于极高真空系统的钛升华泵结构及其使用方法，包括：泵体，所述泵体的底部形成有接口；泵芯，所述泵芯套设在所述泵体内，所述泵芯的顶端与外部电源连接；若干个钛膜沉积板，若干个所述钛膜沉积板固定安装在所述泵体的内壁，所述钛膜沉积板与所述泵芯隔开。钛升华泵结构还包括冷凝管道，所述冷凝管道缠绕在所述泵体的外壁上，所述冷凝管道的一端为冷凝介质入口，另一端为冷凝介质出口。增加极高真空系统中钛升华泵的抽气面积，同时有效降低钛膜沉积面的温度，提升钛升华泵抽速，使之能满足真空系统中极高真空度的要求。

关键词：钛升华泵泵体钛膜极高真空冷凝管道沉积板泵芯冷凝介质出口冷凝介质外部电源真空系统泵芯套抽气抽速隔开内壁外壁沉积缠绕体内

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一种大型直板式钛升华泵结构

一种大型直板式钛升华泵结构

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作者：杨宪福曹建勇毕诗永 610041 四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号

本发明属于真空技术领域，具体涉及一种大型高抽速直板式钛升华泵的结构。包括以下三部分：(1)泵体主体为N块侧吸附板和N‑1块背吸附板，侧吸附板垂直于背吸附板，在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板；(2)分别在侧吸附板和背吸附... 详细信息

标准号: CN106930923B

本发明属于真空技术领域，具体涉及一种大型高抽速直板式钛升华泵的结构。包括以下三部分：(1)泵体主体为N块侧吸附板和N‑1块背吸附板，侧吸附板垂直于背吸附板，在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板；(2)分别在侧吸附板和背吸附板的上下两端设置大法兰和底托板，冷却水接头从大法兰中穿过，为侧吸附板和背吸附板中的冷却水管提供循环水；在大法兰上对应每个吸附腔体位置的中心处设置6个供电电极，分别为吸附腔体中的6根钛丝供电；(3)在每个吸附腔体内沿每个铜接头的下端设置一根钛丝，每根钛丝的下端配备一个质量为2公斤的配重坠；每个配重坠包括铜柱，设置在铜柱顶端的防喷涂陶瓷罩，包覆在铜柱外侧的绝缘陶瓷管。

关键词：吸附板大法兰铜柱钛丝吸附腔体配重坠块侧下端真空技术领域绝缘陶瓷管冷却水接头泵体主体供电电极冷却水管上下两端钛升华泵底托板防喷涂陶瓷罩铜接头吸附腔循环水直板式中心处包覆抽速穿过垂直体内供电配备

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XiPAF重离子同步加速器超高真空系统设计

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工程科学与技术 2025年第1期57卷 339-346页

作者：范永山杜畅通张化一郑曙昕姚红娟邢庆子王学武闫逸花王敏文王忠明清华大学粒子技术与辐射成像教育部重点实验室北京100084 清华大学先进辐射源及应用实验室北京100084 清华大学工程物理系北京100084 强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室陕西西安710024

在重离子同步加速器运行过程中需要维持超高真空,降低束流与残余气体的碰撞概率,从而提高束流寿命。具体要求一般为:真空管道内的平均真空度达到超高真空度(10^(–10)Pa量级),并且管道内各处真空度均优于设计值。本文研究了重离子同步... 详细信息

在重离子同步加速器运行过程中需要维持超高真空,降低束流与残余气体的碰撞概率,从而提高束流寿命。具体要求一般为:真空管道内的平均真空度达到超高真空度(10^(–10)Pa量级),并且管道内各处真空度均优于设计值。本文研究了重离子同步加速器中超高真空系统的实现方法,即使真空泵不能均匀分布在束线上,也可以实现真空管道内各处真空度均优于设计指标。采用的主要技术路线是,降低束流管道材料的比放气率,同时增大真空泵组的抽速。具体实施方案是:通过在真空管道内表面镀非蒸发型吸气剂(NEG)薄膜及高温烘烤真空管道降低束流管道材料的比放气率;设计使用大抽速钛升华泵(TSP)以增加真空泵抽速。其中,NEG镀膜技术既可以阻隔真空管道内壁的放气,又有吸气的效果,可以提高真空管道内各处的真空度。以上超高真空系统实现方法已应用于西安200 MeV质子应用装置(XiPAF)重离子升级工程中的重离子同步加速器的真空系统设计。真空管道内表面的NEG薄膜的吸速为0.5 L/(s·cm^(2));在重离子同步加速器上配置36台钛升华泵,每台钛升华泵对氢气的有效抽气量为2200 L/s;应用Molflow+软件模拟XiPAF重离子同步加速器真空管道内部的真空度分布。通过设计优化,计算表明该加速器在运行时预计平均真空度可以小于5×10^(–10)Pa,沿环形管道各处的真空度也均小于5×10^(–10)Pa,满足同步环物理设计要求。

关键词：重离子同步加速器超高真空系统钛升华泵比放气率 NEG薄膜

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一种大型直板式钛升华泵结构

一种大型直板式钛升华泵结构

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作者：杨宪福曹建勇毕诗永 610041 四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号

本发明属于真空技术领域，具体涉及一种大型高抽速直板式钛升华泵的结构。包括以下三部分：(1)泵体主体为N块侧吸附板和N-1块背吸附板，侧吸附板垂直于背吸附板，在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板；(2)分别在侧吸附板和背吸附... 详细信息

标准号: CN106930923A

本发明属于真空技术领域，具体涉及一种大型高抽速直板式钛升华泵的结构。包括以下三部分：(1)泵体主体为N块侧吸附板和N-1块背吸附板，侧吸附板垂直于背吸附板，在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板；(2)分别在侧吸附板和背吸附板的上下两端设置大法兰和底托板，冷却水接头从大法兰中穿过，为侧吸附板和背吸附板中的冷却水管提供循环水；在大法兰上对应每个吸附腔体位置的中心处设置6个供电电极，分别为吸附腔体中的6根钛丝供电；(3)在每个吸附腔体内沿每个铜接头的下端设置一根钛丝，每根钛丝的下端配备一个质量为2公斤的配重坠；每个配重坠包括铜柱，设置在铜柱顶端的防喷涂陶瓷罩，包覆在铜柱外侧的绝缘陶瓷管。

关键词：吸附板大法兰铜柱钛丝吸附腔体配重坠块侧下端真空技术领域绝缘陶瓷管冷却水接头泵体主体供电电极冷却水管上下两端钛升华泵底托板防喷涂陶瓷罩铜接头吸附腔循环水直板式中心处包覆抽速穿过垂直体内供电配备吸附板铜电极不锈钢焊接件钛丝可伐下端电极安装大法兰吸附腔体配重坠上端陶瓷法兰铜接头铜柱导向底座供电电极冷却水管氢气导向孔底托板穿过泵体块侧氘气绝缘陶瓷管冷却水接头泵体主体法兰焊接工作气体加热升华空间调整连接软线上下两端吸附作用循环流动中间设置钛升华泵大电流防喷涂冷却水陶瓷套陶瓷罩位置处吸附腔循环水直板式中心处注入器蛇形

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一种钛升华泵用的常温冷阱结构

一种钛升华泵用的常温冷阱结构

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作者：张颖志王启佳袁方赵崇凌 110168 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1号

本实用新型属于钛升华泵领域，具体地说是一种钛升华泵用的常温冷阱结构，包括大法兰焊件、小法兰焊件、冷阱筒焊件、挡板焊件及波浪板焊件，冷阱筒焊件的一端与大法兰焊件的一端相连，大法兰焊件的另一端连接真空腔室，冷阱筒焊件的另... 详细信息

标准号: CN219452334U

本实用新型属于钛升华泵领域，具体地说是一种钛升华泵用的常温冷阱结构，包括大法兰焊件、小法兰焊件、冷阱筒焊件、挡板焊件及波浪板焊件，冷阱筒焊件的一端与大法兰焊件的一端相连，大法兰焊件的另一端连接真空腔室，冷阱筒焊件的另一端与小法兰焊件的一端相连，小法兰焊件的另一端连接钛升华器；大法兰焊件与冷阱筒焊件的连接处设有挡板焊件，挡板焊件可拆卸地安装于冷阱筒焊件内部，挡板焊件阻挡钛升华器升华的钛溢出到真空腔室内；波浪板焊件容置于冷阱筒焊件内，波浪板焊件具有增加吸附钛蒸汽表面积的多个波浪。本实用新型的波浪圆板使钛升华器的吸附表面积增加了4～6倍，提高了钛升华器的升华速率；挡板焊件避免污染真空腔室，且易于拆卸清洗。

关键词：焊件冷阱筒焊挡板大法兰升华器波浪板小法兰本实用新型一端连接真空腔室钛升华泵吸附波浪避免污染拆卸清洗升华可拆卸真空腔圆板溢出蒸汽室内阻挡

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一种大型直板式钛升华泵结构

一种大型直板式钛升华泵结构

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作者：杨宪福曹建勇毕诗永 610041 四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号

本实用新型属于真空技术领域，具体涉及一种大型直板式钛升华泵。包括以下三部分：(1)泵体主体为N块侧吸附板和N‑1块背吸附板，侧吸附板垂直于背吸附板，在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板；(2)分别在侧吸附板和背吸附板的上下... 详细信息

标准号: CN205533068U

本实用新型属于真空技术领域，具体涉及一种大型直板式钛升华泵。包括以下三部分：(1)泵体主体为N块侧吸附板和N‑1块背吸附板，侧吸附板垂直于背吸附板，在相邻的两块侧吸附板之间设置一块背吸附板；(2)分别在侧吸附板和背吸附板的上下两端设置大法兰和底托板，冷却水接头从大法兰中穿过，为侧吸附板和背吸附板中的冷却水管提供循环水；在大法兰上对应每个吸附腔体位置的中心处设置6个供电电极，分别为吸附腔体中的6根钛丝供电；(3)在每个吸附腔体内沿每个铜接头的下端设置一根钛丝，每根钛丝的下端配备一个质量为2公斤的配重坠；每个配重坠包括铜柱，设置在铜柱顶端的防喷涂陶瓷罩，包覆在铜柱外侧的绝缘陶瓷管。

关键词：吸附板大法兰铜柱钛丝吸附腔体配重坠块侧下端真空技术领域本实用新型绝缘陶瓷管冷却水接头泵体主体供电电极冷却水管上下两端钛升华泵底托板防喷涂陶瓷罩铜接头吸附腔循环水直板式中心处包覆穿过垂直体内供电配备

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一种降低质谱探测H₂和H₂O背景噪声的超高真空装置

一种降低质谱探测H<Sub>2</Sub>和H<Sub>2</Sub>O背景噪声的超高...

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作者：王兴安王琴王思雯 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号

本发明提供一种降低质谱探测H2和H2O背景噪声的超高真空装置，包括插板阀、前级泵组、主腔、差抽腔、质谱探测器；所述主腔包括固定室、导引系统、液氮夹层、杜瓦、冷头和钛升华泵。本发明的装置，背景物质由液氮夹层初次冷却后部分已... 详细信息

标准号: CN113237943B

本发明提供一种降低质谱探测H₂和H₂O背景噪声的超高真空装置，包括插板阀、前级泵组、主腔、差抽腔、质谱探测器；所述主腔包括固定室、导引系统、液氮夹层、杜瓦、冷头和钛升华泵。本发明的装置，背景物质由液氮夹层初次冷却后部分已经被吸附在腔壁上再由冷头二次冷却噪声明显降低，同时钛升华泵工作在本装置良好的低温环境协作下有效增强对H₂和H₂O的吸附并且溶解在钛膜中的H₂不容易释放出来为处理H₂背底含量高的问题提供一种解决方案，有效降低背景噪声提高质谱探测的精度，可以达到10^‑12torr左右的超高真空，为探测气相动力学实验提供更高的分辨率和灵敏性，实现无油污染的超高真空。

关键词：质谱探测背景噪声超高真空液氮夹层钛升华泵冷头吸附主腔超高真空装置动力学实验背景物质导引系统低温环境二次冷却问题提供插板阀固定室灵敏性前级泵分辨率探测器杜瓦腔壁无油钛膜噪声冷却溶解释放协作污染

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一种航天材料二次电子发射系数测试系统及使用方法

一种航天材料二次电子发射系数测试系统及使用方法

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作者：王军伟徐焱林龚洁姜利祥聂翔宇张燚杜嘉余张立明刘洋洋 100094 北京市海淀区友谊路104号

一种航天材料二次电子发射系数测试系统，包括进样室、进样室样品台、过渡通道超高真空插板阀、低能电子中和枪、低能电子入射枪、紫外中和光源、分析室、多层栅网探测器模块、离子泵超高真空插板阀、控制系统、离子泵、钛升华泵、可控... 详细信息

标准号: CN116840277A

一种航天材料二次电子发射系数测试系统，包括进样室、进样室样品台、过渡通道超高真空插板阀、低能电子中和枪、低能电子入射枪、紫外中和光源、分析室、多层栅网探测器模块、离子泵超高真空插板阀、控制系统、离子泵、钛升华泵、可控温多维移动样品台、分子泵、涡旋泵、分子泵超高真空插板阀、安装台座以及磁力耦合传输杆。进样室和分析室均为超高真空工艺制造而成的真空容器，其上预留观察窗、真空测量、抽气泵组、腔室复压、线缆穿舱等各类接口，二者通过过渡通道超高真空插板阀实现通断连接，进样室和分析室均安装于安装台座上，并在旁边设置控制系统，实现对所有部件的控制与数据采集。本发明的系统具有性能指标高、测试功能全等优点。

关键词：超高真空插板阀进样室分析室低能电子过渡通道分子泵离子泵样品台台座二次电子发射系数中和设置控制系统探测器模块测试功能测试系统抽气泵组磁力耦合多层栅网多维移动工艺制造航天材料控制系统数据采集真空测量真空容器钛升华泵传输杆观察窗可控温涡旋泵复压腔室全等入射通断线缆光源预留

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一种水中惰性气体分离装置及其控制方法

一种水中惰性气体分离装置及其控制方法

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作者：赵德峰 710010 陕西省西安市长安区飞天路588号北航科技园1号楼

本发明提供了一种水中惰性气体分离装置及其控制方法，属于气体浓度测量技术领域，该分离装置包括涡轮泵、液氮接口、不锈钢真空舱、液氮罩、钛质升华泵、注水管、低度真空计、蒸发室、加热器和高度真空计。本发明提出的分离装置及其控... 详细信息

标准号: CN112578056A

本发明提供了一种水中惰性气体分离装置及其控制方法，属于气体浓度测量技术领域，该分离装置包括涡轮泵、液氮接口、不锈钢真空舱、液氮罩、钛质升华泵、注水管、低度真空计、蒸发室、加热器和高度真空计。本发明提出的分离装置及其控制方法是将水样在超高真空度下进行烘烤，待测水样在真空、高温的状态下分离出活性成分和惰性气体，再利用钛升华泵对混合气体进行纯化、随后结合真空阀和流量计以及质谱仪便可以测量出水中溶解惰性气体浓度，该装置及其控制方法可以结合计算机控制技术实现自动化控制，具有高精度检测、结构简单、易于操作等优点。

关键词：惰性气体分离装置真空计水样流量计计算机控制技术气体浓度测量加热器不锈钢真空高精度检测自动化控制超高真空混合气体液氮接口钛升华泵升华泵涡轮泵再利用真空阀蒸发室质谱仪注水管烘烤出水水中液氮钛质溶解测量

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