检索结果-内蒙古大学图书馆

光学精密工程 2009年第6期17卷 1300-1305页

作者：张俊峰李以贵惠春上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细加工技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 上海交通大学生命科学技术研究院上海200240

考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在Li NbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器。为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新型叉指结... 详细信息

考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体,能量损失小,传动误差小,且尺寸小,噪声低,抗电磁干扰等特点,基于MEMS技术并采用在Li NbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器。为了更加有效地控制驱动方向,提出了一种新型叉指结构,即浮动电极型单向换能器,然后利用ANSYS软件,对声表面波换能器进行了优化设计和分析,制作出了孔径尺寸为5mm,电极厚度为0.8μm,指宽为6.7μm,周期为80μm的浮动电极型单向换能器。该声表面波驱动器比以往的驱动器具有更高的谐振频率(接近50MHz)和更有效的方向可控性,从而有助于微光学控制系统的进一步微型化和可控化。

关键词：声表面波驱动器微机电系统浮动电极型单向换能器

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一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究

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传感器与微系统 2009年第6期28卷 117-120页

作者：张晓鹏戴旭涵苗小丹丁桂甫赵小林上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标... 详细信息

介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性。利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试。结果表明:此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短(约10m s)的特点。

关键词：微机电系统电磁驱动微电铸湿法腐蚀

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生物传感用巨磁电阻传感器及其磁珠检测性能

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真空科学与技术学报 2009年第4期29卷 359-363页

作者：王永强冯洁陈翔李福泉石海平上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

本文采用直流磁控溅射沉积了结构为NiFeCo(缓冲层)/[Cu/NiFeCo]×10/Ta,巨磁电阻(GMR)值为9.8%的多层膜,利用微细加工技术制备了基于此GMR多层膜的生物传感器,GMR电阻线条的线宽分别为3μm和5μm。测试了单个GMR传感器的特性,并将... 详细信息

本文采用直流磁控溅射沉积了结构为NiFeCo(缓冲层)/[Cu/NiFeCo]×10/Ta,巨磁电阻(GMR)值为9.8%的多层膜,利用微细加工技术制备了基于此GMR多层膜的生物传感器,GMR电阻线条的线宽分别为3μm和5μm。测试了单个GMR传感器的特性,并将该传感器件和外接可调电阻组成惠斯通电桥,采用该GMR电桥对Dynal公司的MyOne磁珠进行了检测。分别测试了施加变化垂直磁场和施加间歇式恒定垂直磁场时GMR电桥信号对传感器表面覆盖磁珠的响应,研究了GMR电桥信号和磁珠覆盖率的关系。选用器件电阻线宽分别为3μm和5μm的传感器测试了器件线宽对传感器灵敏度的影响。结果表明,GMR传感器能够检测到磁珠的存在,最低能检测的磁珠数量约100个,且GMR电桥信号与磁珠覆盖率基本成正比,器件的灵敏度与传感器线宽基本成反比。

关键词：生物传感器 GMR电桥磁珠生物检测

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镍基碳纳米管复合电沉积薄膜的制备和机械性能分析

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功能材料与器件学报 2009年第4期15卷 332-338页

作者：诸利达丁桂甫刘瑞汪红李雪萍微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海交通大学上海200240

采用直径为10～20 nm的碳纳米管作为增强相材料,采用间歇超声复合空气搅拌,通过复合电沉积技术,制备了碳管均匀分散,表面平整连续的镍基碳纳米管复合薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM),对镀层的表面形貌进行了观察,并用表面轮廓仪,对镀层... 详细信息

采用直径为10～20 nm的碳纳米管作为增强相材料,采用间歇超声复合空气搅拌,通过复合电沉积技术,制备了碳管均匀分散,表面平整连续的镍基碳纳米管复合薄膜。通过扫描电子显微镜(SEM),对镀层的表面形貌进行了观察,并用表面轮廓仪,对镀层的粗糙度进行了测量。通过显微硬度计和纳米硬度计对镀层的硬度分别进行了测量,采用一种新型的微拉伸器件对复合薄膜的拉伸性能进行了测量。通过实验发现,采用间歇超声复合空气搅拌方式在镍镀层中复合碳纳米管,可以明显的提高镀层的硬度,并且当镀层中碳纳米管体积百分比在4%左右时,镀层硬度最大。同时镀层的抗拉强度也有所提高,通过用SEM对镀层断裂处观测,验证了碳纳米管的增强效应。

关键词：材料学镍基复合材料复合电沉积碳纳米管

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基于正方和六角排列结构光子晶体对发光二极管出光效率的研究

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物理学报 2009年第9期58卷 6216-6221页

作者：陈健李小丽李海华王庆康薄膜与微细技术教育部重点实验室、微米纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200240 上海市纳米科技与产业发展促进中心上海200237

采用时域有限差分(finite-difference time-domain,FDTD)方法计算正方和六角排列圆形光子晶体的能带结构,研究了光子晶体占空比对能带的影响,找到一组获得带隙个数最多的二维光子晶体的几何结构参数;采用FDTD方法计算具有该参数的光子... 详细信息

采用时域有限差分(finite-difference time-domain,FDTD)方法计算正方和六角排列圆形光子晶体的能带结构,研究了光子晶体占空比对能带的影响,找到一组获得带隙个数最多的二维光子晶体的几何结构参数;采用FDTD方法计算具有该参数的光子晶体的发光二极管(LED)出光效率,模拟表明该结构参数的正方和六角排列圆形光子晶体提高了GaN基蓝光LED出光效率5—6倍,六角排列优于正方排列;利用禁带理论、等效介质理论分析了增透机理.

关键词：光子晶体能带出光效率发光二极管

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用于视觉假体的柔性生物微电极阵列的设计和制作

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传感技术学报 2009年第1期22卷 15-18页

作者：王亚军杨春生刘景全沈修成郭忠元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作。微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60μm,高度大约为24μm。整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表... 详细信息

提出了一种用于视网膜假体的基于Parylene的柔性微电极阵列的设计和制作。微电极阵列为5×5,通过光刻胶热熔回流技术形成的电极点为半球形凸起,底部直径为60μm,高度大约为24μm。整个电极具有很好的柔韧性,能够更好的适应视网膜表面轮廓,提高刺激效果。同时,电极具有很好的透明性,便于手术时电极的植入和手术后对生物组织的观察。

关键词：视网膜假体 Parylene 光刻胶热熔微电极阵列 MEMS

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基于MEMS加速度计的输入系统的研究

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传感技术学报 2009年第5期22卷 639-642页

作者：钱莉陈文元上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

该文章介绍了一种新的电脑无线输入系统,使用MEMS微加速度计作为系统的敏感元器件。该输入系统包括发射端和接收端两个子系统。文章分别从工作原理、软硬件设计等方面介绍了该输入系统,包括所使用的微加速度计、微处理器和传输模块,并... 详细信息

该文章介绍了一种新的电脑无线输入系统,使用MEMS微加速度计作为系统的敏感元器件。该输入系统包括发射端和接收端两个子系统。文章分别从工作原理、软硬件设计等方面介绍了该输入系统,包括所使用的微加速度计、微处理器和传输模块,并给出了输入系统的第一代实际PCB原型。并且在二维的基础上扩展了微加速度计在三维的应用,设计了一个新的三维模型,并进行了试验的验证。

关键词： MEMS 输入系统加速度计三维模型

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一种新型的电热驱动MEMS微继电器的研制

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传感技术学报 2009年第12期22卷 1696-1700页

作者：胡志军陈迪黄闯陈翔朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械(MEMS)继电器,并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺,利用Cu作为牺牲层材料,Ni作为微继电器的结构材料。微继电器是基于杠杆放大原理设计的,因此能够获得较大的行程;驱动臂采用"U&... 详细信息

设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械(MEMS)继电器,并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺,利用Cu作为牺牲层材料,Ni作为微继电器的结构材料。微继电器是基于杠杆放大原理设计的,因此能够获得较大的行程;驱动臂采用"U"型梁设计,能够在不增加功耗的条件下,获得较大的驱动力。并采用Ansys10.0有限元软件对微继电器进行了模拟分析。测试结果表明,这种微型继电器具有体积小、驱动电压低、切换速度快等优点。

关键词： MEMS 微继电器电热驱动有限元分析

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基于同步辐射光刻的多层微纳结构制造(英文)

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纳米技术与精密工程 2009年第2期7卷 186-189页

作者：李以贵杉山进上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 日本立命馆大学微系统系

高分子材料,如甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA),由于其价格相对低廉和容易加工,在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注.本文提出了一种基于PMMA基板的多层同步辐射光刻技术,用于制作微驱动器等有移动部件的设备.设计的多... 详细信息

高分子材料,如甲基丙烯酸甲酯(polymethyl methacrylate,PMMA),由于其价格相对低廉和容易加工,在集成电路和MEMS研究中受到广泛的关注.本文提出了一种基于PMMA基板的多层同步辐射光刻技术,用于制作微驱动器等有移动部件的设备.设计的多层结构包括140个单元的叉指平行电容器,每个电容器的间隔是2,μm,最小尺寸是4,μm,厚度是200,μm,故深宽比达到50∶1.该制造方法具有高深宽比、高产出率及成本低等优点.

关键词：多层微纳制造同步辐射光刻对准工具

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基于MEMS技术的异平面空心金属微针

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传感技术学报 2009年第2期22卷 151-154页

作者：沈修成刘景全王亚军郭忠元芮岳峰上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微... 详细信息

MEMS微针的一个重要应用是透皮给药。文中提出了一种基于MEMS技术的异平面空心金属微针。该微针首先利用硅(100)面刻蚀技术在硅片上刻蚀出深度为330μm的倒四棱锥,然后采用电镀技术电镀出壁厚为50μm的空心金属倒四棱锥。从背面开出微流道并去除残余硅,就得到了倾斜角度为70.6°的异平面金属空心微针。最后采用ANSYS有限元仿真软件建立微针模型,验证了微针具有足够的强度。

关键词： MEMS 微针电镀异平面药物投送

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