检索结果-内蒙古大学图书馆

传感器与微系统 2008年第5期27卷 117-120页

作者：曾文光丁桂甫王艳付世蔡玉丽上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电... 详细信息

在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。

关键词：聚合物复合结构电热微驱动器有限元分析非硅表面微加工

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一种基于MEMS的主动式光纤连接器

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传感器与微系统 2008年第4期27卷 92-93,96页

作者：张丹丁桂甫蔡玉丽王艳杨卓青上海交通大学微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部... 详细信息

介绍一种基于MEMS技术的主动式光纤连接器,上层为双层结构电热驱动器,下层为硅V型槽。双层结构在常温下作为压制光纤的盖板,通电后作为单稳态电热驱动器,盖板翘曲,放入或取出光纤。利用Ansys有限元分析软件并结合工艺条件,对热驱动器部件的性能进行了分析与仿真。利用表面硅工艺和体硅工艺制备出核心驱动部分,检测盖板翘曲情况下性能。

关键词：光纤连接器微机电系统双层薄膜

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聚乙丙交酯降解膜片的改性及其对5-氟尿嘧啶的缓释特性

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上海交通大学学报 2008年第5期42卷 822-826,830页

作者：刘凤涛贺蓉赵远党高峰章一新崔大祥上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学医学院附属第九人民医院上海200011

利用溶剂蒸发法制备载有5-氟尿嘧啶(5-FU)可生物降解的聚乙丙交酯(PLGA)植入膜片,着重讨论了在降解过程中,聚合物的重均分子量(Mw)、数均分子量(Mn)和膜片的内部形态变化规律.通过在PLGA膜片表面分别涂层w=23%的凝胶溶液和PLGA(丙交酯... 详细信息

利用溶剂蒸发法制备载有5-氟尿嘧啶(5-FU)可生物降解的聚乙丙交酯(PLGA)植入膜片,着重讨论了在降解过程中,聚合物的重均分子量(Mw)、数均分子量(Mn)和膜片的内部形态变化规律.通过在PLGA膜片表面分别涂层w=23%的凝胶溶液和PLGA(丙交酯∶乙交酯=50∶50,摩尔比)溶液对膜片进行改性,考察改性后的膜片对5-FU释放速率的影响规律.用零级释放和一级释放方程对5-FU释放曲线的各个阶段进行描述,通过非线性拟合得到了相关的释放系数,并且提出5-FU的释放机理.结果表明:与未改性的膜片相比,涂有明胶的PLGA膜片5-FU首次释放率从50%降低到20%,释放曲线分为两个阶段,前阶段的药物释放由凝胶降解控制,后阶段为零级释放;膜片涂有PLGA后阻止了突然释放率,且两个阶段5-FU的释放曲线均符合零级释放.

关键词：聚乙丙交酯聚合物降解突然释放 5-氟尿嘧啶

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微机电系统惯性电学开关的设计与制作

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中国机械工程 2008年第9期19卷 1033-1036页

作者：杨卓青丁桂甫蔡豪刚刘瑞赵小林上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵... 详细信息

基于非硅表面微加工技术,给出了微机电系统惯性电学开关的一种新式设计,该设计采用两端悬空固定的多孔弹性梁作为固定电极,由连体蛇形弹簧连接悬空的质量块作为可动电极,可动电极位于支撑层和弹性梁之间,该结构在保证微开关具有足够灵敏度的同时,可有效提高两电极间的接触效果和器件的抗冲击保护。使用成本较低的多次叠层电镀镍的方法制作了设计的微型惯性开关,并对其元器件进行了试验测试,结果表明:开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.40ms和12μs,与有限元动力学仿真结果吻合较好,表现出较高的灵敏度和良好接触效果。

关键词：非硅表面微加工微型惯性开关设计与制作微机电系统(MEMS)

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基于MEMS工艺的异性材料定向天线(英文)

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传感技术学报 2008年第3期21卷 533-535页

作者：黄闯陈迪陈翔刘景全靖向萌朱军魏文婕魏泽勇李宏强上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 同济大学物理系上海200092

制备了一种基于MEMS工艺的定向天线。以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积。这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送。本文中的天线厚度为1.5mm,可工作于10GHz频段。这使得其易于与微系统集成。文中也给... 详细信息

制备了一种基于MEMS工艺的定向天线。以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积。这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送。本文中的天线厚度为1.5mm,可工作于10GHz频段。这使得其易于与微系统集成。文中也给出了仿真及实验的结果,并介绍了天线的加工过程。

关键词：天线 MEMS 谐振腔异性材料

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静电悬浮转子微陀螺信号发生电路有源带通滤波器设计

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传感技术学报 2008年第11期21卷 1867-1871页

作者：邵珰珰陈文元肖奇军崔峰张卫平上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

信号发生电路是静电悬浮转子微陀螺系统的重要组成部分。介绍了DDS信号发生电路的原理及基本构成和微陀螺信号电容检测的要求、特点以及主要技术指标,并根据具体带宽、中心频率的要求,设计了具有不同参数的有源滤波电路。通过电路模拟... 详细信息

信号发生电路是静电悬浮转子微陀螺系统的重要组成部分。介绍了DDS信号发生电路的原理及基本构成和微陀螺信号电容检测的要求、特点以及主要技术指标,并根据具体带宽、中心频率的要求,设计了具有不同参数的有源滤波电路。通过电路模拟仿真实验表明了该电路的可行性之后,在具体实验的操作过程中,成功滤去了DDS信号发生电路所产生的低频直流偏置和高频噪声,从而提高了电路的整体信噪比和控制精度,并为后续静电悬浮转子微陀螺检测控制电路提供了较为理想的信号源。

关键词：微陀螺静电悬浮直接数字频率合成有源带通滤波器

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基于新型DNA金属化工艺银纳米线的制备

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化学学报 2008年第16期66卷 1924-1928页

作者：周清华王英刘强张亚非上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 上海交通大学DNA计算机交叉团队上海交通大学Bio-X中心上海200030

随着DNA金属化工艺逐渐发展,以DNA为模板进行金属纳米线的制备,使得生物与微细加工技术的结合变得可能.我们将DNA模板金属化工艺加以改进,利用半导体材料——硅作为样品衬底,并在硅片上利用Parafilm疏水膜斜向拉伸排列DNA分子,采用化学... 详细信息

随着DNA金属化工艺逐渐发展,以DNA为模板进行金属纳米线的制备,使得生物与微细加工技术的结合变得可能.我们将DNA模板金属化工艺加以改进,利用半导体材料——硅作为样品衬底,并在硅片上利用Parafilm疏水膜斜向拉伸排列DNA分子,采用化学还原反应,成功地进行了银纳米线的制备.改进后的金属化工艺对DNA分子金属化程度较好,而且制备出了金属纳米网状结构.基于DNA构筑复杂纳米图形的实现,进行相关的金属化,有望构筑纳米集成电路。

关键词： DNA金属化拉伸排列 Parafilm 金属纳米线

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巯基乙酸修饰的CdTe量子点对聚合酶链反应特异性的影响

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上海交通大学学报 2008年第5期42卷 693-696,700页

作者：李清贺蓉高峰潘碧峰崔大祥上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

合成了巯基乙酸（TGA）修饰的量子点,X衍射分析证实CdTe相的存在,高分辨电子显微镜分析表明量子点的直径为3 nm,Zeta电位表征表明量子点表面带有负电荷.把TGA修饰的CdTe量子点加入到聚合酶链反应（PCR）反应液中,使用brcaa1基因载体作为... 详细信息

合成了巯基乙酸（TGA）修饰的量子点,X衍射分析证实CdTe相的存在,高分辨电子显微镜分析表明量子点的直径为3 nm,Zeta电位表征表明量子点表面带有负电荷.把TGA修饰的CdTe量子点加入到聚合酶链反应（PCR）反应液中,使用brcaa1基因载体作为PCR反应的模板,进行两轮PCR反应.最终的PCR产物通过w=1%的琼脂糖凝胶电泳进行分析,结果表明,在0-1.33 g/L范围内,随着量子点的量逐渐增加,非特异性的扩增条带逐渐消失,荧光（PL）光谱表明PCR反应后的量子点荧光强度降低.X射线光电子能谱（XPS）证实PCR反应前后Cd元素和Te元素的能谱峰并没有出现化学位移,吸收光谱（UV-vis）表明了PCR反应之后的吸收强度增强.因此,TGA修饰的CdTe量子点置于PCR反应液之中,能提高PCR的特异性,可以应用于超灵敏DNA检测、光电生物传感器.

关键词： CdTe量子点聚合酶链反应特异性

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量子点标记免疫凝集分析检测免疫球蛋白

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上海交通大学学报 2008年第5期42卷 827-830页

作者：邵君高峰尤晓刚贺蓉崔大祥上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

利用量子点特殊的光学性能,结合免疫分析技术,建立快速、简便的免疫凝集分析检测方法.采用量子点标记羊抗鼠IgG,与溶液中的鼠IgG进行免疫反应,使量子点之间凝集形成网络结构,从而引起反应体系中量子点的荧光淬灭.随着鼠IgG量的增加,网... 详细信息

利用量子点特殊的光学性能,结合免疫分析技术,建立快速、简便的免疫凝集分析检测方法.采用量子点标记羊抗鼠IgG,与溶液中的鼠IgG进行免疫反应,使量子点之间凝集形成网络结构,从而引起反应体系中量子点的荧光淬灭.随着鼠IgG量的增加,网络结构越来越大,量子点的荧光强度不断减弱.根据荧光信号的变化,检测溶液中鼠IgG的浓度.

关键词：量子点免疫分析荧光淬灭鼠IgG

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基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试

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传感技术学报 2008年第4期21卷 692-694页

作者：沈修成方华斌王亚军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 霍尼韦尔公司上海传感器实验室上海201203

微能量采集技术是利用某种效应把周围环境中的某种形式的能量转换成电能,为嵌入式系统和无线传感网络中的MEMS器件供能。本文探讨了一种基于MEMS技术的压电型微能量采集器。微能量采集器工作于低频环境,当给其振动激励信号时,它能够把... 详细信息

微能量采集技术是利用某种效应把周围环境中的某种形式的能量转换成电能,为嵌入式系统和无线传感网络中的MEMS器件供能。本文探讨了一种基于MEMS技术的压电型微能量采集器。微能量采集器工作于低频环境,当给其振动激励信号时,它能够把机械能转换为电能。但是能量采集器直接输出的是交流电压,一般不能直接为器件供能。所以,利用AC-DC电路把交流转换为直流,实现为MEMS器件供能。文中给出了微能量采集器的测试电路,同时给出了测试结果,论证了在低频环境下这种微能量采集器的可行性。

关键词：能量采集 MEMS 压电效应悬臂梁

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