检索结果-内蒙古大学图书馆

悬浮转子式微陀螺技术关键、创新设计和最新进展

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功能材料与器件学报 2008年第3期14卷 721-728页

作者：张卫平陈文元赵小林吴校生崔峰刘武黄晓刚肖奇军马高印张忠榕上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

分析了悬浮转子式微陀螺基本原理、技术关键,提出了悬浮转子式微陀螺的多种实现方案和技术要害,并综述了悬浮转子微陀螺多种方案的最新研究进展。

关键词：悬浮转子微陀螺技术关键方案最新进展

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集成波导型表面等离子体共振传感芯片及其理论分析

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量子电子学报 2008年第1期25卷 109-113页

作者：吴斌王庆康薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

集成波导型表面等离子体共振传感芯片是表面等离子体共振传感技术和微电子制造技术相结合的产物。介绍了集成表面等离子体共振传感芯片的工作机理和基本结构,并通过基于传统波导模式的分析法结合表面等离子体波的色散方程,发展出简单实... 详细信息

集成波导型表面等离子体共振传感芯片是表面等离子体共振传感技术和微电子制造技术相结合的产物。介绍了集成表面等离子体共振传感芯片的工作机理和基本结构,并通过基于传统波导模式的分析法结合表面等离子体波的色散方程,发展出简单实用的波导表面等离子体共振分析方法。利用该方法对波导型表面等离子体共振传感芯片的工作状态进行了理论建模,给出了各特性参数之间的关系。这证明该方法是分析等离子体共振传感芯片优化的有力工具。

关键词：光电子学波导表面等离子体共振分析方法理论建模表面等离子体共振传感芯片

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基于NiFeCo/Cu多层膜巨磁电阻效应的磁微球检测

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功能材料与器件学报 2008年第6期14卷 1013-1018页

作者：牛永波冯洁陈翔郑金平上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

分析了应用于磁性生物检测的GMR传感器的工作原理。直流磁控溅射法制备了Ni65Fe15Co20/Cu多层膜,研究了室温下多层膜的GMR效应对缓冲层(NiFeCo)厚度、间隔层(Cu)厚度及铁磁层(NiFeCo)厚度等参数的依赖关系,得到了GMR值达8.8%的多层膜样... 详细信息

分析了应用于磁性生物检测的GMR传感器的工作原理。直流磁控溅射法制备了Ni65Fe15Co20/Cu多层膜,研究了室温下多层膜的GMR效应对缓冲层(NiFeCo)厚度、间隔层(Cu)厚度及铁磁层(NiFeCo)厚度等参数的依赖关系,得到了GMR值达8.8%的多层膜样品:缓冲层(NiFeCo)5nm,间隔层(Cu)2.4nm,铁磁层(NiFeCo)1.6nm,且饱和场低、磁滞小、灵敏度较高,符合磁性生物检测技术的要求。制备了基于优化参数NiFeCo/Cu多层膜的GMR传感器,对器件的性能进行了测试,结果表明所制备的GMR传感器能够检测磁微球。

关键词：巨磁电阻效应多层膜 NiFeCo/Cu 磁性生物传感器

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基于电镀铜平面弹簧的微型电磁式振动能量采集器

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功能材料与器件学报 2008年第1期14卷 171-174页

作者：王佩红鲁李乐戴旭涵赵小林薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院

采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并... 详细信息

采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3。Ansys有限元仿真结果表明共振结构的一阶固有频率为129.3Hz。对组装好的电磁式振动能量采集器试验样机的初步测试表明:在加速度为3g(g=9.8m/s2)的外界输入冲击下,负载两端的交流电压峰峰值为32.5mV。

关键词：振动能量采集器微机电系统电磁式铜平面弹簧双层线圈

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Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀

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功能材料与器件学报 2008年第1期14卷 236-240页

作者：崔峰肖奇军吴校生张卫平陈文元赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶... 详细信息

为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化(如电镀等)的深凹坑(或凹槽),选用HF:HNO3:H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)和Cr/Pt(30nm/300nm,溅射)加光刻胶(15μm)作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小(钻深比1.34:1),侧壁倾斜光滑,并在凹坑(深约28μm)内成功地电镀了焊盘。该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义。

关键词： Pyrex 湿法腐蚀掩膜凹坑电镀

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基于MEMS技术的共面耦合式圆极化微带天线的设计与仿真

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微波学报 2008年第2期24卷 19-22页

作者：陈伟强丁桂甫黎滨洪上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细加工技术教育部重点实验室上海200030

研究了一种工作在Ka波段,基于MEMS微加工工艺的圆极化微带天线。采用微带馈线与贴片辐射单元非接触、共面临近耦合的馈电方式,可以在不改变贴片与馈线本身的尺寸且无需额外增加匹配网络的情况下调节阻抗匹配,有效地提高了馈线与辐射元... 详细信息

研究了一种工作在Ka波段,基于MEMS微加工工艺的圆极化微带天线。采用微带馈线与贴片辐射单元非接触、共面临近耦合的馈电方式,可以在不改变贴片与馈线本身的尺寸且无需额外增加匹配网络的情况下调节阻抗匹配,有效地提高了馈线与辐射元的阻抗匹配度与可调性,简化了天线结构。使用3dB电桥移相器实现圆极化,结构规范,圆极化效果好。使用有限元仿真软件AnsoftHFSS对其进行了仿真优化,得出了一组较优参数,此时天线中心频率为35GHz,增益为6.86dB,驻波比≤2时阻抗带宽为4GHz(约11.4%),轴比<3dB时带宽约为5.9GHz(约16.9%)。

关键词：微机电系统微带天线圆极化天线毫米波天线

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退火温度对铁基纳米晶带材高频磁导率的影响

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电子元件与材料 2008年第12期27卷 43-46页

作者：向毅周勇雷冲周志敏丁文上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

采用单线圈法,利用Agilent E4991A射频阻抗/材料分析仪,研究了退火温度对铁基纳米晶带材的高频磁导率的影响。结果表明:经550℃退火处理的30μm厚样品磁导率实部,随频率增加而减小,在1MHz下为1210,在20MHz下为234,磁导率虚部有类似的变... 详细信息

采用单线圈法,利用Agilent E4991A射频阻抗/材料分析仪,研究了退火温度对铁基纳米晶带材的高频磁导率的影响。结果表明:经550℃退火处理的30μm厚样品磁导率实部,随频率增加而减小,在1MHz下为1210,在20MHz下为234,磁导率虚部有类似的变化趋势;比较了30μm厚样品经不同温度退火处理后磁导率的测量结果,得出550℃是一个比较理想的退火温度。

关键词：高频磁导率射频阻抗/材料分析仪铁基纳米晶带材

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基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真

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功能材料与器件学报 2008年第3期14卷 629-633页

作者：杨卓青丁桂甫蔡豪刚付世赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开... 详细信息

基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加。

关键词：微型惯性开关非硅表面微加工设计动力学仿真

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基于Zigbee的GPS相对定位技术

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微计算机信息 2008年第31期24卷 224-226页

作者：黄一杰陈佳品李振波上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

传统机器人使用的超声或者视觉等传感器定位的方法在定位距离及成本方面存在瓶颈,且容易受到阻碍物的影响。本文利用了Zigbee传感器网络低功耗、低成本、高稳定性的特点以及GPS位置差分定位消除定位节点间系统误差提高精度的特性。实现... 详细信息

传统机器人使用的超声或者视觉等传感器定位的方法在定位距离及成本方面存在瓶颈,且容易受到阻碍物的影响。本文利用了Zigbee传感器网络低功耗、低成本、高稳定性的特点以及GPS位置差分定位消除定位节点间系统误差提高精度的特性。实现了一种采用以ARM7为控制平台,以Zigbee无线网络为通讯平台,基于GPS位置差分定位的相对定位技术。并成功地运用在了机器人群组在较广范围内的定位。

关键词：机器人 GPS位置差分定位 Zigbee传感器网络 ARM7

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纳米晶磁芯螺线管微电感的模拟研究

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电子元件与材料 2008年第9期27卷 14-17页

作者：周庆华周勇周志敏曹莹丁文上海交通大学微纳科学技术研究院、微米／纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了研制小尺寸、高性能的片上微电感，采用Fe基非晶薄带经退火得到的纳米晶带材作为磁芯材料，并对其高频磁导率进行了测试。对纳米晶磁芯螺线管微电感建立了物理模型，模拟分析了结构参数对微电感性能的影响。结果表明：在1～10MHz频... 详细信息

为了研制小尺寸、高性能的片上微电感，采用Fe基非晶薄带经退火得到的纳米晶带材作为磁芯材料，并对其高频磁导率进行了测试。对纳米晶磁芯螺线管微电感建立了物理模型，模拟分析了结构参数对微电感性能的影响。结果表明：在1～10MHz频率范围内，所设计的微电感的电感量L在2～12μH，品质因数Q值在1．3－2.3，非常适用于DC－DC变换器等功率电子器件。

关键词：电子技术螺线管微电感非晶/纳米晶带退火模拟

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