检索结果-内蒙古大学图书馆

在反应离子刻蚀中,可以通过提高刻蚀功率来提高反应离子刻蚀速率,但此时由于反应气体浓度分布的影响,Si片中央和边缘的刻蚀速率存在着明显的差异,刻蚀量偏差最多可达±15%以上。本文分析了反应离子刻蚀中不均匀性的产生机理,并通过实验予以验证。进而提出了通过合理设计掩模图形,以减少边缘效应,从而得到均匀刻蚀结果的补偿方法。实验表明,这种补偿方法在刻蚀速率提高近3倍的同时,可以将不均匀性降至±5%以下,适用于对微结构的均匀性要求较高的场所。

关键词：反应离子刻蚀边缘效应补偿办法刻蚀速率不均匀性补偿方法浓度分布反应气体产生机理合理设计微结构实验 Si 掩模

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基于MEMS技术的无线鼠标

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北京电子科技学院学报 2005年第4期13卷 76-78页

作者：钱莉陈文元黄得志杨华峰张卫平薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院上海200030

本文介绍了一种新型的基于MEMS技术的无线鼠标。分析了构成系统的MEMS加速度计、微处理器和射频收发器三个硬件组成模块,并对软件设计方法进行了介绍。

关键词： MEMS 无线鼠标微加速度计微处理器射频

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静电悬浮转子微陀螺及其关键技术

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中国惯性技术学报 2005年第6期13卷 61-67页

作者：崔峰苏宇锋张卫平吴校生陈文元赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室上海200030

静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺... 详细信息

静电悬浮转子微陀螺具有比振动式微陀螺精度高的潜在优点,并可同时测量二轴角速度和三轴线加速度。介绍了静电悬浮转子微陀螺的研究现状。对该静电悬浮转子微陀螺/加速度计的工作原理、特点进行了分析,并对实现高精度静电悬浮转子微陀螺/加速度计的关键技术如静电稳定悬浮、微位移检测控制、静电恒速旋转驱动、微机械加工和真空封装技术等进行了探讨。指出这一新颖MEMS陀螺是高精度多轴集成微惯性传感器技术发展的一个重要方向,具有广阔的应用前景和较大的发展潜力。

关键词：微机电系统微陀螺微加速度计转子静电悬浮

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UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究

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微细加工技术 2005年第4期 69-75页

作者：张晔陈迪潘欣欣方华斌朱军刘景全上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层微齿轮,并讨论了三种工艺路线各自的适用范围,即两次电铸工艺... 详细信息

利用SU-8光刻胶UV-LIGA技术制备了双层微齿轮,齿轮单层的厚度可达450μm。制备中分别采用了三种工艺路线:两次电铸、溅射种子层一次电铸和直接一次电铸,均成功地制备出了双层微齿轮,并讨论了三种工艺路线各自的适用范围,即两次电铸工艺路线适用于对机械强度要求不高的各类多层微结构器件,一次电铸工艺路线适用于对机械强度要求较高的结构,其中溅射种子层工艺适用于深宽比较小的多层微结构模具,而直接电铸工艺适用于深宽比较大且层间直径相差较小的多层微结构器件。

关键词： UV-LIGA技术 SU-8胶双层微齿轮

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MEMS工艺微热管传热性能的定量分析

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电子机械工程 2005年第5期21卷 15-18页

作者：谢晓强戴旭涵赵小林丁桂甫蔡炳初薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微科学技术研究院上海200030

介绍了一种基于硅体加工技术以及阳极键合技术的微热管阵列。通过两种传热模型对微热管的性能进行了分析。利用传统热管理论及经典传热理论对传热性能进行定量计算,将传热过程逐步分解并建立传热模型,对热管热阻进行估算。这种较简易的... 详细信息

介绍了一种基于硅体加工技术以及阳极键合技术的微热管阵列。通过两种传热模型对微热管的性能进行了分析。利用传统热管理论及经典传热理论对传热性能进行定量计算,将传热过程逐步分解并建立传热模型,对热管热阻进行估算。这种较简易的分析模型可为热管设计提供初步的参考结果。再利用有限元法以同样的参数来模拟热管传热过程以得到更加精确的热阻及热场分布结果,采用An-sys软件来进行有限元的分析。

关键词：硅微热管传热性能热阻

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FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究

FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究

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上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

作者：周勇陈吉安杨春生高孝裕王明军张亚民上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室

研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示)。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随磁场的增大而下降到负的磁阻抗比。在... 详细信息

研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示)。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随磁场的增大而下降到负的磁阻抗比。在频率3MHz、磁场1600A/m时磁阻抗比达到最大值17.2%。磁阻抗比的最大值及负的磁阻抗比与夹心薄膜中磁各向异性轴的取向有关。另外,当磁场施加在薄膜的横向时,薄膜表现出负的磁阻抗比,在频率3MHz、磁场5600A/m时,磁阻抗比达-13.4%。

关键词： FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应磁各向异性

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基于SU-8胶转子的非接触压电微马达

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微细加工技术 2005年第1期 63-66页

作者：杨斌刘景全周广华陈迪张金娅蔡炳初上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU 8胶转子制作的工艺流程。利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子。转子半径为6mm,叶... 详细信息

研制了一种非接触压电微马达,通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试,确定其共振频率,并且详细介绍了SU 8胶转子制作的工艺流程。利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速,从而确立压电微马达的最优转子。转子半径为6mm,叶片宽度为6mm的三叶片转子转速最高为3569r/min。转子的启动电压和最高电压分别为8V和24V。

关键词： SU-8胶转子非接触压电微马达

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多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究

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微细加工技术 2005年第1期 75-78页

作者：姜勇陈文元赵小林丁桂甫倪志萍王志民上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米与纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

准LIGA加工工艺通常只能加工单层准三维体。本研究采用SU 8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三维五层一体化复杂结构。实践证明,所提出的工艺实际可行,进一步拓展了准LIGA工艺的应用。

关键词：准LIGA SU-8胶套刻种子层表面活化

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