检索结果-内蒙古大学图书馆

功能材料与器件学报 2008年第1期14卷 171-174页

作者：王佩红鲁李乐戴旭涵赵小林薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学微纳科学技术研究院

采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并... 详细信息

采用微机电系统加工技术制作出一种结构新颖的微型电磁式振动能量采集器,它可以把周围环境中的振动能转换为电能。整个结构主要由圆形SmCo28永磁体、铜平面弹簧和双层线圈构成。采用UV-LIGA技术和电镀技术制作铜平面弹簧和双层线圈,并与永磁体一起组装成试验样机,其体积大约为200mm3。Ansys有限元仿真结果表明共振结构的一阶固有频率为129.3Hz。对组装好的电磁式振动能量采集器试验样机的初步测试表明:在加速度为3g(g=9.8m/s2)的外界输入冲击下,负载两端的交流电压峰峰值为32.5mV。

关键词：振动能量采集器微机电系统电磁式铜平面弹簧双层线圈

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退火温度对铁基纳米晶带材高频磁导率的影响

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电子元件与材料 2008年第12期27卷 43-46页

作者：向毅周勇雷冲周志敏丁文上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

采用单线圈法,利用Agilent E4991A射频阻抗/材料分析仪,研究了退火温度对铁基纳米晶带材的高频磁导率的影响。结果表明:经550℃退火处理的30μm厚样品磁导率实部,随频率增加而减小,在1MHz下为1210,在20MHz下为234,磁导率虚部有类似的变... 详细信息

采用单线圈法,利用Agilent E4991A射频阻抗/材料分析仪,研究了退火温度对铁基纳米晶带材的高频磁导率的影响。结果表明:经550℃退火处理的30μm厚样品磁导率实部,随频率增加而减小,在1MHz下为1210,在20MHz下为234,磁导率虚部有类似的变化趋势;比较了30μm厚样品经不同温度退火处理后磁导率的测量结果,得出550℃是一个比较理想的退火温度。

关键词：高频磁导率射频阻抗/材料分析仪铁基纳米晶带材

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基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真

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功能材料与器件学报 2008年第3期14卷 629-633页

作者：杨卓青丁桂甫蔡豪刚付世赵小林上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开... 详细信息

基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加。

关键词：微型惯性开关非硅表面微加工设计动力学仿真

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基于Zigbee的GPS相对定位技术

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微计算机信息 2008年第31期24卷 224-226页

作者：黄一杰陈佳品李振波上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030

传统机器人使用的超声或者视觉等传感器定位的方法在定位距离及成本方面存在瓶颈,且容易受到阻碍物的影响。本文利用了Zigbee传感器网络低功耗、低成本、高稳定性的特点以及GPS位置差分定位消除定位节点间系统误差提高精度的特性。实现... 详细信息

传统机器人使用的超声或者视觉等传感器定位的方法在定位距离及成本方面存在瓶颈,且容易受到阻碍物的影响。本文利用了Zigbee传感器网络低功耗、低成本、高稳定性的特点以及GPS位置差分定位消除定位节点间系统误差提高精度的特性。实现了一种采用以ARM7为控制平台,以Zigbee无线网络为通讯平台,基于GPS位置差分定位的相对定位技术。并成功地运用在了机器人群组在较广范围内的定位。

关键词：机器人 GPS位置差分定位 Zigbee传感器网络 ARM7

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纳米晶磁芯螺线管微电感的模拟研究

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电子元件与材料 2008年第9期27卷 14-17页

作者：周庆华周勇周志敏曹莹丁文上海交通大学微纳科学技术研究院、微米／纳米加工技术国家级重点实验室、薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240

为了研制小尺寸、高性能的片上微电感，采用Fe基非晶薄带经退火得到的纳米晶带材作为磁芯材料，并对其高频磁导率进行了测试。对纳米晶磁芯螺线管微电感建立了物理模型，模拟分析了结构参数对微电感性能的影响。结果表明：在1～10MHz频... 详细信息

为了研制小尺寸、高性能的片上微电感，采用Fe基非晶薄带经退火得到的纳米晶带材作为磁芯材料，并对其高频磁导率进行了测试。对纳米晶磁芯螺线管微电感建立了物理模型，模拟分析了结构参数对微电感性能的影响。结果表明：在1～10MHz频率范围内，所设计的微电感的电感量L在2～12μH，品质因数Q值在1．3－2.3，非常适用于DC－DC变换器等功率电子器件。

关键词：电子技术螺线管微电感非晶/纳米晶带退火模拟

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基于微加速度计的AIR-MOUSE的研究

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微计算机信息 2008年第22期24卷 113-115页

作者：姜晓波陈文元汤坚钱莉凌灵上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海交通大学

本文研究了一种基于微加速度计原理的空中鼠标。该鼠标采用微加速度计来检测手部运动的角度和速度等参数,并通过射频无线传输和USB接口实现与计算机的通信。本文介绍微加速度计、微控制器、无线射频模块、USB通讯等的集成研究,并对无线... 详细信息

本文研究了一种基于微加速度计原理的空中鼠标。该鼠标采用微加速度计来检测手部运动的角度和速度等参数,并通过射频无线传输和USB接口实现与计算机的通信。本文介绍微加速度计、微控制器、无线射频模块、USB通讯等的集成研究,并对无线传输模块的软硬件做了详细阐述。

关键词：微加速度计无线射频 USB接口空中鼠标

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磁控溅射的TaN薄膜的扩散阻挡性能

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半导体技术 2008年第1期33卷 73-76页

作者：张丛春刘兴刚石金川杨春生上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

用反应磁控溅射方法在SiO2/Si(100)衬底和Cu薄膜间溅射一层TaN阻挡层,测试不同N气分压及热处理温度下Cu/TaN/SiO2/Si薄膜的显微结构和电阻特性。同时利用微细加工技术加工了镂空的Cu互连叉指测试结构,研究了TaN薄膜在镂空的铜互连结构... 详细信息

用反应磁控溅射方法在SiO2/Si(100)衬底和Cu薄膜间溅射一层TaN阻挡层,测试不同N气分压及热处理温度下Cu/TaN/SiO2/Si薄膜的显微结构和电阻特性。同时利用微细加工技术加工了镂空的Cu互连叉指测试结构,研究了TaN薄膜在镂空的铜互连结构中的扩散阻挡性能。结果发现,在退火温度不超过400℃时,薄膜电阻率均低于80μΩ.cm,而当溅射N分压超过10%,退火温度超过400℃时,薄膜电阻率很快上升。低N气分压下(≤10%)溅射时,即使退火温度达到600℃,薄膜电阻基本不变。

关键词：铜互连 TaN阻挡层磁控溅射热稳定性

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基于MEMS&FPGA的USB移动硬盘加解密系统

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微计算机信息 2008年第26期24卷 154-156页

作者：张晶陈文元张卫平上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200030 上海交通大学

随着信息量的急剧增长,信息安全日益受到人们重视。一个完整的数据加解密系统应该具备安全可靠的密码认证机制和加解密算法。本文基于MEMS强链、USB控制器和FPGA设计了一种USB接口的高效数据加解密系统,采用AES加密算法。普通IDE硬盘挂... 详细信息

随着信息量的急剧增长,信息安全日益受到人们重视。一个完整的数据加解密系统应该具备安全可靠的密码认证机制和加解密算法。本文基于MEMS强链、USB控制器和FPGA设计了一种USB接口的高效数据加解密系统,采用AES加密算法。普通IDE硬盘挂接该系统后成为安全性极高的加密USB移动硬盘,其平均数据吞吐率接近普通U盘,达到10MB/s。

关键词： MEMS AES USB FPGA IDE

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基于微加速度计的鼠标系统设计

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计算机工程与设计 2008年第23期29卷 6136-6138页

作者：汤坚陈文元姜晓波钱莉上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200240 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240

设计了一种新型的输入设备——微加速度计鼠标系统,该系统融合了MEMS微加速度计和无线射频技术,能够实现传统鼠标的功能。该系统由用户控制和信号接收两部分组成。无线射频技术使得用户控制模块能够摆脱线缆的束缚,在空中自由运动,并可... 详细信息

设计了一种新型的输入设备——微加速度计鼠标系统,该系统融合了MEMS微加速度计和无线射频技术,能够实现传统鼠标的功能。该系统由用户控制和信号接收两部分组成。无线射频技术使得用户控制模块能够摆脱线缆的束缚,在空中自由运动,并可通过人体任何部位进行控制。二维旋转角算法和按键模拟算法的提出,使该鼠标系统能达到比传统鼠标更高的控制精度、更高的DPI,实现无按键的操作。

关键词：微加速度计无线鼠标微加速度计二维旋转角按键模拟无按键操作

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Parylene薄膜及其在MEMS中的应用

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微纳电子技术 2008年第7期45卷 403-410,415页

作者：王亚军刘景全杨春生沈修成郭忠元上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030

介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用... 详细信息

介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。

关键词：聚对二甲苯微阀微泵微通道人工耳蜗视网膜假体微机电系统

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